全息穿透雷达非平整表面杂波抑制算法研究 被引量：1

1

作者 陈诚 刘涛 +3 位作者 曹来保 何志华 黄春琳 粟毅 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期2776-2782,共7页

针对全息穿透雷达应用于无损探测时非平整表面杂波干扰难题,提出一种基于双频对消的非平整表面杂波抑制方法。该方法首先在设定条件下获取高低两种频率下的雷达回波数据,并建立相应回波信号模型。通过分析不同频率雷达回波中目标信号与... 针对全息穿透雷达应用于无损探测时非平整表面杂波干扰难题,提出一种基于双频对消的非平整表面杂波抑制方法。该方法首先在设定条件下获取高低两种频率下的雷达回波数据,并建立相应回波信号模型。通过分析不同频率雷达回波中目标信号与非平整表面信号特点,结合理论推导估算模型中的各项参数,并拟合出表面回波的近似值,最后与原回波对消以抑制雷达图像中的非平整表面杂波。通过仿真与实测数据实验,验证了所提方法的有效性。 展开更多

关键词 全息穿透雷达 杂波抑制 非平整表面 双频对消 无损探测

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具有平整表面的定向纳米碳管膜的制备

2

作者 徐军明 张孝彬 +1 位作者 秦会斌 李婷 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第7期822-824,共3页

为了获得表面平整的定向纳米碳管,通过化学及物理的方法将纳米碳管膜进行反转,使其原来的AAO模板底面成为新的表面,用溶液逐步去除表面的铝和氧化铝后,获得了平整的定向纳米碳管膜表面,从而可将其作为工作面使用.还比较了5%NaOH和6%H3PO... 为了获得表面平整的定向纳米碳管,通过化学及物理的方法将纳米碳管膜进行反转,使其原来的AAO模板底面成为新的表面,用溶液逐步去除表面的铝和氧化铝后,获得了平整的定向纳米碳管膜表面,从而可将其作为工作面使用.还比较了5%NaOH和6%H3PO4+1.8%H2CrO4溶液去除氧化铝的效果. 展开更多

关键词 AAO模板 纳米碳管 定向纳米碳管膜 平整表面

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异形孔筒形锻件成形表面不平整度分析及验证

3

作者 张庆玲 刘新宇 金淼 《塑性工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期27-34,共8页

针对异形孔筒形锻件成形过程中金属在反向流动中流速不均匀导致的锻件上表面产生不平整缺陷的问题,以椭圆孔筒形锻件为例,采用数值模拟与试验相结合的手段,探究了锻件上表面不平整现象的成因。分别从一维、二维、三维建立了异形孔筒形... 针对异形孔筒形锻件成形过程中金属在反向流动中流速不均匀导致的锻件上表面产生不平整缺陷的问题,以椭圆孔筒形锻件为例,采用数值模拟与试验相结合的手段,探究了锻件上表面不平整现象的成因。分别从一维、二维、三维建立了异形孔筒形锻件上表面不平整度的评判准则,进一步揭示了成形工艺参数对异形孔筒形锻件上表面不平整度的影响规律。结果表明:异形孔筒形锻件上表面不平整度随模具预热温度的升高而降低,随坯料始锻温度的升高而增大,始锻温度比模具预热温度对上表面不平整度的影响更大;提高成形速度可以降低金属的流动阻力,减小坯料的温降,改善坯料变形和温度分布的均匀性,从而降低异形孔筒形锻件上表面的不平整度;异形孔筒形锻件上表面不平整度还受椭圆孔短长轴比值的影响,凸模横截面积恒定时,随短长轴比值增大,不平整度评价指标均呈下降趋势;凸模短轴值恒定,长轴值超过锻件外径的2/3时,随短长轴比值增大,不平整度评价指标呈现先增大后减小的趋势,长轴值小于锻件外径的2/3时,不平整度评价指标随短长轴比值增大呈现下降趋势。 展开更多

关键词 异形孔 挤压成形 仿真 表面不平整度 工艺参数

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非平整倾斜表面上流动液膜的影响因素分析 被引量：10

4

作者 刘梅 宋朝匣 +1 位作者 吴正人 朱永欣 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期75-79,112,共6页

