一种增大MEMS平板电容驱动器有效行程的新方法

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作者 饶伏波 乔大勇 +1 位作者 苑伟政 姜澄宇 《航空制造技术》 2007年第6期80-82,89,共4页

针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pullin)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响。通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动... 针对平板电容式静电驱动器受拉入(Pullin)现象影响其有效驱动行程仅为平板间初始间距的1/3的问题,设计了一种新的复合弹性梁结构,并分析了其对驱动器有效驱动行程的影响。通过分析发现,复合弹性梁的应用可以有效提高平板电容式静电驱动器的有效行程至2.09μm,达到初始间距的44%。 展开更多

关键词 平板电容驱动器 有效行程 拉入 MEMS

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平板电容作用力的扭摆测量方法

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作者 罗俊 范淑华 《物理实验》 1994年第5期234-234,230,共2页

平板电容作用力的扭摆测量方法罗俊，范淑华（华中理工大学武汉４３００７４）平板电容两极板之间存在相互作用力是电磁学中为人们所熟悉的一个结论，从实验上直接观测电容作用力效应通常的办法是采用静电天平或电磁天平．本文提出平板... 平板电容作用力的扭摆测量方法罗俊，范淑华（华中理工大学武汉４３００７４）平板电容两极板之间存在相互作用力是电磁学中为人们所熟悉的一个结论，从实验上直接观测电容作用力效应通常的办法是采用静电天平或电磁天平．本文提出平板电容作用力的扭摆测量方法．其实验设... 展开更多

关键词 平板电容作用力 扭摆 测量

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高压平板电容器的数学模型 被引量：1

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作者 笪贤进 曾怡达 张斌 《石油化工高等学校学报》 CAS 2002年第4期81-83,共3页

在高压平板电容器的生产过程中 ,对其极板的机械加工要求非常严格 ,因为高压平板电容器的极板的光洁度直接影响到它的使用安全。从理想的无限大的带电平行板之间的电场出发 ,通过建立平板电容器的电场模型 ,论证了高压平板电容器的极板... 在高压平板电容器的生产过程中 ,对其极板的机械加工要求非常严格 ,因为高压平板电容器的极板的光洁度直接影响到它的使用安全。从理想的无限大的带电平行板之间的电场出发 ,通过建立平板电容器的电场模型 ,论证了高压平板电容器的极板加工不仅是一个简单的工艺问题 ,更是一个严肃的理论问题。高压电容器的使用场合是一些高电压的场合 ,而极板的凹凸处的电场强度是平滑处的场强的 2倍 ,高压场合下的这种翻倍的场强是非常严重的 。 展开更多

关键词 高压平板电容器 数学模型 电场

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计及边缘效应的平板电容传感器的输出特性

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作者 王福谦 谭浩 +2 位作者 于学东 卿建东 张玉 《舰船电子工程》 2023年第1期97-100,116,共5页

为了研究变边缘效应对变面积型平板电容传感器输出特性的影响,论文将理论分析与计算机数值模拟相结合,利用保角变换法、格林函数法和软件Matlab,讨论变面积型平板电容传感器的电场,得到该传感器内静态电场的分布,给出其电容量随线位移... 为了研究变边缘效应对变面积型平板电容传感器输出特性的影响,论文将理论分析与计算机数值模拟相结合,利用保角变换法、格林函数法和软件Matlab,讨论变面积型平板电容传感器的电场,得到该传感器内静态电场的分布,给出其电容量随线位移变化关系式,绘制出该传感器的电容量与其线位移大小之间的变化曲线,并分析影响该传感器线性度及灵敏度的因素。数值模拟结果表明,适度减小该传感器的极板间距,可提高其线性度和灵敏度,改善该传感器的输出特性。通过数值模拟分析影响该传感器输出特性的因素及不计极板边缘效应情形下减小测量误差的途径。由于文章在讨论中计及了该传感器极板的横向边缘效应,故研究结果具有较高的精确度。 展开更多

关键词 变面积型平板电容传感器 保角变换法 格林函数法 数值模拟 电容量 线位移 线性度 灵敏度 输出特性

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平板式电容传感器测量电路研究 被引量：9

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作者 肖志红 《现代电子技术》 2004年第17期105-106,108,共3页

提出了一套关于平板式电容传感器测量电路的新方案。该方案不仅具有较高的相对值测量精度、简单的硬件电路 ,而且具有较强的系统抗干扰能力。

关键词 传感器 电容测量 抗干扰 平板式电容

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考虑制作工艺和边缘效应的梳齿电容理论 被引量：3

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作者 郭占社 冯舟 +2 位作者 庄海涵 宋春苗 樊尚春 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2009-2012,共4页

为解决梳齿驱动器中理想计算模型误差较大的问题,利用平板电容理论及微积分方法,对制作工艺及边缘效应的影响进行了分析,并建立相应的计算模型.在此基础上,以加工完毕的梳齿驱动器为研究目标,得到其电容在理想条件下、考虑制造工艺误差... 为解决梳齿驱动器中理想计算模型误差较大的问题,利用平板电容理论及微积分方法,对制作工艺及边缘效应的影响进行了分析,并建立相应的计算模型.在此基础上,以加工完毕的梳齿驱动器为研究目标,得到其电容在理想条件下、考虑制造工艺误差及边缘效应条件下的计算结果分别为1.267 3 pF和1.440 3 pF.两者与利用高精度LCR测试仪测量所得电容1.517 2 pF之间的相对误差分别为16.47%和5.07%.实验结果表明,考虑制造工艺误差及边缘效应时计算结果的精度远远高于理想条件下计算结果的精度,证明了该理论模型的正确性. 展开更多

