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差频式位移传感器的研究被引量：2: 1; 作者彭东林杨伟 +1 位作者张兴红刘小康《工具技术》北大核心 2004年第6期55-57,共3页; 对差频式测量进行了深入探讨 ,揭示了差频式测量的本质 ,进而将原有的差频式动态传动误差的测量方法移植成一种圆分度静态传动误差测量方法 ,并提出一种用于差频电路工程设计的新方法———齿波对偶法。; 关键词差频式位移传感器差频式测量齿波对偶法角位移精密测量传动误差; 在线阅读下载PDF 职称材料

差频式感应同步器微机检测系统及应用被引量：5: 2; 作者宋现春李春阳《制造技术与机床》 CSCD 1994年第11期16-18,共3页; 介绍了差频式感应同步器微机检测系统的工作原理及硬件组成。该系统采用差频细分技术，可使线位移测量分辨率达０．１μｍ（角位移达０．２″）。最后给出了该系统在感应同步器数显表，机床传动精度检查仪上应用的实例。; 关键词感应同步器微机检测系统差频式位移度测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制被引量：8: 3; 作者王磊杰张鸣 +2 位作者鲁森朱煜杨开明《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1213-1221,共9页; 利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理... 展开更多; 关键词全息曝光零差移频式干涉图形相位锁定系统系统辨识高阶线性拟合微振动 PID控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

土壤水分介电频差式传感器研究: 4; 作者马孝义马建仓《电子测量技术》 2002年第4期36-39,共4页; 文中提出了一种新型介电频差式土壤水分传感器,研究了其量测特性。研究表明:在测量频率段内非盐碱性土壤的电导损耗角正切值大,土壤为高变损耗材料,利用频差式LC谐振电路,大幅度提高测量回路的品质因数,可以有效消除土壤电导变化对介电... 展开更多; 关键词土壤水分介电频差式介电常数电导损耗角传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统被引量：5: 5; 作者王磊杰张鸣 +2 位作者朱煜鲁森杨开明《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1765-1773,共9页; 扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式... 展开更多; 关键词扫描干涉光刻零差移频式相位锁定外差利特罗光栅干涉仪移相锁定控制陷阱滤波; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名差频式位移传感器的研究被引量：2: 1; 作者彭东林杨伟张兴红刘小康; 机构重庆大学重庆工学院; 出处《工具技术》北大核心 2004年第6期55-57,共3页; 基金国家自然科学基金项目 (项目编号 :5 0 0 75 0 91); 文摘对差频式测量进行了深入探讨 ,揭示了差频式测量的本质 ,进而将原有的差频式动态传动误差的测量方法移植成一种圆分度静态传动误差测量方法 ,并提出一种用于差频电路工程设计的新方法———齿波对偶法。; 关键词差频式位移传感器差频式测量齿波对偶法角位移精密测量传动误差; Keywords driving error, differential frequency, angular displacement, measurement; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名差频式感应同步器微机检测系统及应用被引量：5: 2; 作者宋现春李春阳; 机构山东工业大学; 出处《制造技术与机床》 CSCD 1994年第11期16-18,共3页; 文摘介绍了差频式感应同步器微机检测系统的工作原理及硬件组成。该系统采用差频细分技术，可使线位移测量分辨率达０．１μｍ（角位移达０．２″）。最后给出了该系统在感应同步器数显表，机床传动精度检查仪上应用的实例。; 关键词感应同步器微机检测系统差频式位移度测量; 分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器] TH822 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制被引量：8: 3; 作者王磊杰张鸣鲁森朱煜杨开明; 机构清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1213-1221,共9页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51677104) 中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885); 文摘利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理论建模及模型辨识的基础上,针对非线性系统模型进行了高阶线性化拟合,并结合系统振动测试实验结果,设计了系统控制器。然后,对设计的控制器进行了实际控制调试,实现了系统的超精密控制。最后,针对系统控制误差纹波,采用频域分析方法揭示了影响系统控制精度的主要因素,提出了未来提升系统控制精度的方法。测试结果显示:系统相位锁定控制精度可达±0.046 1rad(3σ)且以高频误差纹波形式呈现。分析了高频误差纹波的成因,指出受系统噪声、延迟、控制器参数等因素限制,控制器很难完全抑制频段跨度大而连续的高频微振动引起的干涉图形相位漂移。; 关键词全息曝光零差移频式干涉图形相位锁定系统系统辨识高阶线性拟合微振动 PID控制; Keywords holographic exposure homodyne frequency-shifting interference pattern phase lockingsystem system identification high order linear fitting micro-vibration PID control; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] O438.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名土壤水分介电频差式传感器研究: 4; 作者马孝义马建仓; 机构西北农林科技大学水利与建筑工程学院西北工业大学高新技术研究所; 出处《电子测量技术》 2002年第4期36-39,共4页; 文摘文中提出了一种新型介电频差式土壤水分传感器,研究了其量测特性。研究表明:在测量频率段内非盐碱性土壤的电导损耗角正切值大,土壤为高变损耗材料,利用频差式LC谐振电路,大幅度提高测量回路的品质因数,可以有效消除土壤电导变化对介电常数测量的干扰,以此为基础研制的土壤水分传感器可以基本上满足非盐碱性土壤定点水分测量的要求。; 关键词土壤水分介电频差式介电常数电导损耗角传感器; Keywords soil moisture dielectric properties factor of loss sensor; 分类号 S159 [农业科学—土壤学] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统被引量：5: 5; 作者王磊杰张鸣朱煜鲁森杨开明; 机构清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1765-1773,共9页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51677104) 中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885) 02国家重大科技专项资助项目(No.2018ZX02101003); 文摘扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式光栅位移测量干涉仪的基础上,阐述了扫描干涉光刻机的新型移相锁定系统原理。针对新型的移相锁定系统原理,构建了移相锁定控制系统实验装置。最后,基于移相锁定控制实验装置,针对移相锁定定位性能,开展了移相锁定定位控制实验以及影响控制精度的因素分析,实现了±3.27 nm(3σ,Λ=251 nm)的定位控制精度;针对移相跟踪控制性能,在移相跟踪控制精度实验分析的基础上,利用陷阱滤波&PID控制实现了±4.17 nm(3σ,Λ=251 nm)的跟踪控制精度。; 关键词扫描干涉光刻零差移频式相位锁定外差利特罗光栅干涉仪移相锁定控制陷阱滤波; Keywords Scanning Beam Interference Lithography(SBIL) homodyne frequency-shifting phase locking heterodyne Littrow grating interferometer phase-shifting locking notch filter; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	差频式位移传感器的研究	彭东林杨伟张兴红刘小康	《工具技术》北大核心	2004	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	差频式感应同步器微机检测系统及应用	宋现春李春阳	《制造技术与机床》 CSCD	1994	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制	王磊杰张鸣鲁森朱煜杨开明	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	8	在线阅读下载PDF 职称材料
4	土壤水分介电频差式传感器研究	马孝义马建仓	《电子测量技术》	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统	王磊杰张鸣朱煜鲁森杨开明	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	5	在线阅读下载PDF 职称材料