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基于旋转法的干涉仪系统误差标定 被引量:6
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作者 张建锋 曹学东 +2 位作者 景洪伟 吴时彬 阴旭 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期69-74,共6页
针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度。该方法根据Zernike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现。本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出... 针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度。该方法根据Zernike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现。本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析。实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,RMS值为0.001λ。误差分析结果表明,一次旋转法的旋转误差小于N次平分法,因此一次旋转法是一种精度更高的方法。 展开更多
关键词 光学检测 旋转 干涉仪系统误差 ZERNIKE多项式 绝对标定
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雷尼绍XL-80全新轻巧型激光干涉仪测量系统 被引量:1
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《工具技术》 北大核心 2007年第10期115-115,共1页
关键词 干涉仪测量系统 激光系统 RENISHAW 角度测量系统 连接电缆 补偿器 三脚架 便携性
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Renishaw的新型XL-80全新轻巧型激光干涉仪测量系统 被引量:1
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《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第12期131-131,共1页
Renishaw的新型XL-80激光系统和XC-80补偿器,比原有的ML10和EC10小了许多。现在,二者总重仅3kg多一点(包括连接电缆、电源和传感器),比原来减轻了70%。当然,随着激光头和补偿器尺寸减小,其他系统组件,例如三脚架和云台也相应... Renishaw的新型XL-80激光系统和XC-80补偿器,比原有的ML10和EC10小了许多。现在,二者总重仅3kg多一点(包括连接电缆、电源和传感器),比原来减轻了70%。当然,随着激光头和补偿器尺寸减小,其他系统组件,例如三脚架和云台也相应地减小以便相配,因此整个系统(配小型三脚架)的运输箱减小了许多。现在,最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点,却可以携带整个线性和角度测量系统,并按需预留放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。 展开更多
关键词 RENISHAW 干涉仪测量系统 激光系统 角度测量系统 连接电缆 补偿器 三脚架 传感器
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XL-80轻巧型激光干涉仪测量系统在北京正式发布销售
4
作者 舒畅 《航空制造技术》 2007年第5期28-28,共1页
2007年4月12日,畅销全球多年的ML10 Gold激光干涉仪的制造商——英国计量产品世家Reni-shaw公司推出XL-80轻巧型激光干涉仪,能够满足和超越工业界的实际需求。在第十届中国国际机床博览会的201技术交流大厅,雷尼绍(上海)贸易有限... 2007年4月12日,畅销全球多年的ML10 Gold激光干涉仪的制造商——英国计量产品世家Reni-shaw公司推出XL-80轻巧型激光干涉仪,能够满足和超越工业界的实际需求。在第十届中国国际机床博览会的201技术交流大厅,雷尼绍(上海)贸易有限公司总经理Andy Buttrey先生宣布雷尼绍的新型XL-80轻巧型激光干涉仪的诞生。 展开更多
关键词 激光干涉仪 干涉仪测量系统 销售 北京 计量产品 GOLD 技术交流 制造商
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激光干涉仪的细分技术
5
作者 邓上 《工具技术》 北大核心 2005年第7期94-95,共2页
关键词 激光干涉仪 细分技术 干涉仪系统 迈克尔逊 脉冲当量 精密测量 细分方法 电子细分 光学细分 反射器 分辨率 接收
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检验光学表面和透镜的数字波前测量干涉仪
6
《光学精密工程》 EI CAS 1976年第4期31-42,共12页
