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差动结构的平面二维时栅位移传感器 被引量:5
1
作者 杨继森 牟智铭 +2 位作者 李路建 邵争光 田青青 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期1444-1451,1460,共9页
为了解决采用两套高精度一维传感、装置测量二维位移时存在的测量系统复杂、检测同步性难保证和解耦运算复杂等问题,提出了一种基于差动结构的二维感应信号直接解耦方法,用于研究一种平面线圈型二维时栅位移传感器。立足于传统电磁式时... 为了解决采用两套高精度一维传感、装置测量二维位移时存在的测量系统复杂、检测同步性难保证和解耦运算复杂等问题,提出了一种基于差动结构的二维感应信号直接解耦方法,用于研究一种平面线圈型二维时栅位移传感器。立足于传统电磁式时栅技术,构建了二维位移直接解耦测量模型,并设计了传感器的基本结构。利用ANSYS Maxwell建立了传感器三维结构模型并进行了电磁仿真,并对仿真结果进行误差分析和溯源。基于此研制了传感器样机并进行了实验。实验结果表明:样机在79.2 mm×79.2 mm测量范围内,X方向误差为91μm,Y方向误差为74μm,可实现二维位移同步检测和直接解耦测量,且测量系统结构简单、体积小,对研究更高性能的二维时栅具有重要参考价值。 展开更多
关键词 时栅位移传感器 差动结构 平面线圈 二维位移 直接解耦测量
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差动结构电涡流式液位传感器性能改进与应用 被引量:8
2
作者 李剑 丁天怀 +1 位作者 徐玉铮 傅志斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第2期12-14,共3页
为满足超薄快速铸轧机对熔铝液位精确测量的要求 ,对原有的用于钢水液位检测的差动结构电涡流式液位传感器进行了改进。传感器为发射接受式 ,1个发射线圈 ,两个接受线圈。由于采用差动结构 ,减小了环境、温度等因素对系统的影响 ,前置... 为满足超薄快速铸轧机对熔铝液位精确测量的要求 ,对原有的用于钢水液位检测的差动结构电涡流式液位传感器进行了改进。传感器为发射接受式 ,1个发射线圈 ,两个接受线圈。由于采用差动结构 ,减小了环境、温度等因素对系统的影响 ,前置电路中核心部分采用反馈放大电路。通过对前置电路关键参数进行优化 ,提高了传感器示值稳定度 ;采用曲线拟合法处理输出信号提高了传感器的测量精度。测量结果表明 ,改进后的差动结构电涡流传感器在 89mm量程范围内精度达到± 0 .12mm ,稳定度为 0 .5 2 %。 展开更多
关键词 差动结构 电涡流式液位传感器 性能改进 熔铝液位
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螺纹插装式差动溢流阀的研制 被引量:6
3
作者 侯明亮 毛恩荣 任显云 《液压与气动》 北大核心 2005年第3期50-51,共2页
介绍了一种结构新颖、启闭特性好、调压偏差小、调压精度高、响应速度快、通流能力强、泄漏少、整个体积也小、安装简捷方便、适合于激光平地机液压控制装置使用的螺纹插装式差动溢流阀。
关键词 溢流阀 差动结构 动态特性
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双简支梁结构光纤光栅加速度传感探头的设计 被引量:2
4
作者 李国利 刘祥建 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第1期32-34,共3页
采用双简支梁结构设计了一种光纤光栅加速度传感探头,探头弹性系统由双简支梁、双光纤光栅、质量块等组成。采用差动补偿法解决了光纤光栅传感器温度与应变交叉敏感问题。该探头结构简单,线性度好,一阶谐振频率达到525Hz,不受电磁干扰,... 采用双简支梁结构设计了一种光纤光栅加速度传感探头,探头弹性系统由双简支梁、双光纤光栅、质量块等组成。采用差动补偿法解决了光纤光栅传感器温度与应变交叉敏感问题。该探头结构简单,线性度好,一阶谐振频率达到525Hz,不受电磁干扰,不受光路功率波动和相位噪声影响,且测量灵敏度是单光纤光栅传感器的2倍。 展开更多
关键词 光纤光栅 加速度传感器 双简支梁 差动结构 温度补偿
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差动式光纤曲率传感器
5
作者 茶国智 郑晓虹 +1 位作者 谢再新 廖翔 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第13期3749-3752,共4页
设计了一种新颖的属于强度调制型的光纤曲率传感器,其传感部分采用了双光纤接收组的差动结构,信号解调电路部分主要由双对数放大器ADL5310和仪表放大器AD623构成。通过弹性简支梁中点处受力产生梁面弯曲来模拟待测曲面的曲率变化,对曲... 设计了一种新颖的属于强度调制型的光纤曲率传感器,其传感部分采用了双光纤接收组的差动结构,信号解调电路部分主要由双对数放大器ADL5310和仪表放大器AD623构成。通过弹性简支梁中点处受力产生梁面弯曲来模拟待测曲面的曲率变化,对曲率理论与传感机制两方面进行了理论研究。此外,还完成了相应的实验测试,且结果表明该传感装置对曲率变化具有很高的线性响应度。由于该传感装置具有结构简单、成本低、灵敏度高等特点,因此可在曲率检测领域得到实际应用。 展开更多
