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高精度MEMS差压传感器芯片的研究 被引量:3
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作者 杜成权 艾军 +2 位作者 许明洋 魏壮壮 陈宇昕 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第12期28-31,共4页
为应对市场对高精度MEMS差压传感器的需求,开展了压力传感器芯片关键技术研究。设计了一种压阻式差压传感器芯片,解决了硅—硅室温键合技术难题,开发了自主可控、稳定可靠、适合批量生产的工艺。采用体微机械加工技术和硅—硅键合技术... 为应对市场对高精度MEMS差压传感器的需求,开展了压力传感器芯片关键技术研究。设计了一种压阻式差压传感器芯片,解决了硅—硅室温键合技术难题,开发了自主可控、稳定可靠、适合批量生产的工艺。采用体微机械加工技术和硅—硅键合技术制备了压力芯片晶圆,形成了满足实际应用需求的高精度差压MEMS压力传感器芯片。本文制备的压阻式差压传感器芯片压力测量范围覆盖0~14 MPa,线性误差(>10 kPa)<0.3%FS,温度滞后性<±0.05%FS,压力滞后性<0.05%FS,工作温度-40~+85℃,过载能力≥2倍FS,为压阻式压力芯片的设计与制作提供了一种可行的参考方案。 展开更多
关键词 差压传感器 MEMS芯片 体微加工 KOH刻蚀 硅—硅键合
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双弹簧管光纤差压传感器 被引量:11
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作者 佟成国 杨军 +1 位作者 刘志海 苑立波 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1172-1175,共4页
设计了一种利用对称反转连接的双弹簧管作为差动压力传感元件 ,进行差动压力测量的光纤传感器 这种光纤传感器是在通用光纤传感设计实验系统的基础上 ,利用三光纤反射调制技术 ,实现光源强度的变化和光纤中光功率损耗的变化以及反射率... 设计了一种利用对称反转连接的双弹簧管作为差动压力传感元件 ,进行差动压力测量的光纤传感器 这种光纤传感器是在通用光纤传感设计实验系统的基础上 ,利用三光纤反射调制技术 ,实现光源强度的变化和光纤中光功率损耗的变化以及反射率的变化自动补偿的 理论上 ,分析了这种反转对称差压传感弹性元件在使用过程的优点 ,给出了三光纤补偿理论分析方法 实验上 。 展开更多
关键词 光纤传感器 差压传感器 C型弹簧管 三光纤补偿技术
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半封闭连通管式差压传感器在桥梁挠度测量中的应用 被引量:13
3
作者 朱世峰 周志祥 吴海军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第1期150-153,共4页
挠度是评价桥梁结构安全性的重要指标。根据桥梁结构特点,选用半封闭连通管式差压传感器进行实际工程应用。论述了传感器的基本原理,介绍了实际的半封闭连通管式差压传感器及其系统的构成,并将该传感系统应用于荆岳长江公路大桥通车鉴... 挠度是评价桥梁结构安全性的重要指标。根据桥梁结构特点,选用半封闭连通管式差压传感器进行实际工程应用。论述了传感器的基本原理,介绍了实际的半封闭连通管式差压传感器及其系统的构成,并将该传感系统应用于荆岳长江公路大桥通车鉴定试验的静载挠度测量中,测量结果表明:半封闭连通管式差压传感器的测量数据能够有效地反映桥梁结构状态变化,且具有较高的测量效率和准确度。 展开更多
关键词 差压传感器 半封闭连通管 挠度测量 荆岳长江公路大桥
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差压传感器双向过载误差的完善 被引量:3
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作者 刘剑 李颖 +3 位作者 刘波 张娜 张治国 刘沁 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期94-95,共2页
文中从结构设计、制作工艺、原材料的性能参数选择等方面介绍了影响差压传感器双向过载误差的因素及完善双向过载误差方法的体会。
关键词 双向过载误 差压传感器 膜片
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差压传感器技术的现状与发展 被引量:10
5
作者 胡浩 钟丽琼 周潜 《机床与液压》 北大核心 2013年第11期187-190,共4页
对差压传感器技术的现状与发展进行综合评述。总结了差压传感器技术在现有生产领域的应用,对现有的主流差压传感器的结构与工作原理进行了介绍,对现今发展起来的新型差压传感器的结构及工作原理进行了概述,指出了其重要性及发展趋势。
关键词 差压传感器 技术现状 发展趋势