摘要用自扫描1024单元光电二极管阵列和小型计算机测量干涉仪干涉图形的相位(波前)测到λ/100。通过压电晶体改变参考臂长,在干涉图形中32×32矩阵排列的光电二极管阵列采样光强。应用这些数据通过傅里叶级数方法小型计算机同步探测... 摘要用自扫描1024单元光电二极管阵列和小型计算机测量干涉仪干涉图形的相位(波前)测到λ/100。通过压电晶体改变参考臂长,在干涉图形中32×32矩阵排列的光电二极管阵列采样光强。应用这些数据通过傅里叶级数方法小型计算机同步探测每1024个点的相位并把波前的等高图和透视图在少于1分钟内显示在存储示波器上.阵列的光强是以随机形式多次采样并取平均值,使大气抖动,振动和热流效应最小。很重要的是容易测定干涉仪的波前误差并且从当时的或以后的波前处理中自动相减。支持测量系统的各个程序包括确定孔径边界,波前总和和区分,倾斜相聚焦误差的消去或引入以及波前空间操作程序等软件。快速傅里叶变换程序把波前数据转换成点扩散函数以及透镜的光学传递函数的模和相位.显示程序以等高图和透视图形式绘制这些函数.已设计这个系统使收集数据最佳化并得出比测量单个元件和测量衍射极限光学系统性能的通常准度更高,更进一步,由于循环操作只需要暂短几分钟的时间使该系统成为光学车间取代样板施加的限制更有吸引力. 展开更多
关键词 干涉仪系统 波前 外存储器 程序 调制传递函数 反差传递函数 光学传递函数 透镜 点扩散函数 光学表面
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法布里-珀罗环转线系统的测风激光雷达技术与数值仿真
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作者 谭林秋 华灯鑫 +1 位作者 汪丽 王玉峰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第10期2669-2673,共5页
设计了基于法布里-珀罗(F-P)条纹技术的非相干多普勒测风激光雷达系统,采用环转线干涉仪光学系统(CLIO)将F-P形成的环状条纹转换成线性条纹成像到具有高量子效率的CCD探测器上进行检测,克服了环状条纹与传统阵列式探测器不匹配的缺点并... 设计了基于法布里-珀罗(F-P)条纹技术的非相干多普勒测风激光雷达系统,采用环转线干涉仪光学系统(CLIO)将F-P形成的环状条纹转换成线性条纹成像到具有高量子效率的CCD探测器上进行检测,克服了环状条纹与传统阵列式探测器不匹配的缺点并改善了探测系统的信噪比。采用光学设计软件ZEMAX对该系统进行了光学设计和数值仿真,得到了用于反演风速的不同波长干涉条纹图样,并对重心法和Voigt函数拟合法两种主要的风速反演方法进行了对比讨论。结果表明:用Voigt函数拟合法反演风速误差较小,获得风速在20 m/s时的误差小于0.5 m/s,验证了该系统的设计及数据反演算法的可行性,为测风激光雷达的进一步研制提供了理论依据。 展开更多
关键词 激光雷达 法布里-珀罗(F—P)干涉仪 条纹技术 环转线干涉仪光学系统 风速反演
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傅里叶光谱仪平动式光程扫描控制系统设计 被引量:3
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作者 郭兰杰 马文坡 +2 位作者 王淳 林喆 王浩 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第1期148-154,共7页
为实现大气痕量气体的临边和天底超光谱探测,利用时间调制型傅里叶变换光谱仪获取光谱信息,其干涉仪控制系统中光程扫描速度稳定度≥99.5%。针对光程扫描行程长,扫描速度稳定性要求高,设计平动式光程扫描的干涉仪控制系统,并给出扫描实... 为实现大气痕量气体的临边和天底超光谱探测,利用时间调制型傅里叶变换光谱仪获取光谱信息,其干涉仪控制系统中光程扫描速度稳定度≥99.5%。针对光程扫描行程长,扫描速度稳定性要求高,设计平动式光程扫描的干涉仪控制系统,并给出扫描实现原理图。由于控制系统存在摩擦力、振动等干扰导致扫描速度波动,理论分析其对干涉信号强度和反演光谱的影响。鉴于角镜扫描运动和扰动具有周期性特点,提出插入式重复控制器来抑制周期性干扰,改善动镜运动速度的匀速性。对控制策略进行MATLAB数值仿真和实验验证,实验结果表明:当角镜以10.625 mm/s运动时,插入式重复控制器可逐周期地改善角镜运动稳定度,最终位移误差为±0.00025 mm,速度误差为±0.0004 mm/s;满足速度稳定度≥99.5%的要求。 展开更多
关键词 干涉仪控制系统 光程差 插入式重复控制器 速度稳定度
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Opto-mechanical-thermal integration analysis of Doppler asymmetric spatial heterodyne interferometer
9
作者 WANG Jin-jiang JIANG Lun +3 位作者 TONG Shou-feng PEI Hui-yi CUI Yong GUO Ming-hang 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1489-1511,共23页