关键词 曲率传感器 光纤 差动结构 信号解调电路
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一种双L型梁电容式六维力传感器设计
6
作者 蒲明辉 杨玉坤 薛斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第8期12-18,共7页
为设计一款高性能电容式六维力传感器,结合T型梁和十字型双直梁的优点,构建了一种双L型结构弹性梁,传感器转换元件采用差动结构平行极板电容器以降低传感器的测量误差,以转换矩阵的条件数为目标函数,应用粒子群算法与有限元仿真相结合... 为设计一款高性能电容式六维力传感器,结合T型梁和十字型双直梁的优点,构建了一种双L型结构弹性梁,传感器转换元件采用差动结构平行极板电容器以降低传感器的测量误差,以转换矩阵的条件数为目标函数,应用粒子群算法与有限元仿真相结合的方法对该传感器的结构参数进行优化设计,得到最优结构参数后进行仿真,结果显示该构型的电容式六维力传感器仿真精度为0.4258%。最后对该传感器进行加工与标定实验,结果显示该传感器的实验精度达到0.6376%。 展开更多
关键词 电容式六维力传感器 弹性梁结构 差动结构电容器 粒子群算法 优化设计
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硅微谐振式加速度计的实现及性能测试 被引量:20
7
作者 石然 裘安萍 苏岩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2583-2589,共7页
为了提高硅微谐振式加速度计性能,从一种基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,介绍了加速度计的结构、加工方法和接口电路。该谐振式加速度计结构包括敏感质量块、谐振器和微杠杆3部分,采用差动结构... 为了提高硅微谐振式加速度计性能,从一种基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,介绍了加速度计的结构、加工方法和接口电路。该谐振式加速度计结构包括敏感质量块、谐振器和微杠杆3部分,采用差动结构来减小共模误差的影响。接口电路中采用了自动增益控制电路来稳定谐振器的振幅,成功实现了谐振器的闭环自激振荡和频率检测。分析了谐振式加速度计频率输出与加速度输入的关系,测试了硅微谐振式加速度计样机性能,结果为量程±50g,标度因数143 Hz/g,零偏稳定性1.2 mg,零偏重复性0.88 mg,阈值170μg。文章最后提出,DDSOG工艺中采用的玻璃材料和硅材料温度系数不同,影响了加速度计的温度特性,因此需要进步一改进加工工艺。 展开更多
关键词 硅微谐振式加速度计 谐振器 差动结构 DDSOG
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硅微超微压传感器设计 被引量:1
8
作者 邱峰 季霞 《机械设计与制造》 北大核心 2007年第10期93-95,共3页
在分析已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点和回顾它们微压化进展的基础上,确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的初步结构形式-电容式。针对设计过程中存在的主要难点:超薄平整感压薄膜的制备、高真... 在分析已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点和回顾它们微压化进展的基础上,确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的初步结构形式-电容式。针对设计过程中存在的主要难点:超薄平整感压薄膜的制备、高真空压力参考腔的获得与维持、高真空压力参考腔的电极引线以及微弱电容信号的提取,完成了两种差动结构方案的结构与工艺设计,对二者工艺和抗过载能力等方面进行了比较,为下一步的投片工作打下了基础。 展开更多
关键词 硅微超微压传感器 差动结构 结构与工艺设计
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硅微微压传感器研究进展 被引量:1
9
作者 夏文明 丁建宁 杨继昌 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第9期12-14,共3页
硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的电容式结构形式。针... 硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点,提出了双差动结构模型,即机械与电路部分均采用差动结构,对其研究前景做了展望。 展开更多
关键词 硅微超微压传感器 电容式 差动结构
