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新型酸铜电镀加速剂MA的应用研究
被引量：
2
1
作者
兰岚
王翀
+5 位作者
王朋举
明小强
朱永康
黄清华
何为
周国云
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2023年第12期64-70,共7页
酸性电镀铜是重要的电子互连制造技术之一。为解决其工业生产过程中,聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS)和3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)稳定性欠佳,导致镀液老化,使添加剂监控失效、镀液均镀能力下降和镀层结瘤等问题,通过电化学实验、定量分析实验...
酸性电镀铜是重要的电子互连制造技术之一。为解决其工业生产过程中,聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS)和3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)稳定性欠佳,导致镀液老化,使添加剂监控失效、镀液均镀能力下降和镀层结瘤等问题,通过电化学实验、定量分析实验和电镀实验,研究了巯基丙烷磺酸络二铜(MA)作为电子互连中酸铜电镀加速剂的特性。结果表明,MA能够直接替代原配方中的SPS和MPS,作为酸铜加速剂使用,且工作浓度更低,具有更宽的CVS分析线性区间,能够提供更准确的定量分析结果,在微通孔保型电镀中表现出良好的均镀能力,并能实现微盲孔的超级填充,不改变铜镀层的金相织构等,展现出广阔的应用前景。
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关键词
电镀铜添加剂
加速剂
浓度分析
均镀能力
巯基丙烷磺酸络合物
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职称材料
题名
新型酸铜电镀加速剂MA的应用研究
被引量：
2
1
作者
兰岚
王翀
王朋举
明小强
朱永康
黄清华
何为
周国云
机构
中国电子科技大学材料与能源学院
江苏铭丰电子材料有限公司
奈电软性科技电子(珠海)有限公司
出处
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2023年第12期64-70,共7页
基金
国家自然科学基金面上项目(22172020)和专项项目(22241201)
珠海市创新创业团队项目(ZH0405190005PWC)
珠海市科技计划项目(ZH22044702190033HJL)
文摘
酸性电镀铜是重要的电子互连制造技术之一。为解决其工业生产过程中,聚二硫二丙烷磺酸钠(SPS)和3-巯基-1-丙烷磺酸钠(MPS)稳定性欠佳,导致镀液老化,使添加剂监控失效、镀液均镀能力下降和镀层结瘤等问题,通过电化学实验、定量分析实验和电镀实验,研究了巯基丙烷磺酸络二铜(MA)作为电子互连中酸铜电镀加速剂的特性。结果表明,MA能够直接替代原配方中的SPS和MPS,作为酸铜加速剂使用,且工作浓度更低,具有更宽的CVS分析线性区间,能够提供更准确的定量分析结果,在微通孔保型电镀中表现出良好的均镀能力,并能实现微盲孔的超级填充,不改变铜镀层的金相织构等,展现出广阔的应用前景。
关键词
电镀铜添加剂
加速剂
浓度分析
均镀能力
巯基丙烷磺酸络合物
Keywords
copper electroplating additives
accelerator
concentration analysis
throwing power
mercapto-propane-sulphonate complex
分类号
TQ153.14 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型酸铜电镀加速剂MA的应用研究
兰岚
王翀
王朋举
明小强
朱永康
黄清华
何为
周国云
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2023
2
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