In order to improve the detection accuracy of Doppler asymmetric spatial heterodyne(DASH)interferometer in harsh temperatures,an opto-mechanical-thermal integration analysis is carried out.Firstly,the correlation betw... In order to improve the detection accuracy of Doppler asymmetric spatial heterodyne(DASH)interferometer in harsh temperatures,an opto-mechanical-thermal integration analysis is carried out.Firstly,the correlation between the interference phase and temperature is established according to the working principle and the phase algorithm of the interferometer.Secondly,the optical mechanical thermal analysis model and thermal deformation data acquisition model are designed.The deformation data of the interference module and the imaging optical system at different temperatures are given by temperature load simulation analysis,and the phase error caused by thermal deformation is obtained by fitting.Finally,based on the wind speed error caused by thermal deformation of each component,a reasonable temperature control scheme is proposed.The results show that the interference module occupies the main cause,the temperature must be controlled within(20±0.05)℃,and the temperature control should be carried out for the temperature sensitive parts,and the wind speed error caused by the part is 3.8 m/s.The thermal drift between the magnification of the imaging optical system and the thermal drift of the relative position between the imaging optical system and the detector should occupy the secondary cause,which should be controlled within(20±2)℃,and the wind speed error caused by the part is 3.05 m/s.In summary,the wind measurement error caused by interference module,imaging optical system,and the relative position between the imaging optical system and the detector can be controlled within 6.85 m/s.The analysis and temperature control schemes presented in this paper can provide theoretical basis for DASH interferometer engineering applications. 展开更多
关键词 Doppler asymmetric spatial heterodyne interferometer interference module imaging optical system opto-mechanical thermal integration analysis phase error temperature control
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超大规模红外器件混成互连的新设备与新方法 被引量:5
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作者 谢珩 张毓捷 王宪谋 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1048-1050,共3页
介绍了红外探测器与读出电路倒装互连工艺过程,详细对比倒装焊接机FC150和FC300的主要技术参数和功能,着重讨论了FC300新增加的自适应调平系统和干涉仪系统。回顾了法国LETI实验室应用自适应调平系统进行的2K×2K超大规模红外器件... 介绍了红外探测器与读出电路倒装互连工艺过程,详细对比倒装焊接机FC150和FC300的主要技术参数和功能,着重讨论了FC300新增加的自适应调平系统和干涉仪系统。回顾了法国LETI实验室应用自适应调平系统进行的2K×2K超大规模红外器件混成实验和干涉仪系统在超大规模红外器件倒装互连方面的应用。 展开更多
