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N.A.0.75平场复消色差显微物镜光学设计
被引量：
18
1
作者
薛金来
巩岩
李佃蒙
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2015年第6期957-963,共7页
为解决普通生物显微物镜视场小、场曲和色差严重的问题,本文利用光学软件Code V设计了一款20×平场复消色差显微物镜,通过合理的结构优化、光焦度分配及材料选择,使该物镜具有大视场、高数值孔径、平场复消色差的特点。设计分析结...
为解决普通生物显微物镜视场小、场曲和色差严重的问题,本文利用光学软件Code V设计了一款20×平场复消色差显微物镜,通过合理的结构优化、光焦度分配及材料选择,使该物镜具有大视场、高数值孔径、平场复消色差的特点。设计分析结果表明,该物镜平场数为0.11μm,最大焦移量为0.5μm,满足显微物镜国际标准的规定;光学传递函数(MTF)曲线与理论衍射极限接近,达到指标要求,该物镜在可见光范围内实现了平场复消色差设计。公差分析结果表明RMS波前差劣化至0.24λ,能够满足加工和实际应用要求。
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关键词
光学设计
显微物镜
平场复消色差
大视
场
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职称材料
宽波段平场复消色差显微物镜设计
被引量：
4
2
作者
管鱼龙
郑小兵
翟文超
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期69-80,共12页
目前商品化的显微物镜的适用波段范围无法满足360~1000 nm波段范围的相关光子光斑的测量要求。从复消色差基础理论出发,研究了复消色差玻璃组合的选择方法,得到了二级光谱校正效果较好的玻璃组合。采用全球面折射式、无穷远校正的结构型...
目前商品化的显微物镜的适用波段范围无法满足360~1000 nm波段范围的相关光子光斑的测量要求。从复消色差基础理论出发,研究了复消色差玻璃组合的选择方法,得到了二级光谱校正效果较好的玻璃组合。采用全球面折射式、无穷远校正的结构型式,设计出一款放大倍率为20倍、数值孔径为0.3、工作距离为10 mm、齐焦距为60 mm、视场为0.66 mm、工作波长范围为360~1000 nm的平场复消色差显微物镜。调制传递函数曲线在80 lp/mm处接近衍射极限,场曲校正满足平场的国际标准,其余成像指标也接近衍射极限。公差分析结果表明,该显微物镜满足设计和实际加工要求。
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关键词
光学设计
显微成像
显微物镜
平场复消色差
宽光谱范围
相关光子
装调
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职称材料
Micro-LED晶圆缺陷检测的宽光谱大视场显微物镜设计
3
作者
洪惠敏
贺文俊
《光子学报》
北大核心
2025年第3期207-220,共14页
为了实现对Micro-LED晶圆缺陷的准确和高效检测,设计了一款工作波长覆盖可见光和近红外的宽光谱、大视场、平场、复消色差显微物镜。采用正-正-负三光组结构,计算调整了各光组光焦度并分配其元件特征,实现了大视场和长工作距设计。基于B...
