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Zernike多项式拟合干涉波面的基本原则被引量：8: 1; 作者莫卫东《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 2002年第3期35-38,共4页; 全面分析了用Zernike多项式拟合光学干涉波面的方法及其过程 ,找到了在拟合计算过程中出现“相关”或“病态”的原因 ,由此得到了用Zernike多项式拟合光学平面干涉波面应遵守的基本原则———Zernike多项式拟合干涉波面的阶不能大于被... 展开更多; 关键词干涉波面 Zernike多项式干涉波面拟合数字化干涉处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

用Zernike多项式拟合干涉波面不同算法的等价性研究: 2; 作者莫卫东范琦 +3 位作者张海防冯明德杨百愚贾晋超《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2010年第5期90-94,共5页; 通过严格证明在Zernike多项式拟合光学干涉波面时,求解拟合系数的2种典型算法即最小二乘法和Gram-Schimdt算法的等价性,论证了求解Zernike多项式拟合系数的各种算法在求解过程中具有相同的稳定性。研究发现当其中一种算法在求解过程因... 展开更多; 关键词 ZERNIKE多项式干涉波面最小二乘法 Gram—Schimdt算法算法等价性; 在线阅读下载PDF 职称材料

移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题被引量：6: 3; 作者于瀛洁韦春龙陈明仪《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期584-587,共4页; 光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求 ,近年来相关测量技术发展非常迅速 ,其中移相技术是较典型的代表 ,发展日趋成熟并得到了广泛应用。以PG 15型平面干涉仪为硬件基础 ,采用移相技术 ,解决了其中移相值标定、相位解调、误差... 展开更多; 关键词波面干涉仪移相值标定相位解调误差处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术被引量：5: 4; 作者王晓辉曹根瑞梅文辉《光电工程》 CAS CSCD 1997年第4期52-55,共4页; 讨论了一种新的干涉图处理方法，能实时快速准确地提取干涉图信息，直接测量波面的位相分布，获得较高的位相分辨率和空间分辨率，使光学波面的检测精度达到λ／１００以上，并且实现了波面的实时显示。; 关键词激光干涉仪数字干涉仪波面干涉仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

数字波面干涉仪测试光学材料均匀性: 5; 作者许卫刚《光学机械》 CSCD 1990年第2期16-21,共6页; 本文叙述了一种不受干涉仪系统误差及试样加工误差限制的测试光学材料均匀性的方法。借助于电子计算机,通过对四张干涉图的分析与处理,可以精确计算不包括线性变化的折射率偏差及厚度偏差。给出了两块玻璃的测试结果,并进行了测量精度... 展开更多; 关键词波面干涉仪光学材料测试数字式; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光数字平面检测系统的误差分析与应用: 6; 作者莫卫东《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 2003年第2期91-94,共4页; 根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的... 展开更多; 关键词光学平面检测数字化干涉波面 Zernike多项式拟合误差分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

内表面间垂直度的高精度测量方法设计与误差分析被引量：1: 7; 作者郑子文刘景坡陈善勇《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期36-41,共6页; 针对框体类零件超精密加工的难点问题——内表面间垂直度误差的高精度测量,提出了一种基于波面干涉技术测量的新方法,建立了垂直度测量系统,分析了各调整误差对测量结果的影响。该方法能够实现框体类零件内表面间垂直度误差的高精度测... 展开更多; 关键词垂直度测量内表面最小二乘波面干涉仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

光学薄膜参数测试: 8; 《中国光学》 CAS 2004年第4期68-68,共1页; 采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张... 展开更多; 关键词沉积速率数字波面干涉仪沉积温度电子束蒸发薄膜残余应力薄膜微结构应力状态工艺参量张应力光学薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