关键词 倒装互连 FC300 自适应调平系统 干涉仪系统
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英国剑桥综合孔径射电望远镜发展的历史概况 被引量:2
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作者 钱善瑎 《自然科学史研究》 1984年第2期194-202,共9页
在从四十年代中期开始发展起来的射电天文学的历史中,综合孔径技术的研究和应用具有重大意义。这种技术从五十年代中期开始得到了迅速的发展。英国射电天文学家马丁·赖尔(M.Ryle)领导的剑桥射电天文小组,特别是赖尔本人,曾为此作... 在从四十年代中期开始发展起来的射电天文学的历史中,综合孔径技术的研究和应用具有重大意义。这种技术从五十年代中期开始得到了迅速的发展。英国射电天文学家马丁·赖尔(M.Ryle)领导的剑桥射电天文小组,特别是赖尔本人,曾为此作出了巨大的努力,在六十年代到七十年代期间,他们在这个领域里一直处于领先地位。 展开更多
关键词 综合孔径射电望远镜 地球自转 天线单元 分辨率 亮度分布 太阳射电 射电天文学 宇宙射电源 干涉仪系统 灵敏度
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光电成像与器件
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《中国光学》 EI CAS 1999年第5期70-71,共2页
TN386.5 99053263测量CCD传递函数的实验系统=An experimentalsystem for measuring modulation transferfunctin of CCD[刊,中]/宋敏,胡家升,李叶芳,孙怡(大连理工大学电子与信息工程学院.辽宁,大连(116023))//中国激光.—1999,26(4).... TN386.5 99053263测量CCD传递函数的实验系统=An experimentalsystem for measuring modulation transferfunctin of CCD[刊,中]/宋敏,胡家升,李叶芳,孙怡(大连理工大学电子与信息工程学院.辽宁,大连(116023))//中国激光.—1999,26(4).—327—331介绍了一种新型的测量CCD传递函数的灵巧系统,该系统包括能产生动态变频正弦光栅图样的灵巧干涉仪系统,数据采集和转换系统,数字处理所必须的软硬件等。测量结果表明:干涉仪所产生的正弦光栅图样,可在0.2~80 line pair/mm的空间频率范围内以误差小于1%的精度实现连续变频,且信号的调制对比度接近于1。将该干涉仪产生的正弦光栅图样用作测量CCD的调制传递函数的靶标,再采用我们专门研制的数据处理的软硬件,得到了令人满意的测量结果。图6表2参8(赵桂云) 展开更多
关键词 正弦光栅图样 调制传递函数 干涉仪系统 数据处理 测量结果 调制对比度 数据采集 软硬件 实验系统 信息工程学
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雷尼绍参加东莞国际模具及金属加工展
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《工具技术》 2014年第12期I0014-I0014,共1页
11月19-22日,雷尼绍携旗下一系列重磅产品参加第16届东莞国际模具及金属加工展fDMP2014),这些产品包括Equator比对仪、基于激光熔融技术的AM250快速成型系统、精密位置反馈系统、坐标测量五轴测座、激光干涉仪系统及球杆仪等。
关键词 金属加工 模具 国际 东莞 快速成型系统 位置反馈系统 干涉仪系统 熔融技术
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国内外动态 被引量:1
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《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第5期1-5,共5页
杜尔Ecoclean亮相北京CIMT2007;中国一航将规范管理其供应商;雷尼绍推出XL-80轻巧型激光干涉仪测量系统;意大利国家展团再度关注CIMT;山崎马扎克在CIMT 2007期间举行招待酒会。
关键词 国内外 干涉仪测量系统 CIMT 供应商 意大利
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激光测量专家
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《工具技术》 北大核心 2008年第1期34-35,共2页
美国光动公司(Optodyne,Inc.)是一家集研究开发、生产制造和销售激光干涉仪测量系统为一体的高科技公司,公司位于美国西海岸美丽的海滨城市洛杉矶。自上世纪80年代成立以来,光动公司长期致力于用创新科技为广大客户提供优质的激... 美国光动公司(Optodyne,Inc.)是一家集研究开发、生产制造和销售激光干涉仪测量系统为一体的高科技公司,公司位于美国西海岸美丽的海滨城市洛杉矶。自上世纪80年代成立以来,光动公司长期致力于用创新科技为广大客户提供优质的激光测量系统,并将创新科技带来的成本优势与客户分享。 展开更多
关键词 激光测量系统 干涉仪测量系统 专家 美国光动公司 创新科技 高科技公司 美国西海岸 研究开发
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