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单片机在微差压传感器温度补偿中的应用 被引量:5
6
作者 王晔 卢致续 董玉荣 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第12期42-44,共3页
研制了一种精确可靠的微差压传感器 ,为提高传感器的温度性能 ,利用单片机对传感器进行温度补偿 。
关键词 差压传感器 单片机 温度补偿
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差压传感器的校正方法 被引量:5
7
作者 朱连章 左光远 《兵工自动化》 2004年第1期43-43,共1页
采用水柱校正法对差压传感器的零点及线性特性进行校正以保证高精度的差压数据。根据差压传感器工作原理,在其高压腔一端放置较高的垂直玻璃管,在低压腔一端放置较低的垂直玻璃管,据两侧水位的高度差获取标准的差压值,并计算其零点及线... 采用水柱校正法对差压传感器的零点及线性特性进行校正以保证高精度的差压数据。根据差压传感器工作原理,在其高压腔一端放置较高的垂直玻璃管,在低压腔一端放置较低的垂直玻璃管,据两侧水位的高度差获取标准的差压值,并计算其零点及线性斜率,完成差压传感器的校正。 展开更多
关键词 差压传感器 校正 零点 线性特性
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一种对称式光纤束差压传感器结构及性能 被引量:3
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作者 胡浩 钟丽琼 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期305-309,315,共6页
对一种对称式光纤束差压传感器的结构及性能进行了研究。提出了一种两相同结构检测探头与桥式光路组成的对称式光纤束差压传感器,传感器探头采用机械式封装;对传感器进行理论研究,建立了强度调制数学模型,并对其进行仿真计算与分析;最... 对一种对称式光纤束差压传感器的结构及性能进行了研究。提出了一种两相同结构检测探头与桥式光路组成的对称式光纤束差压传感器,传感器探头采用机械式封装;对传感器进行理论研究,建立了强度调制数学模型,并对其进行仿真计算与分析;最后试制出实验样机,进行实验研究,实验结果表明:探头与膜片在不同设计尺寸下,传感器具有不同的量程、输出灵敏度、检测分辨率、线性度与重复性精度。研究结果表明,光纤束差压传感器具有较好的检测性能,能满足不同检测场合的需要。 展开更多
关键词 光纤光学 差压传感器 几何光学 性能检测
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差压传感器在挖掘机液压控制系统中的应用 被引量:3
9
作者 米智楠 朱矾 +2 位作者 易孟林 胡庆超 段晓青 《传感器技术》 CSCD 1996年第4期49-51,共3页
不断引进传感技术是促进工程机械智能化的前提,差压传感器的应用实现了负荷传感液压控制,使液压挖掘机获得最佳流量,提高了作业效率和复合操纵性,达到了节能的目的,促进了液压挖掘机的技术进步。
关键词 差压传感器 挖掘机 控制系统
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差压传感器在发动机喷油嘴密封性检测上的应用研究 被引量:3
10
作者 于保军 周广禄 《液压与气动》 北大核心 2008年第7期49-52,共4页
提出基于差压传感器的发动机喷油嘴密封性检测系统方案,采用气缸带动测试管路连接在发动机喷油嘴进口上,同时将喷油嘴所在管路与密封的平衡测试管路分别连接在差压传感器两侧。根据检测需要由气压管路分别向喷油嘴和所在管路和平衡测试... 提出基于差压传感器的发动机喷油嘴密封性检测系统方案,采用气缸带动测试管路连接在发动机喷油嘴进口上,同时将喷油嘴所在管路与密封的平衡测试管路分别连接在差压传感器两侧。根据检测需要由气压管路分别向喷油嘴和所在管路和平衡测试管路通入压缩空气,利用压力传感器检测反馈系统压力值。当气压达到要求压力时,切断差压传感器两侧的管路,在规定时间内检测喷油嘴的泄漏量,与要求数值比较判断合格与否。实验研究表明:系统的检测效率高,并可以长期稳定运行。 展开更多
关键词 差压传感器 发动机喷油嘴 密封性检测
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压阻式微差压传感器水头标定方法 被引量:1
11
作者 周超 周守强 张家仙 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第10期60-61,共2页
针对工业和科研领域常用的小量程微差压传感器,设计了一种简单实用的水头标定方案,给出了标定步骤。应用该方案标定国产某型号传感器,结果表明线性误差小于0.22%,完全满足应用要求。
关键词 阻式差压传感器 水柱 标定方法
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基于差压传感器的绝缘油含气量测量技术 被引量:5
12
