期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微纳米级差压式气针传感器的研制
被引量：
12
1
作者
王凤伟
张辉
+2 位作者
邓善熙
唐海勇
曾汉平
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期416-420,共5页
提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究。分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气...
提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究。分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气针传感器的各参数值。该传感器的测量范围为80μm,分辨力为0.01μm,测量不确定度小于0.3μm,适合于高精度微纳米级非接触尺寸测量场合。本文研究内容可以为高精度气动传感器的设计提供理论和实验依据。
展开更多
关键词
气
动测量
差压式气针传感器
微纳米级分辨力
在线阅读
下载PDF
职称材料
差压式气针传感器的误差研究
被引量：
1
2
作者
王凤伟
张辉
+1 位作者
邓善熙
曾汉平
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第13期1537-1541,共5页
介绍了一种基于差压式气路的气针传感器的设计方法和工作原理。分析了影响气动测量精度的主要误差因素,如工作压力的波动、电器误差、空气质量和非线性误差等,并通过相应的措施对误差给予补偿,提高了气动测量的精度和灵敏度。该气针传...
介绍了一种基于差压式气路的气针传感器的设计方法和工作原理。分析了影响气动测量精度的主要误差因素,如工作压力的波动、电器误差、空气质量和非线性误差等,并通过相应的措施对误差给予补偿,提高了气动测量的精度和灵敏度。该气针传感器的测量范围为55μm,分辨力为0.02μm,静态误差小于0.23μm。研究结果为气动测量应用于高精度高分辨力的非接触尺寸测量提供了理论和试验依据。
展开更多
关键词
气
动测量
差压式气针传感器
误
差
分析
特性曲线
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
微纳米级差压式气针传感器的研制
被引量：
12
1
作者
王凤伟
张辉
邓善熙
唐海勇
曾汉平
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
安徽省长江计量所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期416-420,共5页
文摘
提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究。分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气针传感器的各参数值。该传感器的测量范围为80μm,分辨力为0.01μm,测量不确定度小于0.3μm,适合于高精度微纳米级非接触尺寸测量场合。本文研究内容可以为高精度气动传感器的设计提供理论和实验依据。
关键词
气
动测量
差压式气针传感器
微纳米级分辨力
Keywords
pneumatic measurement
differential pressure type pneu-pin sensor
micro-nano resolution
分类号
TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
差压式气针传感器的误差研究
被引量：
1
2
作者
王凤伟
张辉
邓善熙
曾汉平
机构
合肥工业大学
安徽省长江计量所
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第13期1537-1541,共5页
基金
国防军工计量"十五"计划立项项目(0100016)
文摘
介绍了一种基于差压式气路的气针传感器的设计方法和工作原理。分析了影响气动测量精度的主要误差因素,如工作压力的波动、电器误差、空气质量和非线性误差等,并通过相应的措施对误差给予补偿,提高了气动测量的精度和灵敏度。该气针传感器的测量范围为55μm,分辨力为0.02μm,静态误差小于0.23μm。研究结果为气动测量应用于高精度高分辨力的非接触尺寸测量提供了理论和试验依据。
关键词
气
动测量
差压式气针传感器
误
差
分析
特性曲线
Keywords
pneumatic measurement
pneu-- pin sensor with differential pressure
error analysis
characteristic curve
分类号
TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微纳米级差压式气针传感器的研制
王凤伟
张辉
邓善熙
唐海勇
曾汉平
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
差压式气针传感器的误差研究
王凤伟
张辉
邓善熙
曾汉平
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
