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多介质工艺X射线光刻制作T形栅 被引量:1
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作者 孙加兴 叶甜春 +2 位作者 谢常青 申云琴 刘刚 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期239-241,共3页
半导体器件日益向高频、高速方向发展 ,赝质结高电子迁移率晶体管以其高频、高速、低噪声受到人们重视而发展迅速。在PHEMT的制作工艺中 ,栅线条的制作是至关重要而又极为困难的。采用X射线多介质工艺制作T形栅 ,其形貌清晰 ,线条基本可... 半导体器件日益向高频、高速方向发展 ,赝质结高电子迁移率晶体管以其高频、高速、低噪声受到人们重视而发展迅速。在PHEMT的制作工艺中 ,栅线条的制作是至关重要而又极为困难的。采用X射线多介质工艺制作T形栅 ,其形貌清晰 ,线条基本可控 。 展开更多
关键词 光刻 X射线 赝质吉高电子迁移率晶体管 T形栅 介质工艺 半导体器件
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矸石易泥化高灰原煤重介质分选工艺研究 被引量:3
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作者 孙华峰 《中国煤炭》 北大核心 2012年第6期80-84,共5页
介绍了矸石易泥化高灰原煤重介质分选的技术基础,制作了新型旋流器的试验模型,试验研究取得了理想的分选效果,探索了矸石易泥化高灰原煤重介质分选工艺的工业应用可行性。利用FLUENT软件对新型旋流器的速度场进行数值模拟,通过流场的数... 介绍了矸石易泥化高灰原煤重介质分选的技术基础,制作了新型旋流器的试验模型,试验研究取得了理想的分选效果,探索了矸石易泥化高灰原煤重介质分选工艺的工业应用可行性。利用FLUENT软件对新型旋流器的速度场进行数值模拟,通过流场的数值模拟观察了重介质旋流器的理论分选过程,为旋流器参数优化、结构改进提供了经济高效的途径,揭示了矸石易泥化高灰原煤分选旋流器能够实现高效分选的机理,从而为旋流器的工业应用奠定了基础。 展开更多
关键词 矸石易泥化高灰原煤 介质分选工艺 介质旋流器 数值模拟
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复合介质扩渗工艺对20Cr齿轮钢组织性能影响
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作者 陈长秀 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2016年第2期159-160,163,共3页
采用RE-C-B3复合扩渗处理的方法,研究了20Cr齿轮钢在扩渗过程中渗层组织的形态、分布和改变机理。研究结果表明:RE-C-B3复合扩渗剂可以有效地改变20Cr齿轮钢渗层组织的形态和分布,使冲击韧度得到显著提高。
关键词 复合介质扩渗工艺 齿轮钢 组织性能
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基于光敏BCB工艺的InP基器件性能的研究
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作者 赵华 王溪 +4 位作者 丁芃 姚鸿飞 苏永波 金智 刘新宇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1119-1123,共5页
采用光敏BCB介质工艺制作了In P基TRL校准件和无源器件,研究了这种毫米波片上集成技术。光敏BCB工艺包括三层金属和一层BCB介质。为了验证工艺可行性,采用电磁仿真器设计了TRL校准件和两种无源电路。使用TRL去嵌技术,得到两种无源电路在... 采用光敏BCB介质工艺制作了In P基TRL校准件和无源器件,研究了这种毫米波片上集成技术。光敏BCB工艺包括三层金属和一层BCB介质。为了验证工艺可行性,采用电磁仿真器设计了TRL校准件和两种无源电路。使用TRL去嵌技术,得到两种无源电路在75~110 GHz内的本征特性。通过比较去嵌后本征特性和仿真结果,发现与仿真结果相比S11/S22的幅度波动小于5 d B,S12/S21的幅度波动小于0.3 d B。仿真结果与去嵌后的本征结果重合度比较好,这进一步说明光学BCB工艺比较适合毫米波校准件的研制。 展开更多
关键词 BCB介质工艺 TRL校准件 微带无源器件 毫米波
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选煤厂地沟中物料去向对生产环节影响的探讨 被引量:1
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作者 汤凯 《中国煤炭》 北大核心 2011年第5期94-95,123,共3页
介绍了选煤厂地沟煤泥水物料组成,分析了选煤厂地沟中物料去向对生产环节的影响。结合生产实践,根据不同分选工艺提出了合理的地沟煤泥水处理工艺系统。
关键词 煤泥水处理 介质选煤工艺 回收工艺 闭路循环
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怎样不停车清洗冷却器的垢
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《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2013年第11期78-78,共1页
冷却器的结垢会严重影响换热效率使工艺介质的温度升高,还会使蒸汽表面冷凝器的真空度下降。如果冷却器的结垢是普遍情况或者该结垢的冷却器不便于从系统中切出酸洗,那么进行不停车清洗有时可以奏效。
关键词 不停车清洗 冷却器 表面冷凝器 温度升高 工艺介质 换热效率 结垢 真空度
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艾默生新推出适用于苛刻环境的哈氏合金F系列产品
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《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期50-50,共1页