作者 傅中君 洑涵妤 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期70-73,共4页
绝缘油中含气量测定是GB/T 7595—2008规定的变压器绝缘油质量的一个常规检测项目,传统的真空差压法和二氧化碳洗脱法存在测定过程复杂、精度低、人为因素多、不便于自动化检测等缺点。笔者详细阐述了一种依据理想气体状态方程、应用差... 绝缘油中含气量测定是GB/T 7595—2008规定的变压器绝缘油质量的一个常规检测项目,传统的真空差压法和二氧化碳洗脱法存在测定过程复杂、精度低、人为因素多、不便于自动化检测等缺点。笔者详细阐述了一种依据理想气体状态方程、应用差压传感器来测量和标定绝缘油中含气量的方法,并且给出了测量需要的环境温度、大气压和气体压强等测量电路。结果表明,所提供的技术原理正确,方案可行,测量精度高,操作简单,便于自动化测量。 展开更多
关键词 差压传感器 绝缘油 含气量 温度 大气
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基于差压传感器和LabVIEW的真空助力器主缸泄漏量检测系统研究 被引量:1
13
作者 于保军 周广禄 《机械设计与制造》 北大核心 2008年第11期126-128,共3页
根据检测需要由气压管路分别向助力器主缸及所在管路和平衡测试管路通入压缩空气或是由测试管路与大气压进行比对,利用压力传感器检测反馈系统压力值。当气压达到要求压力时,切断差压传感器两侧的管路,在规定时间内检测助力器主缸的主... 根据检测需要由气压管路分别向助力器主缸及所在管路和平衡测试管路通入压缩空气或是由测试管路与大气压进行比对,利用压力传感器检测反馈系统压力值。当气压达到要求压力时,切断差压传感器两侧的管路,在规定时间内检测助力器主缸的主缸泄漏量,与要求数值比较判断合格与否。实验研究表明:系统的流量泄漏检测精度为0.5ml/min,并可以长期稳定运行。 展开更多
关键词 真空助力器主缸 差压传感器 密封性检测 LABVIEW
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基于差压传感器的溶液密度检测方法 被引量:2
14
作者 范志顺 《中国测试》 CAS 2009年第4期26-28,共3页
为了实现对溶液密度的简单、精确测量,建立了溶液压力与溶液密度之间的关系,推导出溶液密度的计算公式,确定了利用差压传感器来实现对溶液密度的间接测量,指出了测量的难点和解决的方法。为了提高测量精度,还对传感器量程的选取方法和原... 为了实现对溶液密度的简单、精确测量,建立了溶液压力与溶液密度之间的关系,推导出溶液密度的计算公式,确定了利用差压传感器来实现对溶液密度的间接测量,指出了测量的难点和解决的方法。为了提高测量精度,还对传感器量程的选取方法和原则,以及在安装环境下对传感器的零点校正和量程设定方法、求取位差的方法进行了阐述和分析。该测量方法简单、可行,技术成熟,在溶液配比和质量监测上有其十分重要的地位。 展开更多
关键词 溶液密度 差压传感器 零点校正
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基于压力和差压传感器的汽车离合器主缸泄漏量检测系统研究 被引量:1
15
作者 于保军 岳晓峰 《机床与液压》 北大核心 2008年第7期99-101,169,共4页
提出基于压力和差压传感器的离合器主缸密封性检测系统方案,采用混合式步进电机通过滚珠丝杆驱动离合器主缸活塞动作,使活塞移过补偿孔达到主缸密封位置,将离合器主缸的出油孔与密封的平衡测试管路分别通过管路连接在差压传感器两侧。... 提出基于压力和差压传感器的离合器主缸密封性检测系统方案,采用混合式步进电机通过滚珠丝杆驱动离合器主缸活塞动作,使活塞移过补偿孔达到主缸密封位置,将离合器主缸的出油孔与密封的平衡测试管路分别通过管路连接在差压传感器两侧。由气压管路分别向离合器主缸及所在管路和平衡测试管路通入压缩空气,利用压力传感器检测反馈系统压力值。当气压达到要求压力时,切断差压传感器两侧的管路,在规定时间内检测离合器主缸端的压力下降值作为主缸泄漏量,与要求数值比较判断合格与否。实验研究表明:系统的差压检测精度为25Pa,并可以长期稳定运行。 展开更多
关键词 离合器主缸 传感器 差压传感器 泄漏量检测
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高精度差压传感器的一种简易校正方法 被引量:1
16
作者 朱连章 《科学技术与工程》 2005年第11期737-738,741,共3页
高精度小量程差压传感器是工业上使用广泛的器件,给出了一种用水柱校正的简单方法,并给出了求取其零点和线性斜率的实现程序。
关键词 小量程 差压传感器 水柱 校正 程序
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一种基于强度补偿的自由式光纤束差压传感器
17
作者 胡浩 钟丽琼 张大斌 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期188-192,共5页
