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题名光学自由曲面自适应干涉检测研究新进展
被引量：7
- 1
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作者
张磊
吴金灵
刘仁虎
俞本立
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机构
安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期227-244,共18页
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基金
国家自然科学基金(No.61705002,No.61675005,No.61905001,No.41875158)
安徽省自然科学基金(No.1808085QF198,No.1908085QF276)
+1 种基金
安徽大学科研启动项目(No.J01003208)
国家重点研发计划(No.2016YFC0301900,No.2016YFC0302202)。
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文摘
光学自由曲面因其表面自由度较多而难于进行检测。干涉检测法具有高精度非接触的特点,但传统干涉仪中的静态补偿器在自由曲面加工过程中未知面形不断变化的情况下,难以实现原位检测。因此,可编程控制的大动态范围自适应补偿器成为近年来自由曲面干涉检测中的研究热点。结合课题组在自由曲面自适应干涉检测领域的工作,介绍了光学自由曲面自适应干涉检测的最新研究进展,详细分析了基于可变形镜和空间光调制器的自适应干涉检测技术,介绍了针对干涉图目标的自适应控制算法,总结了两大类自适应检测方法的优点以及发展瓶颈,并对未来自由曲面的自适应检测技术进行了展望。
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关键词
自由曲面检测
自适应干涉检测法
可变形镜
空间光调制器
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Keywords
freeform surface testing
adaptive interferometry
DM
LC-SLM
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分类号
TQ171.65
[化学工程—玻璃工业]
TN247
[电子电信—物理电子学]
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题名光学自由曲面面形检测技术
被引量：39
- 2
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作者
张磊
刘东
师途
杨甬英
李劲松
俞本立
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机构
安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2017年第3期283-299,共17页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.61675005
No.61440010)
+3 种基金
安徽省自然科学基金资助项目(No.1508085MF118)
安徽省科技攻关项目(No.1501041136)
国家重点研发专项(No.2016YFC0302202)
安徽大学博士科研启动项目(No.J01003208)~~
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文摘
光学自由曲面因其表面自由度较大,可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差,同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求,逐渐成为现代光学工程领域的热点。自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素,而目前精密光学自由曲面的检测手段仍然沿用非球面检测方法。本文回顾了近年来的自由曲面检测发展历程,对目前主流的非接触式检测方法(微透镜阵列法,结构光三维检测法,相干层析术,干涉检测法)进行了重点介绍;总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点,同时结合这些技术难点,展望了自由曲面检测的未来发展新趋势,主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术。
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关键词
自由曲面检测
干涉检测法
子孔径拼接
非旋转对称像差补偿
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Keywords
free-form surface testing
interferometry
subaperture stitching
rotationally asymmetric aberrationcompensation
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分类号
TQ171.65
[化学工程—玻璃工业]
TN247
[电子电信—物理电子学]
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