基于流体体积函数法(VOF),分别从液体物性和液相入口流速等因素对非平整倾斜表面上的液膜流动特性进行数值模拟,得出流体黏度的增大可增大液膜厚度并降低液膜整体流动速度,但不影响液膜与壁面之间的相位角;流体表面张力影响液膜与壁面... 基于流体体积函数法(VOF),分别从液体物性和液相入口流速等因素对非平整倾斜表面上的液膜流动特性进行数值模拟,得出流体黏度的增大可增大液膜厚度并降低液膜整体流动速度,但不影响液膜与壁面之间的相位角;流体表面张力影响液膜与壁面之间的相位差及液膜的均匀性;液相入口雷诺数的增大可以增大液膜厚度,当雷诺数增大到一定程度时,液膜厚度不再有明显的变化,且液膜表面趋于光滑。研究结果表明:液膜的流动形式由液体各项物性和液相入口流速共同决定。 展开更多

关键词 液膜 两相流 流体动力学 非平整倾斜表面 数值模拟

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焊接快速成形零件的表面平整度研究 被引量：2

5

作者 李超 徐龙堂 +2 位作者 张明 朱胜 刘燕林 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期8-11,共4页

焊接快速成形耐磨金属零件的生产过程中,采用逐层铣削-堆积提高成形件的表面平整度非常困难。为此,提出了提高成形件表面平整度的方法以减少铣削加工量。通过三维激光扫描建立成形件表面平整度的评价方法。研究了焊道搭接率、余高和路... 焊接快速成形耐磨金属零件的生产过程中,采用逐层铣削-堆积提高成形件的表面平整度非常困难。为此,提出了提高成形件表面平整度的方法以减少铣削加工量。通过三维激光扫描建立成形件表面平整度的评价方法。研究了焊道搭接率、余高和路径规划方式对成形件表面平整度的影响规律。结果表明:采用适当的搭接率,降低焊道余高,按照层层正交的路径成形,可以显著提高成形件的表面平整度;成形件表面平整度的提高与沉积层温度场的大小及分布均匀性有关。 展开更多

关键词 焊接快速成形 金属芯焊丝 表面平整度 耐磨零件

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自动化平板堆焊的单层多道焊缝表面平整度研究 被引量：4

6

作者 权国政 施瑞菊 +3 位作者 卢顺 张建生 董旭刚 周杰 《塑性工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第10期203-211,共9页

基于自主研制的大型电弧熔丝增材原型设备,设计开展了64组CN645ACW型焊丝的单层单道熔丝增材实验,构建了焊缝宽度和高度对应电压、送丝速度、焊接速度的BP神经网络模型。基于此模型,反向锁定了特定焊缝宽度和高度对应的增材工艺参数。... 基于自主研制的大型电弧熔丝增材原型设备,设计开展了64组CN645ACW型焊丝的单层单道熔丝增材实验,构建了焊缝宽度和高度对应电压、送丝速度、焊接速度的BP神经网络模型。基于此模型,反向锁定了特定焊缝宽度和高度对应的增材工艺参数。开展了36组不同焊缝高度、焊缝宽度和焊缝间距的单层多道电弧熔丝增材实验,并建立了焊缝表面平整度的BP神经网络模型,分析了焊缝形状和间距对焊缝表面平整度的影响。结果表明,增大焊缝宽度、高度及间距,表面平整度值呈现增大趋势。在小倍数焊缝间距情况下,表面平整度值的增大趋势随着焊缝宽度和间距的增大而增大;大倍数焊缝间距情况下,增大趋势反而有所下降。相同焊缝间距下,焊缝平整度值主要由熔丝增材的堆积效应决定,焊缝宽度和高度越大,堆积效应越明显,表面平整度越差。 展开更多

关键词 熔丝增材 BP神经网络 焊缝形状 焊缝间距 表面平整度

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分子束外延材料表面平整度的研究 被引量：1

7

作者 王丛 高达 +1 位作者 师景霞 谭振 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期625-628,共4页

