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1555nm宽带通滤光膜的设计和优化 被引量:10
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作者 张金胜 张金龙 +1 位作者 宁永强 王立军 《中国光学》 EI CAS 2013年第4期557-562,共6页
针对对空间通信的特殊需求,设计并制备了1 555 nm波段的高透过率、宽带通滤光膜,该滤光膜在高温高湿环境下能够稳定工作。根据薄膜设计理论,选取折射率差大的TiO2和SiO2作为镀膜材料,采用规整膜系进行膜系设计。借助Optilayer软件,采用... 针对对空间通信的特殊需求,设计并制备了1 555 nm波段的高透过率、宽带通滤光膜,该滤光膜在高温高湿环境下能够稳定工作。根据薄膜设计理论,选取折射率差大的TiO2和SiO2作为镀膜材料,采用规整膜系进行膜系设计。借助Optilayer软件,采用针形优化和双面镀膜方法,得到优化的非规整膜系。采用直接与间接监控相结合的手段监控薄膜生长,并探讨了薄膜的生长条件。在电子束蒸发离子辅助沉积条件下,制备出中心波长处透过率达到97%,带宽为50 nm的滤光膜。在100℃高温和-30℃低温各保持3 h的条件下,波长漂移仅0.2 nm,具有高的稳定性和可靠性,满足空间通信的使用要求。 展开更多
关键词 带通滤光膜 系设计 制备
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粮食筛选系统中双通道带通滤光膜的研制 被引量:4
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作者 付秀华 何松霖 +3 位作者 贾星明 刘冬梅 张静 刘爽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期21-26,共6页
利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道... 利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道带通滤光片进行研制,从膜系设计理论出发,采用了Smith法结合膜系设计软件设计了以周期膜系和非周期膜系相结合的双通道带通滤光膜系,利用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法进行制备并通过数学建模分析,减小了实验误差对光谱的影响.在1 200nm和1 450nm波段得到平均透射率大于97%,1 000~1 130nm和1 570~2 000nm波段平均透射率小于1%的滤光膜,通过系统测试,满足使用要求. 展开更多
关键词 光学薄 带通滤光膜 Smith法 粮食筛选 系设计 真空镀 厚监控
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离子束溅射技术制备高性能光通信带通滤光膜的研究 被引量:6
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作者 石澎 张功 +1 位作者 张于帅 王丽荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期136-139,共4页
光通信以其传输速率高、信息容量大、保密性能好、抗干扰能力强等优点,在通信领域得到了广泛应用,是未来信息网络的主要通信方式。光通信的信息载体是光波,为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量,满足光通信系统的使用要求,对高... 光通信以其传输速率高、信息容量大、保密性能好、抗干扰能力强等优点,在通信领域得到了广泛应用,是未来信息网络的主要通信方式。光通信的信息载体是光波,为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量,满足光通信系统的使用要求,对高性能的带通滤光膜进行了研制。采用离子束溅射技术,以Ta_2O_5和SiO_2作为镀膜材料,设计了含有12个谐振腔的带通滤光膜,分析并解决了耦合层膜厚监控的问题。制备的带通滤光膜在1528~1571 nm处插入损耗小于0.2 dB,1470~1521 nm和1578~1651 nm处透射隔离度大于40 dB,满足实际使用要求。 展开更多
关键词 带通滤光膜 谐振腔 耦合层
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车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜工艺研究 被引量:1
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作者 李卓 吴博琦 史公莱 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期557-561,共5页
在车载主动式红外夜视系统中,为满足光学系统对滤光膜的要求,提出一种800~1000nm带通滤光膜,以实现夜间大视觉范围、降低背景中杂散光干扰以及提高成像质量的要求。针对车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜的参数要求,以薄膜材料应用技... 在车载主动式红外夜视系统中,为满足光学系统对滤光膜的要求,提出一种800~1000nm带通滤光膜,以实现夜间大视觉范围、降低背景中杂散光干扰以及提高成像质量的要求。针对车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜的参数要求,以薄膜材料应用技术为基础,优化、设计带通滤光膜系结构。采用OTFC-1300镀膜机制备薄膜,建立评价函数,通过牛顿迭代法优化薄膜结构,调节敏感膜层厚度,优化工艺,解决了实际镀制的薄膜通带中心区域透过率低,以及光谱曲线边缘起伏震荡大的问题,最终制作了光学性能好的滤光膜。测试表明:在800~1000nm波段平均透过率大于99%,在380~780nm波段平均透过率小于3%,在1064~1270nm波段平均透过率小于2%,该滤光膜可以满足车载主动式红外夜视系统环境使用要求。 展开更多