关键词 MEMS 梳齿驱动器 平板电容理论 边缘效应 制作工艺

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基于电容和电桥的液位测量仪设计 被引量：1

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作者 谢艳丁 刘敏 +1 位作者 邓磊 刘洋 《空军预警学院学报》 2016年第1期38-40,共3页

根据平板电容器电解质填充情况不同,其电容大小及在交流电路中的分压就会变化的原理,设计了一种以油液作为填充介质、通过测量电容器两端电压反映液位高度的测量仪.首先利用电桥的优势,给出了一种电容和电桥的液位测量电路,分析了液位... 根据平板电容器电解质填充情况不同,其电容大小及在交流电路中的分压就会变化的原理,设计了一种以油液作为填充介质、通过测量电容器两端电压反映液位高度的测量仪.首先利用电桥的优势,给出了一种电容和电桥的液位测量电路,分析了液位高度与电桥测量电压在一定条件下呈近似线性关系;然后进行了实际的数据测量和标定;最后对测量仪进行了实际测量精度分析.理论分析和实验结果一致,实现了对液位高度的声光告警功能. 展开更多

关键词 平板电容器 电桥 液位测量

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基于BEM的平行圆板电容器的电荷分布及电容的计算 被引量：1

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作者 周平 《西安科技大学学报》 CAS 北大核心 2005年第3期388-390,394,共4页

在考虑到平行圆板电容器两极板之间的距离及边界效应带来的影响基础上,运用电磁场的边界元法(BEM),计算了圆形平板电容器极板上的电荷分布及电容的大小,并运用最小二乘法对电容的数值计算结果进行了拟合,得到计算了圆形平板电容器电容... 在考虑到平行圆板电容器两极板之间的距离及边界效应带来的影响基础上,运用电磁场的边界元法(BEM),计算了圆形平板电容器极板上的电荷分布及电容的大小,并运用最小二乘法对电容的数值计算结果进行了拟合,得到计算了圆形平板电容器电容的经验公式,分析表明当电容器的两个极板在很大范围内变化时,本文的计算结果都与相关实验结果吻合的较好。 展开更多

关键词 BEM 圆形平板电容器 电荷分布 电容

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介电常数法监测汽车发动机润滑油技术 被引量：6

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作者 李喜武 苏建 刘玉梅 《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第5期831-835,共5页

为了快速监测润滑油质量,达到及时更换润滑油的目的,应用介电常数理论分析法,研究了润滑油的铁磨粒含量、水分含量、总酸值与介电常数增量之间的相关性,润滑油中的铁磨粒含量、水分含量、总酸值的增加,导致润滑油介电常数增加.在此基础... 为了快速监测润滑油质量,达到及时更换润滑油的目的,应用介电常数理论分析法,研究了润滑油的铁磨粒含量、水分含量、总酸值与介电常数增量之间的相关性,润滑油中的铁磨粒含量、水分含量、总酸值的增加,导致润滑油介电常数增加.在此基础上开发了润滑油的实时监测设备.试验结果表明:该监测设备能实时监测汽车发动机中润滑油质量,实现了按质更换润滑油;需更换润滑油的介电常数上、下限分别为4.7和4.2. 展开更多

关键词 润滑油 介电常数 平板电容 传感器 单片机

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第42届国际物理奥林匹克竞赛实验试题简介 被引量：2

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作者 荀坤 张朝晖 +1 位作者 刘树新 陈晓林 《物理实验》 2012年第4期17-23,共7页

第42届国际物理奥林匹克竞赛中的实验试题为"电学黑盒子——电容式位移传感器"和"力学黑盒子——一个内含小球的圆筒".本文较全面地介绍了试题内容和解答,并在必要时作了简短评论.

关键词 国际物理奥林匹克 平板电容 位移传感器 复摆 转动惯量

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液体介电常数测试方法研究与测试盒开发 被引量：4

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作者 钱文虎 曹海霞 张勇 《苏州科技学院学报（工程技术版）》 CAS 2013年第2期1-4,共4页

不同的液体介质材料具有不同的介电常数,因而测定液体介质材料的介电常数在各学科之中就有非常重要的意义。详细介绍了两种测试液体介电常数方法,并根据测试原理设计了两种测量液体介电常数的专用测试盒,且明确了各自的优缺点,给出了提... 不同的液体介质材料具有不同的介电常数,因而测定液体介质材料的介电常数在各学科之中就有非常重要的意义。详细介绍了两种测试液体介电常数方法,并根据测试原理设计了两种测量液体介电常数的专用测试盒,且明确了各自的优缺点,给出了提高测试精度的相关措施。 展开更多

关键词 介电常数 平板电容器测量法 圆柱电容器测量法

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用于电子皮肤的界面应力传感器的研究 被引量：5

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作者 吕晓洲 卢文科 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期340-345,共6页

截肢表面和假肢接口之间的应力分布以及人体足底应力分布对医学研究有着极为重要的意义.为了测量截肢和足底界面应力,本文提出了用平板电容和PDMS超弹塑性材料制作用于电子皮肤的界面应力传感器的方法.对该传感器的测量范围、器件大小... 截肢表面和假肢接口之间的应力分布以及人体足底应力分布对医学研究有着极为重要的意义.为了测量截肢和足底界面应力,本文提出了用平板电容和PDMS超弹塑性材料制作用于电子皮肤的界面应力传感器的方法.对该传感器的测量范围、器件大小、材料选择、机械部分设计、电极耦合和器件制作等问题提出了解决方法.最后,制作出了能够测量0～220kPa正压力和0～70kPa剪切力的用于电子皮肤的界面应力传感器.从实验得到传感器在不同正压力和剪切力下输出电容的实验数据,利用实验数据给出了传感器对正压力和剪切力的响应函数和响应曲线. 展开更多

关键词 平板电容 界面应力传感器 电子皮肤

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