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基于差异进化算法的椭偏测量数据反演
被引量：
1
1
作者
王党社
王海娇
张建科
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期263-267,共5页
为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法—差异进化算法处理实验数据;以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理,实验结果表明,三个薄膜参数(折射率n,消光系数k和薄...
为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法—差异进化算法处理实验数据;以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理,实验结果表明,三个薄膜参数(折射率n,消光系数k和薄膜厚度d)是可以同时获得的,而且在未知参数确切范围情况下,较大范围内进行搜索仍然能保证快速收敛到最优解。文中算法和粒子群算法、遗传算法以及利用椭偏仪数据处理软件得出的结果相比较,表明该算法在椭偏测量数据反演中是一种可行的智能优化算法。
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关键词
差异进化算法椭偏法光学薄膜反演
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职称材料
题名
基于差异进化算法的椭偏测量数据反演
被引量：
1
1
作者
王党社
王海娇
张建科
机构
西安工业大学理学院
西安邮电学院应用数理系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期263-267,共5页
基金
2011年陕西省教育厅自然科学基金(111JK1051)
文摘
为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法—差异进化算法处理实验数据;以单层吸收薄膜的测量为例,利用该算法进行数据处理,实验结果表明,三个薄膜参数(折射率n,消光系数k和薄膜厚度d)是可以同时获得的,而且在未知参数确切范围情况下,较大范围内进行搜索仍然能保证快速收敛到最优解。文中算法和粒子群算法、遗传算法以及利用椭偏仪数据处理软件得出的结果相比较,表明该算法在椭偏测量数据反演中是一种可行的智能优化算法。
关键词
差异进化算法椭偏法光学薄膜反演
Keywords
Differential evolution optimization, Ellipsometry, Optical film, Inversion
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于差异进化算法的椭偏测量数据反演
王党社
王海娇
张建科
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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