光学工艺: 9; 《中国光学与应用光学》 2007年第2期93-95,共3页; 关键词自聚焦透镜压印光刻子孔径拼接检测光刻图形数字光刻计算机控制光学表面成形干法刻蚀光刻系统刻蚀形貌激光直写负性光刻胶激光功率密度磁流变抛光数字波面干涉仪曝光工艺气囊抛光微细加工回转对称非球面激光干涉仪光学干涉仪锥体棱镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Zernike多项式拟合干涉波面的基本原则被引量：8: 1; 作者莫卫东; 机构空军工程大学工程学院; 出处《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 2002年第3期35-38,共4页; 文摘全面分析了用Zernike多项式拟合光学干涉波面的方法及其过程 ,找到了在拟合计算过程中出现“相关”或“病态”的原因 ,由此得到了用Zernike多项式拟合光学平面干涉波面应遵守的基本原则———Zernike多项式拟合干涉波面的阶不能大于被测光瞳内干涉条纹的数量 ,以避免拟合计算过程中出现“相关”或“病态” 。; 关键词干涉波面 Zernike多项式干涉波面拟合数字化干涉处理; Keywords interferogram fitting interferogram with Zernike polynomials processing interferogram by quantizing.; 分类号 O43 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用Zernike多项式拟合干涉波面不同算法的等价性研究: 2; 作者莫卫东范琦张海防冯明德杨百愚贾晋超; 机构空军工程大学理学院; 出处《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心 2010年第5期90-94,共5页; 基金陕西省自然科学基金资助项目(2010JM8012); 文摘通过严格证明在Zernike多项式拟合光学干涉波面时,求解拟合系数的2种典型算法即最小二乘法和Gram-Schimdt算法的等价性,论证了求解Zernike多项式拟合系数的各种算法在求解过程中具有相同的稳定性。研究发现当其中一种算法在求解过程因故中断或拟合的干涉波面出现了突变,则另一种算法同样无法实现对该干涉波面的正确拟合。研究结果表明:用Zernike多项式拟合干涉波面,没有哪一种算法更优于其他算法,仅仅是求解过程不同而已,各种算法的可靠性是等价的。; 关键词 ZERNIKE多项式干涉波面最小二乘法 Gram—Schimdt算法算法等价性; Keywords Zernike polynomials interference wave surface least square method Gram - Schimdt algorithm algo- rithm equivalence; 分类号 O436 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题被引量：6: 3; 作者于瀛洁韦春龙陈明仪; 机构上海大学精密机械工程系; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期584-587,共4页; 基金上海市教委青年基金项目; 文摘光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求 ,近年来相关测量技术发展非常迅速 ,其中移相技术是较典型的代表 ,发展日趋成熟并得到了广泛应用。以PG 15型平面干涉仪为硬件基础 ,采用移相技术 ,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点 ,研制了数字波面干涉仪。对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论。; 关键词波面干涉仪移相值标定相位解调误差处理; Keywords flatness interferometers calibration of phase step phase unwrapping error processing; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术被引量：5: 4; 作者王晓辉曹根瑞梅文辉; 机构北京理工大学光电工程系光电技术基础教研室; 出处《光电工程》 CAS CSCD 1997年第4期52-55,共4页; 文摘讨论了一种新的干涉图处理方法，能实时快速准确地提取干涉图信息，直接测量波面的位相分布，获得较高的位相分辨率和空间分辨率，使光学波面的检测精度达到λ／１００以上，并且实现了波面的实时显示。; 关键词激光干涉仪数字干涉仪波面干涉仪; Keywords Laser interferometers,Digital interferometers,Wave front interferometers,Fast Fourier transforms,CCD cameras,Computerised image processing.; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名数字波面干涉仪测试光学材料均匀性: 5; 作者许卫刚; 机构湖北; 出处《光学机械》 CSCD 1990年第2期16-21,共6页; 文摘本文叙述了一种不受干涉仪系统误差及试样加工误差限制的测试光学材料均匀性的方法。借助于电子计算机,通过对四张干涉图的分析与处理,可以精确计算不包括线性变化的折射率偏差及厚度偏差。给出了两块玻璃的测试结果,并进行了测量精度的分析,对25mm厚的玻璃,精度为4×10^(-7)。; 关键词波面干涉仪光学材料测试数字式; 分类号 TH740.4 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光数字平面检测系统的误差分析与应用: 6; 作者莫卫东; 机构空军工程大学工程学院; 出处《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 2003年第2期91-94,共4页; 文摘根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的大小对精度的影响进行了研究。; 关键词光学平面检测数字化干涉波面 Zernike多项式拟合误差分析; Keywords optical plane inspecting quatizing interference wave surface Zernike polynomials fitting error analysis; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名内表面间垂直度的高精度测量方法设计与误差分析被引量：1: 7; 作者郑子文刘景坡陈善勇; 机构国防科技大学机电工程与自动化学院; 出处《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期36-41,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(60708016); 文摘针对框体类零件超精密加工的难点问题——内表面间垂直度误差的高精度测量,提出了一种基于波面干涉技术测量的新方法,建立了垂直度测量系统,分析了各调整误差对测量结果的影响。该方法能够实现框体类零件内表面间垂直度误差的高精度测量与评价,并能得到误差的三维分布,测量结果可直接用于零件的确定性修形加工。实验表明,该方法可实现0.6″的综合测量精度。; 关键词垂直度测量内表面最小二乘波面干涉仪; Keywords perpendicularity measurement internal surface least square wave-front interferometer; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光学薄膜参数测试: 8; 出处《中国光学》 CAS 2004年第4期68-68,共1页; 文摘采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力,且压应力值随着沉积温度升高而增大。; 关键词沉积速率数字波面干涉仪沉积温度电子束蒸发薄膜残余应力薄膜微结构应力状态工艺参量张应力光学薄膜; 分类号 O484.41 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光学工艺: 9; 出处《中国光学与应用光学》 2007年第2期93-95,共3页; 关键词自聚焦透镜压印光刻子孔径拼接检测光刻图形数字光刻计算机控制光学表面成形干法刻蚀光刻系统刻蚀形貌激光直写负性光刻胶激光功率密度磁流变抛光数字波面干涉仪曝光工艺气囊抛光微细加工回转对称非球面激光干涉仪光学干涉仪锥体棱镜; 分类号 TN29 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	Zernike多项式拟合干涉波面的基本原则	莫卫东	《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD	2002	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	用Zernike多项式拟合干涉波面不同算法的等价性研究	莫卫东范琦张海防冯明德杨百愚贾晋超	《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题	于瀛洁韦春龙陈明仪	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	2001	6	在线阅读下载PDF 职称材料
4	激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术	王晓辉曹根瑞梅文辉	《光电工程》 CAS CSCD	1997	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	数字波面干涉仪测试光学材料均匀性	许卫刚	《光学机械》 CSCD	1990	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	激光数字平面检测系统的误差分析与应用	莫卫东	《空军工程大学学报（自然科学版）》 CSCD	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	内表面间垂直度的高精度测量方法设计与误差分析	郑子文刘景坡陈善勇	《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	光学薄膜参数测试		《中国光学》 CAS	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
9	光学工艺		《中国光学与应用光学》	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料