分子束外延Si基HgCdTe材料的表面平整度对红外焦平面组件的制备有重要的影响。分子束外延的Si基复合衬底作为HgCdTe分子束外延的衬底材料对最终外延材料的表面平整度的影响较大。本文通过研究工艺过程中各外延因素对Si片和衬底材料表面... 分子束外延Si基HgCdTe材料的表面平整度对红外焦平面组件的制备有重要的影响。分子束外延的Si基复合衬底作为HgCdTe分子束外延的衬底材料对最终外延材料的表面平整度的影响较大。本文通过研究工艺过程中各外延因素对Si片和衬底材料表面平整度的影响,通过实验发现脱氧工艺的高温影响最大,其次是Si片自身的表面平整度和外延膜层的厚度。因此要获得低表面平整度的Si基复合衬底必须满足以下三个条件:低Si片表面平整度,低脱附工艺温度,低外延膜厚。 展开更多

关键词 表面平整度 SI 复合衬底 HGCDTE

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基于MCL-UNet网络的激光熔覆层表面平整度识别 被引量：2

8

作者 郭士锐 刘银银 +2 位作者 崔陆军 陈永骞 郑博 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期685-692,共8页

表面平整度是衡量多道搭接熔覆层表面质量的重要指标之一,为改进人工标注获取表面平整度耗时费力的问题,本文利用图像识别和语义分割神经网络方法提出了自动识别熔覆层表面平整度。针对搭接熔覆层特征,基于改进的U-Net与注意力机制(CBAM... 表面平整度是衡量多道搭接熔覆层表面质量的重要指标之一,为改进人工标注获取表面平整度耗时费力的问题,本文利用图像识别和语义分割神经网络方法提出了自动识别熔覆层表面平整度。针对搭接熔覆层特征,基于改进的U-Net与注意力机制(CBAM)提出一种用于熔覆层形貌的自动分割网络MCL-UNet,优化改进U-Net模型,依据CBAM模块从通道维度和空间维度调整特征图层的权重信息,将CBAM模块以优化输入和输出的原则部署在网络上。在搭接熔覆层数据集上对改进的网络进行评估对比,实验结果表明,本文提出的MCL-UNet网络模型,其熔覆层分割效果在验证集上的平均IoU准确率为93.76%,相比原始U-Net的IoU准确率提高了5.81%,在测试集上MCL-UNet模型输出的表面平整度的平均相对误差为3.2%,说明该模型可有效提高搭接熔覆层横截面形貌的分割精度,并能较准确输出表面平整度。 展开更多

关键词 图像处理 表面平整度 语义分割 MCL-UNet网络

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表面平整度测量的新方法研究 被引量：1

9

作者 孙艳 王昭 谭玉山 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期314-317,共4页

介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法 ,薄膜厚度的测量范围约在 0 2～ 2 0 μm(小于 2 0μm)之间 .在对二氧化硅薄膜的测试中 ,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较 ,其纵向测量误差小于 2nm .通过光纤传... 介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法 ,薄膜厚度的测量范围约在 0 2～ 2 0 μm(小于 2 0μm)之间 .在对二氧化硅薄膜的测试中 ,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较 ,其纵向测量误差小于 2nm .通过光纤传感器在薄膜上的移动 ,对薄膜上各点的反射光谱进行分析 ,得到各点的厚度 .通过步进电机的移动 ,连续测量膜上不同点的厚度 ,从而获得薄膜的表面形貌 .该方法对薄膜无破坏作用 ,且无需测量干涉条纹 ,与其他的非接触式测试方法相比较 ,具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点 。 展开更多

关键词 表面平整度 测量方法 表面微观形貌 反射干涉频谱法 薄膜测量 测试精度

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氮化硅薄膜表面平整度特性分析

10

作者 陈俊芳 王卫乡 +3 位作者 刘颂豪 丁振峰 陶孟仙 任兆杏 《华南理工大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1996年第S1期44-47,共4页

本文分析了ＥＣＲＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３Ｎ４薄膜的表面平整度特性，随着基片沉积温度的提高，Ｓｉ３Ｎ４薄膜的表面平整度变好，该膜具有良好的透光性；