对一种基于强度补偿的自由式光纤束差压传感器进行设计与研究。传感器探头部分采用同结构、双探头的设计,传感器探头采用机械式封装;对传感器的光纤部分进行了强度补偿设计与分析,并利用调制函数M,理论分析了补偿后的输出值R;在对两传... 对一种基于强度补偿的自由式光纤束差压传感器进行设计与研究。传感器探头部分采用同结构、双探头的设计,传感器探头采用机械式封装;对传感器的光纤部分进行了强度补偿设计与分析,并利用调制函数M,理论分析了补偿后的输出值R;在对两传感探头施加相等的压力p=20kPa情况下,改变光源的输出功率,测出光电探测器的输出电压值,并在两探头存在不同的压差Δp时,测出其输出值R。实验结果表明:通过强度补偿后,输出值R≈1,同时在不同的压差作用下,输出值R与压差Δp在一段区域内有较好的线性关系。研究结果表明:传感器的强度补偿效果明显,可实现压力差值的检测。 展开更多
关键词 强度补偿 自由式 光纤束 差压传感器
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扩散硅多功能集成差压传感器 被引量:2
18
作者 唐慧 孙海玮 +4 位作者 刘宏伟 郑东明 张治国 陈信琦 郑永辉 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2004年第7期6-7,共2页
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度,达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量,实现了传感... 传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度,达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量,实现了传感器的智能化,这也是国际传感技术发展的方向。所研制的小型多功能压力传感器是利用微电子和微机械加工融合技术在尺寸仅为3 5mm×4 0mm的硅片上集差压敏感元件、静压敏感元件、温度敏感元件为一体、并将其封装在由金属膜片隔离密封的保护液中,具有可靠的密封性。利用数字补偿技术进行处理,可使其在-30~80℃的温度范围内,变送器精度达到0 1级。该传感器能够同时实现对现场中的差压、静压、温度变化的测量,静压和温度的测量数据可修正被测环境的差压输出信号,从而可提高差压传感器的精度,它是工业智能差压变送器的核心部件。 展开更多
关键词 扩散硅 多功能 集成差压传感器 敏感元件 敏感元件 温度敏感元件
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基于AD7745的电容差压传感器设计 被引量:6
19
作者 陈宝 胡晓兵 孙鸿 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第6期71-73,76,共4页
以低功耗微处理器MSP430为核心,采用新型的模数转换芯片AD7745,设计了一种测量液体差压的电容式差压传感器。给出了电容式差压传感器的设计原理和AD7745与MSP430软硬件设计。实验结果表明:该传感器在量程为±100 pF时,测量值稳定在... 以低功耗微处理器MSP430为核心,采用新型的模数转换芯片AD7745,设计了一种测量液体差压的电容式差压传感器。给出了电容式差压传感器的设计原理和AD7745与MSP430软硬件设计。实验结果表明:该传感器在量程为±100 pF时,测量值稳定在高16位,分辨率为0.0001 pF。电容传感器具有较好的线性输出特性和很好的重复性,成本低,具有较好的应用价值。 展开更多
关键词 电容差压传感器 AD7745 MSP430单片机 测量电路
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嵌入DeviceNet总线接口的智能差压传感器系统 被引量:3
20
作者 郑磊 付敬奇 董新平 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第12期74-76,88,共4页
介绍了一种具有DeviceNet现场总线通信功能的智能差压传感器的设计,探讨了传感器输入输出特性曲线的非线性校正方法。通过内嵌的总线控制器(SJA1000)、报文收发器(82C251)和P89C668单片机等,该传感器可直接作为一个DeviceNet从节点工作... 介绍了一种具有DeviceNet现场总线通信功能的智能差压传感器的设计,探讨了传感器输入输出特性曲线的非线性校正方法。通过内嵌的总线控制器(SJA1000)、报文收发器(82C251)和P89C668单片机等,该传感器可直接作为一个DeviceNet从节点工作;对传感器的输入输出特性曲线进行了建模,以软件手段实现高精度的非线性自校正功能。测试结果表明:该智能差压传感器不但具有DeviceNet现场总线输出功能,且经过多项式或神经网络建模的传感器非线性误差分别可达0.04%FS和0.02%FS。这为高精度传感器的制作提供了一种可行的方法。 展开更多
关键词 差压传感器 DEVICENET 建模 BP神经网络
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