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干涉系统在拼接主镜共相位检测上的应用
被引量：
2
1
作者
宋贺伦
鲜浩
+1 位作者
姜文汉
王胜千
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期496-499,共4页
由拼接镜面实现的大口径望远镜主镜,需要对拼接子镜进行精确校正来实现子镜间的共面,使得望远镜取得接近其衍射极限的光学成像质量,子镜之间的垂向位移误差需要被校正到入射光波长的几分之一(<100 nm)。为实现此目标,在基于大口径迈...
由拼接镜面实现的大口径望远镜主镜,需要对拼接子镜进行精确校正来实现子镜间的共面,使得望远镜取得接近其衍射极限的光学成像质量,子镜之间的垂向位移误差需要被校正到入射光波长的几分之一(<100 nm)。为实现此目标,在基于大口径迈克逊干涉原理的基础上设计了一套子镜间相位误差检测系统。该检测系统的创新性在于激光光源与白光光源同时应用,以对拼接主镜子镜间位置误差进行检测,检测的不确定度为5～6 nm,检测范围为30～40μm,最后对该干涉检测系统的光学系统的设计进行分析,仿真出基于该检测系统的理论干涉图形,并得出较好的测试结果。
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关键词
干涉检测系统
拼接主镜
相位误差
检测
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职称材料
二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
2
作者
邓燕
王翔峰
+1 位作者
嵇保健
石琦凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期58-63,共6页
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造...
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造误差对于检测系统传递函数校准的影响,并分析了检测系统CCD对二元伪随机光栅欠采样和过采样时功率谱密度(PSD)的变化。结果表明:存在同等制造误差时,二元伪随机光栅结构比台阶位相结构对检测系统传递函数中高频能够实现更高精度的校准;当对二元伪随机光栅存在欠采样或过采样时,均会造成PSD随频率的下降,可通过对理想二元伪随机光栅的高度分布进行相应的采样修正消除因采样对传递函数校准的影响。
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关键词
干涉检测系统
传递函数
二元伪随机光栅
台阶
功率谱密度
中高频
制造误差
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职称材料
题名
干涉系统在拼接主镜共相位检测上的应用
被引量：
2
1
作者
宋贺伦
鲜浩
姜文汉
王胜千
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期496-499,共4页
文摘
由拼接镜面实现的大口径望远镜主镜,需要对拼接子镜进行精确校正来实现子镜间的共面,使得望远镜取得接近其衍射极限的光学成像质量,子镜之间的垂向位移误差需要被校正到入射光波长的几分之一(<100 nm)。为实现此目标,在基于大口径迈克逊干涉原理的基础上设计了一套子镜间相位误差检测系统。该检测系统的创新性在于激光光源与白光光源同时应用,以对拼接主镜子镜间位置误差进行检测,检测的不确定度为5～6 nm,检测范围为30～40μm,最后对该干涉检测系统的光学系统的设计进行分析,仿真出基于该检测系统的理论干涉图形,并得出较好的测试结果。
关键词
干涉检测系统
拼接主镜
相位误差
检测
Keywords
Interferometric measuring system
Phasing
Segmented mirrors
分类号
TN21/27 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
2
作者
邓燕
王翔峰
嵇保健
石琦凯
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期58-63,共6页
基金
中国工程物理研究院科技发展基金项目(2013B0401066)
文摘
采用高质量的标准位相结构是实现光学干涉检测系统的系统传递函数精确校准及保证光学元件波前/表面中高频段信息准确检测的前提。通过对二元伪随机光栅结构和台阶位相结构两类典型表面进行模拟,分析了空间周期误差及跃变边缘陡度等制造误差对于检测系统传递函数校准的影响,并分析了检测系统CCD对二元伪随机光栅欠采样和过采样时功率谱密度(PSD)的变化。结果表明:存在同等制造误差时,二元伪随机光栅结构比台阶位相结构对检测系统传递函数中高频能够实现更高精度的校准;当对二元伪随机光栅存在欠采样或过采样时,均会造成PSD随频率的下降,可通过对理想二元伪随机光栅的高度分布进行相应的采样修正消除因采样对传递函数校准的影响。
关键词
干涉检测系统
传递函数
二元伪随机光栅
台阶
功率谱密度
中高频
制造误差
Keywords
interferometric measurement system
system transfer {unction
binary pseudo random grating
step
power spectrum density
mid and high spatial frequency
fabrication imperfection
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
干涉系统在拼接主镜共相位检测上的应用
宋贺伦
鲜浩
姜文汉
王胜千
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007
2
在线阅读
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职称材料
2
二元伪随机光栅与台阶校准检测系统传递函数的影响分析
邓燕
王翔峰
嵇保健
石琦凯
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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职称材料
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