关键词 Si₃N₄薄膜 表面平整度 沉积温度

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氮化硅薄膜的表面平整度特性

11

作者 陶孟仙 《量子电子学报》 CAS CSCD 2000年第4期365-368,共4页

本文利用偏心静电单探针诊断了反应室内的等离子体密度的空间分布；由Ｔｅｌｙｓｔｅｐ－Ｈｏｂｂｓｏ轮廓仪研究了 ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的 Ｓｉ３Ｎ４薄膜的表面特性．结果表明 ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的氮化硅薄膜是一种表面均匀... 本文利用偏心静电单探针诊断了反应室内的等离子体密度的空间分布；由Ｔｅｌｙｓｔｅｐ－Ｈｏｂｂｓｏ轮廓仪研究了 ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的 Ｓｉ３Ｎ４薄膜的表面特性．结果表明 ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的氮化硅薄膜是一种表面均匀平整度好的薄膜． 展开更多

关键词 表面平整度 氮化硅薄膜 等离子体

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等离子电弧增材成形件的表面平整度研究 被引量：1

12

作者 彭雪 王克鸿 《热加工工艺》 北大核心 2019年第11期151-153,157,共4页

一般等离子增材过程中,常选择余高较高的工艺参数进行增材,但所能达到的表面平整度有限。采用高氮钢焊丝进行等离子电弧增材,研究通过降低焊道余高提高成形体表面平整度。通过测厚仪结合设计公式表征表面平整度。研究了焊道搭接率、余... 一般等离子增材过程中,常选择余高较高的工艺参数进行增材,但所能达到的表面平整度有限。采用高氮钢焊丝进行等离子电弧增材,研究通过降低焊道余高提高成形体表面平整度。通过测厚仪结合设计公式表征表面平整度。研究了焊道搭接率、余高和路径规划方式对成形件表面平整度的影响规律。结果表明:余高较小的增材件平整度均优于余高较大的平整度,层层正交的成形件平整度优于层层堆焊的成形件平整度,并确定不同余高对应的合适搭接率范围。可见,降低焊道余高,选择合适的搭接率和路径规划方式可在一定程度上改善表面平整度。 展开更多

关键词 等离子增材 降低余高 高氮钢 表面平整度

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上下表面平整度对型材压损破坏载荷的影响 被引量：1

13

作者 张侃 廖江海 董登科 《科学技术与工程》 北大核心 2015年第22期200-203,共4页

以应变片测量值确定"Z"型和"2"型长桁上下表面平整程度,并分析其对长桁压损破坏载荷及破坏形式的影响情况。"Z"型长桁上下表面平整度好,试件的破坏载荷最大分散性达到2.6%,而上下表面平整度差的"2&q... 以应变片测量值确定"Z"型和"2"型长桁上下表面平整程度,并分析其对长桁压损破坏载荷及破坏形式的影响情况。"Z"型长桁上下表面平整度好,试件的破坏载荷最大分散性达到2.6%,而上下表面平整度差的"2"型长桁分散性达到3.5%,二者差别甚小。在破坏形式上,通过对同种类型的长桁形式进行组内对比,发现同种类型试件的破坏形式基本相同;而对于变形曲线,上下表面平整程度会起到影响作用,"Z"型长桁的所有区域(应变片区域)的变形曲线基本相当,而"2"型长桁相差较大。最后得到结论,长桁压损试验目的是在于确定长桁的压损破坏载荷,此时可以在有限范围内,无需调节上下表面的平整度,若考虑观察中间变形过程,则要对上下表面进行调平或再加工。 展开更多

关键词 应变片 型材 表面平整度 压损破坏载荷

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低温外延生长平整ZnO薄膜 被引量：5

14

作者 赵鹏程 张振中 +8 位作者 姚斌 李炳辉 王双鹏 姜明明 赵东旭 单崇新 赵海峰 刘雷 申德振 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期-,共6页

在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面.本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品.在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,... 在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面.本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品.在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,以此调控生长速率.样品的生长速率为40～100 nm/h.通过扫描电镜(SEM)表征发现:在高锌束流的生长条件下,样品表面有很多不规则的颗粒；降低锌的供应量后,样品表面逐渐平整.原子力显微镜(AFM)测试结果表明:样品的均方根表面粗糙度(RMS)只有0.238 nm,接近于原子级平整度.这种平整表面的获得得益于较低的生长速率,以及ZnO外延薄膜与a面蓝宝石衬底之间小的晶格失配. 展开更多