为了实现对Micro-LED晶圆缺陷的准确和高效检测,设计了一款工作波长覆盖可见光和近红外的宽光谱、大视场、平场、复消色差显微物镜。采用正-正-负三光组结构,计算调整了各光组光焦度并分配其元件特征,实现了大视场和长工作距设计。基于Buchdahl色散模型进行了玻璃材料的色散矢量分析并指导了初始光学系统材料替换,实现了平场复消色差设计。设计结果表明:该显微物镜的工作波长范围为420 nm~1064 nm、放大倍率为10倍、视场为3.3 mm、数值孔径为0.34、可见光波段分辨率为0.88μm、近红外波段分辨率为1.35μm、工作距为8 mm、齐焦距为95 mm。其成像质量优良,调制传递函数曲线接近衍射极限,全谱段复消色差,全视场平坦,易于加工生产,可用于检测大范围的表面以及次表面的微米级Micro-LED晶圆缺陷。
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关键词
光学设计
显微物镜
Buchdahl模型
平场复消色差
Micro-LED
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职称材料
题名
N.A.0.75平场复消色差显微物镜光学设计
被引量：
18
1
作者
薛金来
巩岩
李佃蒙
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2015年第6期957-963,共7页
基金
吉林省重大科技攻关专项资助项目(No.20140203001GX)~~
文摘
为解决普通生物显微物镜视场小、场曲和色差严重的问题,本文利用光学软件Code V设计了一款20×平场复消色差显微物镜,通过合理的结构优化、光焦度分配及材料选择,使该物镜具有大视场、高数值孔径、平场复消色差的特点。设计分析结果表明,该物镜平场数为0.11μm,最大焦移量为0.5μm,满足显微物镜国际标准的规定;光学传递函数(MTF)曲线与理论衍射极限接近,达到指标要求,该物镜在可见光范围内实现了平场复消色差设计。公差分析结果表明RMS波前差劣化至0.24λ,能够满足加工和实际应用要求。
关键词
光学设计
显微物镜
平场复消色差
大视
场
Keywords
optical design
microscope objective
plan-apochromatic
large field of view
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
宽波段平场复消色差显微物镜设计
被引量：
4
2
作者
管鱼龙
郑小兵
翟文超
机构
中国科学技术大学物理学院
中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期69-80,共12页
基金
国家重点研发计划(No.2022YFB3903101)
中国科学院合肥物质科学研究院院长基金(No.YZJJ202201-CX)。
文摘
目前商品化的显微物镜的适用波段范围无法满足360~1000 nm波段范围的相关光子光斑的测量要求。从复消色差基础理论出发,研究了复消色差玻璃组合的选择方法,得到了二级光谱校正效果较好的玻璃组合。采用全球面折射式、无穷远校正的结构型式,设计出一款放大倍率为20倍、数值孔径为0.3、工作距离为10 mm、齐焦距为60 mm、视场为0.66 mm、工作波长范围为360~1000 nm的平场复消色差显微物镜。调制传递函数曲线在80 lp/mm处接近衍射极限,场曲校正满足平场的国际标准,其余成像指标也接近衍射极限。公差分析结果表明,该显微物镜满足设计和实际加工要求。
关键词
光学设计
显微成像
显微物镜
平场复消色差
宽光谱范围
相关光子
装调
Keywords
Optical design
Microscopic imaging
Microscope objective
Plan-apochromatic
Broadband apochromatic
Correlated photons
Adjustment
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
Micro-LED晶圆缺陷检测的宽光谱大视场显微物镜设计
3
作者
洪惠敏
贺文俊
机构
长春理工大学光电工程学院
出处
《光子学报》
北大核心
2025年第3期207-220,共14页
基金
吉林省自然科学基金(No.20240101341JC)。
文摘
为了实现对Micro-LED晶圆缺陷的准确和高效检测,设计了一款工作波长覆盖可见光和近红外的宽光谱、大视场、平场、复消色差显微物镜。采用正-正-负三光组结构,计算调整了各光组光焦度并分配其元件特征,实现了大视场和长工作距设计。基于Buchdahl色散模型进行了玻璃材料的色散矢量分析并指导了初始光学系统材料替换,实现了平场复消色差设计。设计结果表明:该显微物镜的工作波长范围为420 nm~1064 nm、放大倍率为10倍、视场为3.3 mm、数值孔径为0.34、可见光波段分辨率为0.88μm、近红外波段分辨率为1.35μm、工作距为8 mm、齐焦距为95 mm。其成像质量优良,调制传递函数曲线接近衍射极限,全谱段复消色差,全视场平坦,易于加工生产,可用于检测大范围的表面以及次表面的微米级Micro-LED晶圆缺陷。
关键词
光学设计
显微物镜
Buchdahl模型
平场复消色差
Micro-LED
Keywords
Optical design
Microscopic objective
Buchdahl model
Plan-Apochromatic
Micro-LED
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
N.A.0.75平场复消色差显微物镜光学设计
薛金来
巩岩
李佃蒙
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2015
18
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
宽波段平场复消色差显微物镜设计
管鱼龙
郑小兵
翟文超
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
4
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职称材料
3
Micro-LED晶圆缺陷检测的宽光谱大视场显微物镜设计
洪惠敏
贺文俊
《光子学报》
北大核心
2025
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