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数控滚齿机热变形误差分析与补偿新方法 被引量:11
10
作者 王时龙 祁鹏 +3 位作者 周杰 杨勇 李川 康玲 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期13-17,共5页
为了对数控滚齿机的热变形误差进行补偿,提高齿轮加工精度,利用聚类回归分析方法,优化选择了热误差补偿过程中的温度测量点。采用最小二乘回归方法建立了热误差模型,实验结果验证,该模型精度高。提出了一种热误差差动螺旋补偿方法,该方... 为了对数控滚齿机的热变形误差进行补偿,提高齿轮加工精度,利用聚类回归分析方法,优化选择了热误差补偿过程中的温度测量点。采用最小二乘回归方法建立了热误差模型,实验结果验证,该模型精度高。提出了一种热误差差动螺旋补偿方法,该方法完全采用外部硬件补偿,能够独立地实现对热变形误差的实时补偿。与其他补偿方法对比,该方法不受限于数控系统的开放性,通用性较强。 展开更多
关键词 滚齿机 误差补偿 聚类分析 差动螺旋结构
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基于磁弹效应的温度补偿型单旁路励磁索力传感器研究 被引量:8
11
作者 唐德东 黄尚廉 +1 位作者 姜建山 陈伟民 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1240-1244,共5页
针对目前磁弹性索力传感器的安装和维护特别困难,且受温度影响很大的缺点,在研究磁弹性索力传感器原理和温度影响机理的基础上,提出了差动式单旁路励磁磁路结构,进行了磁路分析,设计了相应的温度补偿电路,搭建实验系统,做了拉力试验.试... 针对目前磁弹性索力传感器的安装和维护特别困难,且受温度影响很大的缺点,在研究磁弹性索力传感器原理和温度影响机理的基础上,提出了差动式单旁路励磁磁路结构,进行了磁路分析,设计了相应的温度补偿电路,搭建实验系统,做了拉力试验.试验表明:传感器的结构是可行的,测量的重复性误差小于0.15%,满足实际测量需要. 展开更多
关键词 索力传感器 温度补偿 差动结构 单旁路励磁 磁弹效应
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双级过载保护安全阀的动态性能仿真与分析 被引量:1
12
作者 王慧 宋宇宁 +1 位作者 赵国超 姚均翰 《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2017年第7期750-754,共5页
在传统设计理论和结构模式的基础上,对比分析国内外现有安全阀结构,结合结构设计的特点,提出具有直动式结构和差动式结构的双级过载保护安全阀的设计思想,通过对双级过载保护安全阀差动式结构的建模及动态特性仿真分析,可以得出这种设... 在传统设计理论和结构模式的基础上,对比分析国内外现有安全阀结构,结合结构设计的特点,提出具有直动式结构和差动式结构的双级过载保护安全阀的设计思想,通过对双级过载保护安全阀差动式结构的建模及动态特性仿真分析,可以得出这种设计的新型安全阀满足设计要求,并且通过调整不同结构参数得到其对安全阀动态特性的影响:安全阀输出压力随弹簧刚度增加而增大,稳态调整时间减小;随差动面积减少而减小,稳态调整时间增大,出现等幅震荡;随进口横截面积增加而增大并呈发散;增大阻尼,动态响应特性提高.阀芯质量对安全阀输出压力影响不大,但振幅随其减小而减少. 展开更多
关键词 双级过载保护安全阀 差动结构 动态特性 弹簧刚度 差动面积 进口横截面积
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电容式微机械加速度计测量范围上限设计 被引量:1
13
作者 陈宇晓 刘昌孝 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期62-64,共3页
测量范围上限设计一直是高gn值微惯性引信研制的一个难题,对差动电容式微加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明:按同一比例尽量减小封装间隙和电极面积,使得受限于临界偏压的外加偏压取... 测量范围上限设计一直是高gn值微惯性引信研制的一个难题,对差动电容式微加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明:按同一比例尽量减小封装间隙和电极面积,使得受限于临界偏压的外加偏压取值刚好能提供需要的量程,同时使用质量块减薄和打孔并用的方法来提高最大量程,所设计出的加速度计可具有70gn以上量程。 展开更多
关键词 微机械加速度计 测量范围上限 差动电容结构 参数 微电子机械系统 最大量程设计
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Optimal sensor placement for structural response estimation
14
作者 陈玮 赵文光 +1 位作者 朱宏平 陈骏锋 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第10期3993-4001,共9页