关键词 汽车主动式红外夜视系统 工艺 带通滤光膜 牛顿迭代法
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氧化铝基体3.7μm与4.8μm双波段带通滤光膜研制
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作者 岳威 韩隆 +2 位作者 张阔 韩永昶 赵明艳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第6期180-185,共6页
以红外光学和薄膜技术为理论背景,详细介绍了氧化铝基体表面3.7μm与4.8μm双波段带通滤光膜的特性、制备及测试方法。氧化铝(Al_2O_3)由于其透光区域较宽,牢固度好,便于光学系统使用而被经常应用于中波红外光学系统中。采用软件优化计... 以红外光学和薄膜技术为理论背景,详细介绍了氧化铝基体表面3.7μm与4.8μm双波段带通滤光膜的特性、制备及测试方法。氧化铝(Al_2O_3)由于其透光区域较宽,牢固度好,便于光学系统使用而被经常应用于中波红外光学系统中。采用软件优化计算和双面镀制截止带通滤光膜的方案,通过速率控制、离子辅助等工艺方法研制成功了可靠性和光谱特性皆优的双波段带通滤光薄膜。分析认为设计结构和优化算法对于薄膜通带平坦度、截止深度以及透过率有着明显的影响。制备工艺方面,除了合适的蒸发速率外,采取缓慢蒸发和弱离子能量辅助也是很重要的关键技术,最终光谱透过率测试平均大于87%,通过了环境测试,符合使用要求。 展开更多
关键词 红外光学 带通滤光膜 牢固度 透过率
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可见光变角度带通滤光膜研制 被引量:5
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作者 岳威 曹景华 +3 位作者 苑利钢 韩永昶 张阔 刘连泽 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期909-912,共4页
以薄膜光学为背景,介绍了可见光波段变角度带通滤光膜的用途、设计与制备方法。基于波动光学原理,首先分析了带通滤光膜的光学特性以及变角度使用的难点,其次讨论了0°~33°入射时薄膜选材、测试、工艺制备等研究过程中的主要... 以薄膜光学为背景,介绍了可见光波段变角度带通滤光膜的用途、设计与制备方法。基于波动光学原理,首先分析了带通滤光膜的光学特性以及变角度使用的难点,其次讨论了0°~33°入射时薄膜选材、测试、工艺制备等研究过程中的主要技术问题。利用薄膜软件进行优化计算后,结合光学控制与离子辅助工艺得到了吸收低、偏移量小与附着力良好的薄膜。目前相关的技术应用在地形勘测相机中达到了空间变角度高分辨率成像的效果。 展开更多
关键词 可见光 光学薄 变角度 带通滤光膜
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矩形波宽带通滤光膜研究
7
作者 董莹 张艳茹 +2 位作者 胡荣 刘永强 杨崇民 《应用光学》 CAS 北大核心 2023年第1期188-194,共7页
对矩形波宽带通滤光片进行了深入研究,提出了一种设计、制备矩形波宽带通滤光片的方法。使用该方法设计并制备了400 nm~1 100 nm波段,中心波长λ_(0)=515 nm,透射带λ=λ_(0)±25 nm,透射带平均透射率τ≥92%,截止带λ=400 nm~475 n... 对矩形波宽带通滤光片进行了深入研究,提出了一种设计、制备矩形波宽带通滤光片的方法。使用该方法设计并制备了400 nm~1 100 nm波段,中心波长λ_(0)=515 nm,透射带λ=λ_(0)±25 nm,透射带平均透射率τ≥92%,截止带λ=400 nm~475 nm、λ=555 nm~1 100 nm,截止带透射率小于0.1%的矩形波宽带通OD3-A滤光片。对样片光谱进行了测试,结果满足需求。该方法设计、制备矩形波宽带通滤光片克服了F-P型窄带滤光膜监控精度要求高、通带宽带窄、成本高以及传统长、短波截止膜组合方式膜层总厚度过大、通带透过率低、波形矩形度差的缺点。 展开更多
关键词 光学薄 带通滤光膜 矩形波 吸光性
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双面镀膜法制备高面形精度滤光片
8
作者 董莹 陶忠 +2 位作者 赵兴梅 师建涛 王冠 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第5期1049-1055,共7页
对双面镀膜法制备高面形精度滤光器件进行研究,通过在一面沉积带通滤光膜,另外一面沉积应力/形变匹配膜层的方式,制备了外径Φ25 mm,径厚比为10∶1的HWB900基底高面形精度带通滤光膜。测试结果显示:在通带1 215 nm~1 265 nm波段的平均... 对双面镀膜法制备高面形精度滤光器件进行研究,通过在一面沉积带通滤光膜,另外一面沉积应力/形变匹配膜层的方式,制备了外径Φ25 mm,径厚比为10∶1的HWB900基底高面形精度带通滤光膜。测试结果显示:在通带1 215 nm~1 265 nm波段的平均透过率■≥92%,截止带900 nm~1 135 nm、1 345 nm~1 700 nm内透过率■<1%,镀膜后零件2个表面的均方根(root-mean-square,RMS)值均优于λ/20。深入分析双面镀膜时2个表面面形的变化规律,确定了匹配膜层的厚度及该方法的使用特点。该方法实践性强,制备的光学器件光学性能优异,面形精度高,对高面形精度光学器件的制备具有重要参考价值和指导意义。 展开更多
关键词 带通滤光膜 表面面形 层应力 形变量 匹配层
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