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题名利用XPS平行成像技术进行材料表面微区分析
被引量：2
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作者
徐建
郝萍
周莹
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机构
上海市计量测试技术研究院
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出处
《上海计量测试》
2017年第5期9-12,共4页
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基金
上海市质量技术监督局科研项目(2015-03)
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文摘
利用XPS能谱分析结合平行成像技术,在功能器件等材料微区测量方面进行了一些探索,并选取了三类比较有代表性样品,通过设计合理的方法分别对其表面微区进行了有效测量,获得较好的测量结果。
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关键词
XPS分析
平行成像技术
表面微区分析
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Keywords
XPS analysis
parallel imaging technique
surface microanalysis
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分类号
O657.62
[理学—分析化学]
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题名印制电路板表面沾污表征技术
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作者
徐建
陈永康
郝萍
周莹
吴立敏
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机构
上海市计量测试技术研究院
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出处
《上海计量测试》
2022年第1期2-5,共4页
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基金
上海市科学技术委员会科技项目(19142201800)。
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文摘
通过选用扫描电子显微镜结合X射线能量谱分析和XPS能谱分析配合平行成像技术,对印制电路板表面沾污进行分析,测量结果存在较大差异。通过设计氩离子刻蚀清洁样品表面实验对两种方法的测量结果差异性进行分析,结果表明,印制电路板表面沾污主要来源于样品表层污染。因此,两种分析技术中具有表面分析功能的XPS能谱分析配合平行成像技术更具优势,可以较为准确地探测表面污染元素的种类、含量以及各污染元素在样品表面的分布状况,对查找器件失效原因具有指导意义,值得推广和应用。
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关键词
能量散射光谱分析
X射线电子能谱
平行成像技术
表面沾污
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Keywords
SEM&EDS
XPS
parallel imaging technique
surface contamination
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分类号
TN41
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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