A methodology, termed estimation error minimization(EEM) method, was proposed to determine the optimal number and locations of sensors so as to better estimate the vibration response of the entire structure. Utilizing... A methodology, termed estimation error minimization(EEM) method, was proposed to determine the optimal number and locations of sensors so as to better estimate the vibration response of the entire structure. Utilizing the limited sensor measurements, the entire structure response can be estimated based on the system equivalent reduction-expansion process(SEREP) method. In order to compare the capability of capturing the structural vibration response with other optimal sensor placement(OSP) methods, the effective independence(EI) method, modal kinetic energy(MKE) method and modal assurance criterion(MAC) method, were also investigated. A statistical criterion, root mean square error(RMSE), was employed to assess the magnitude of the estimation error between the real response and the estimated response. For investigating the effectiveness and accuracy of the above OSP methods, a 31-bar truss structure is introduced as a simulation example. The analysis results show that both the maximum and mean of the RMSE value obtained from the EEM method are smaller than those from other OSP methods, which indicates that the optimal sensor configuration obtained from the EEM method can provide a more accurate estimation of the entire structure response compared with the EI, MKE and MAC methods. 展开更多
关键词 estimation error minimization(EEM) system equivalent reduction-expansion process(SEREP) optimal sensor placement(OSP) root mean square error(RMSE)
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基于柔顺机构的分体式电容式六维力传感器的优化设计
15
作者 石崇昱 蒲明辉 《仪表技术与传感器》 2025年第10期5-11,共7页
为了进一步提高电容式六维力传感器的精度性能,文中提出了一种弹性梁结构,该结构融合了T型梁和柔顺机构中的正圆型柔性铰链,使传感器弹性梁的整体刚度性能得到提升,能使传感器满足高分辨力和高灵敏度各向同性的性能要求。建立了正圆型... 为了进一步提高电容式六维力传感器的精度性能,文中提出了一种弹性梁结构,该结构融合了T型梁和柔顺机构中的正圆型柔性铰链,使传感器弹性梁的整体刚度性能得到提升,能使传感器满足高分辨力和高灵敏度各向同性的性能要求。建立了正圆型柔性铰链的刚度公式,分析结构参数对其刚度性能的影响。采用差动式变极距型电容器结构作为传感器的转换元件,提高传感器的灵敏度并降低非线性误差。以归一化后的映射矩阵的条件数作为目标函数,利用粒子群算法对弹性梁的设计参数进行迭代寻优。采用优化结果制作了传感器实物并进行标定实验,实验结果表明该传感器精度为0.576%,证明所设计的传感器具有高精度性能。 展开更多
关键词 电容式六维力传感器 柔顺机构 弹性梁 差动结构电容器 柔性铰链
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