关键词 ZNO 分子束外延 生长温度 平整表面

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Si_3N_4薄膜的表面微观特性 被引量：6

15

作者 陈俊芳 吴先球 +2 位作者 王德秋 丁振峰 任兆杏 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期298-300,共3页

利用偏心静电单探针诊断了反应室内的等离子体密度的空间分布；在不同的工艺条件下制备了 Ｓｉ３Ｎ４薄膜；由ＳＴＭ和 Ｔｅｌｙｓｔｅｐ－Ｈｏｂｂｓｏ轮廓仪研究了 ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３ Ｎ４薄膜的表面微观特性，分析了沉... 利用偏心静电单探针诊断了反应室内的等离子体密度的空间分布；在不同的工艺条件下制备了 Ｓｉ３Ｎ４薄膜；由ＳＴＭ和 Ｔｅｌｙｓｔｅｐ－Ｈｏｂｂｓｏ轮廓仪研究了 ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３ Ｎ４薄膜的表面微观特性，分析了沉积温度对ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的Ｓｉ３Ｎ４薄膜表面平整度特性影响的物理机理，结果表明ＥＣＲ－ＰＥＣＶＤ制备的薄膜是一种表面均匀致密的纳米Ｓｉ３ Ｎ４薄膜。 展开更多

关键词 氮化硅薄膜 表面平整度 沉积温度 纳米薄膜

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基于灰铸铁表面多道搭接熔覆成形质量及组织性能研究 被引量：5

16

作者 郭士锐 赵阳 +2 位作者 崔陆军 郑博 陈永骞 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2022年第4期31-35,共5页

为强化修复受损的铸铁件,提高其性能,延长服役寿命。采用高能量密度激光器在灰铸铁HT250表面制备多道搭接铁基合金熔覆层,通过熔覆层稀释率及表面平整度两个重要质量指标对搭接率进行优化,利用体式显微镜、光学显微镜和数显维氏硬度计... 为强化修复受损的铸铁件,提高其性能,延长服役寿命。采用高能量密度激光器在灰铸铁HT250表面制备多道搭接铁基合金熔覆层,通过熔覆层稀释率及表面平整度两个重要质量指标对搭接率进行优化,利用体式显微镜、光学显微镜和数显维氏硬度计等对熔覆层的横截面形貌特征、金相显微组织和显微硬度进行研究。结果表明,在搭接率为35%时,熔覆层稀释率与表面平整度最优,稀释率仅为5.16%;熔覆层显微组织由下而上依次为粗大的树枝晶与胞状晶、交叉生长的柱状晶、等轴晶,搭接区域经过重熔结晶后,形成分布较稀疏的胞状晶;平均显微硬度HV_(0.3)达834,性能相较于灰铸铁基体显著提高,为激光熔覆修复强化铸铁件提供了重要参考依据。 展开更多

关键词 灰铸铁 激光熔覆 铁基合金 稀释率 表面平整度

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反向凝固薄带坯高温平整轧制的研究

17

作者 温景林 赵红亮 +1 位作者 王新华 张健 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期158-161,共4页

研究了高温平整轧制前后钢带表面平整度及界面结合情况的变化 ,并进一步探讨了轧制参数对界面结合强度的影响·分析了带坯复合界面的演化机理·结果表明 :平整轧制可明显改善钢带表面的平整度 ,提高界面结合强度 ;轧制温度、轧... 研究了高温平整轧制前后钢带表面平整度及界面结合情况的变化 ,并进一步探讨了轧制参数对界面结合强度的影响·分析了带坯复合界面的演化机理·结果表明 :平整轧制可明显改善钢带表面的平整度 ,提高界面结合强度 ;轧制温度、轧制压下量等工艺参数对界面结合有较大影响 ,而轧制速度影响不大 ;平整轧制时 ,反向凝固带坯复合界面发生演化 ,使界面结合增强 ,其机理为咬合机制、互扩散机制及固溶作用机制· 展开更多

关键词 反向凝固薄带坯 高温平整机制 界面结合 表面平整度 咬合机制 互扩散机制

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自由面平整化非晶合金Fe_(67)Co_(18)Si_(11)B_4的软磁性能

