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MEMS显示技术
被引量：
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作者
耿卫东
刘会刚
商广辉
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期230-234,共5页
由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展。文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技...
由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展。文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技术、斯坦福大学发明的光栅光阀技术、美国Iridigm Display公司发明的干涉调制显示器。讨论了各种技术的优势和应用局限性,指出改进工艺、降低成本、开发优质的MEMS材料是MEMS显示技术发展的方向。
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关键词
数字微镜器件
光栅光阀
干涉调制显示器
微电机系统
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职称材料
题名
MEMS显示技术
被引量：
4
1
作者
耿卫东
刘会刚
商广辉
机构
南开大学光电子所光电信息技术科学教育部重点实验室
天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期230-234,共5页
基金
天津市科委攻关项目(No.033187011)
文摘
由于MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、性能优异等特点,MEMS技术在平板显示器产业日益受到人们的重视,基于MEMS的显示技术将推动新一代平板显示器的发展。文章重点分析了比较成熟的MEMS显示技术的工作原理,包括TI公司的数字微镜技术、斯坦福大学发明的光栅光阀技术、美国Iridigm Display公司发明的干涉调制显示器。讨论了各种技术的优势和应用局限性,指出改进工艺、降低成本、开发优质的MEMS材料是MEMS显示技术发展的方向。
关键词
数字微镜器件
光栅光阀
干涉调制显示器
微电机系统
Keywords
DMD
GLV
iMoD
MEMS
分类号
TN141 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS显示技术
耿卫东
刘会刚
商广辉
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
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