18

作者 丁燕红 薛鹏鹤 +1 位作者 李岩 马叙 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期586-589,共4页

采用单辊熔体急冷法制备Fe_(67)Co_(18)Si_(11)B_4非晶合金,并对其自由面进行表面平整化,经去应力退火后研究改变自由面粗糙度对磁性的影响。结果发现,自由面平整化使Fe_(67)Co_(18)Si_(11)B_4非晶合金的自由面粗糙度由原来的24. 26 nm... 采用单辊熔体急冷法制备Fe_(67)Co_(18)Si_(11)B_4非晶合金,并对其自由面进行表面平整化,经去应力退火后研究改变自由面粗糙度对磁性的影响。结果发现,自由面平整化使Fe_(67)Co_(18)Si_(11)B_4非晶合金的自由面粗糙度由原来的24. 26 nm降低到5. 53 nm;自由面表面平整化降低了Fe67Co18-Si11B4非晶软磁合金的矫顽力、表面杂散场、内应力,是一种既可以提高Fe_(67)Co_(18)Si_(11)B_4非晶软磁合金的静态磁性,又提高其高频磁性的低成本、低功耗方法。 展开更多

关键词 软磁合金 表面平整化 磁谱

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美国特拉华纪念大桥更换伸缩缝

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作者 张妮(编译) 《世界桥梁》 北大核心 2024年第3期129-129,共1页

美国特拉华纪念大桥(Delaware Memorial Bridge,见图1)位于特拉华州纽卡斯尔市,由平行的2座悬索桥组成,全长1112.5 m,主跨长655.32 m,通航净高53 m。2座桥均宽18 m,桥面布置单向4车道,每日车流量超10万辆次。由于该桥伸缩缝病害严重,检... 美国特拉华纪念大桥(Delaware Memorial Bridge,见图1)位于特拉华州纽卡斯尔市,由平行的2座悬索桥组成,全长1112.5 m,主跨长655.32 m,通航净高53 m。2座桥均宽18 m,桥面布置单向4车道,每日车流量超10万辆次。由于该桥伸缩缝病害严重,检查评估后决定将伸缩缝全部更换为PU树脂填充式伸缩缝。该类型伸缩缝可分车道快速施工,施工温度要求不高,凝固时间在3 h以内,对交通影响小;预留槽无需与混凝土桥面板额外锚固;表面平整度高,交界面不会产生通行噪音或者跳车噪音等,已广泛应用于新建桥梁和维修加固工程中。 展开更多

关键词 混凝土桥面板 伸缩缝 悬索桥 特拉华州 表面平整度 施工温度 凝固时间 跳车

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CMP抛光半导体晶片中抛光液的研究 被引量：19

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作者 胡伟 魏昕 +1 位作者 谢小柱 向北平 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第6期78-80,共3页

本文分析了化学机械抛光(CMP)半导体晶片过程中抛光液的重要作用,总结了抛光液的组成及其化学性能(氧化剂、磨料及pH值等)和物理性能(流速、粘性及温度)对抛光效果的影响规律,研究发现:酸性抛光液常用于抛光金属材料,pH最优值为4,碱性... 本文分析了化学机械抛光(CMP)半导体晶片过程中抛光液的重要作用,总结了抛光液的组成及其化学性能(氧化剂、磨料及pH值等)和物理性能(流速、粘性及温度)对抛光效果的影响规律,研究发现:酸性抛光液常用于抛光金属材料,pH最优值为4,碱性抛光液常用于抛光非金属材料,pH最优值为10～11.5;氧化剂能有效提高金属材料的抛光效率和表面平整度;磨料的种类、浓度及尺寸会影响抛光效果;分散剂有助于保持抛光液的稳定性;抛光初始阶段宜采用较低流速,然后逐渐提高;抛光液的粘性会影响晶片与抛光垫之间的接触模式、抛光液的均布、流动及加工表面的化学反应;抛光液温度的升高有助于提高抛光效率.最后本文指出了抛光液循环使用的重要意义及常用方法. 展开更多

关键词 化学机械抛光 抛光液 抛光效率 表面平整度

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