艾默生过程管理公司日前宣布,公司推出了哈氏合金C-22结构的F系列产品,由此扩大了高准科里奥利流量计的产品范围。这使得该流量计适于工艺介质与不锈钢材质不相容的众多工业和应用环境中。紧凑和自排空型F系列哈氏合金产品是在苛刻操... 艾默生过程管理公司日前宣布,公司推出了哈氏合金C-22结构的F系列产品,由此扩大了高准科里奥利流量计的产品范围。这使得该流量计适于工艺介质与不锈钢材质不相容的众多工业和应用环境中。紧凑和自排空型F系列哈氏合金产品是在苛刻操作环境中进行精确、可靠流量测量的理想选择。 展开更多
关键词 产品范围 哈氏合金 操作环境 科里奥利流量计 艾默生过程管理公司 不锈钢材质 工艺介质 流量测量
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中国选煤业的传奇——访唐山国华科技有限公司董事长赵树彦
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作者 康淑云 《中国煤炭》 北大核心 2005年第8期71-72,共2页
关键词 介质选煤工艺 有限公司 唐山 董事长 科技 传奇 中国 矿业学院 煤炭工业
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Research on technological parameters of pressure forming with hot granule medium on AA7075 sheet 被引量:2
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作者 董国疆 赵长财 +2 位作者 赵建培 押媛媛 曹秒艳 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第4期765-777,共13页
Hot granule medium pressure forming (HGMF) process is a new process in which granule medium replaces the medium in existing flexible-die hot forming process, such as liquids, gases or viscous medium. Hot forming of ... Hot granule medium pressure forming (HGMF) process is a new process in which granule medium replaces the medium in existing flexible-die hot forming process, such as liquids, gases or viscous medium. Hot forming of light alloy sheet parts can be realized based on the properties of granule medium, such as withstanding high temperature and pressure, filling well, sealing and loading easily. In this work, the forming of AA7075 cylindrical parts by HGMF process is taken as an example to establish the constitutive relation and forming limit diagram (FLD) of AA7075 sheet which is related to temperature by hot uniaxial tensile test of sheet metal. Based on the assumption that granule medium is applied to extended Drucker-Prager linear material model, the finite element model of HGMF process is established and the effect of technological parameters, such as forming temperature, blank-holder gap and drawing ratio, on the sheet metal formability, is studied. The limit drawing ratio curve of AA7075 cylindrical parts at forming temperature of 175-300 ℃ is obtained by HGMF process test, and the limit drawing ratio reaches the maximum value of 1.71 at 250 ℃. The results of numerical simulation are consistent with the results of process test, and the forming force, distribution of wall thichness and form of instability are predicted correctly, which provides reference for the application of HGMF process. 展开更多
关键词 granule medium aluminum alloy sheet DRAWING hot forming forming limit diagram
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光学滤波与频谱分析
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《中国光学》 EI CAS 2000年第3期42-42,共1页
O438 2000031768全息空间滤波器=Holographic spatial filters[刊,中]/章鹤龄,张光勇,卢明(首都师范大学物理系.北京(100037))//光子学报.—1999,28(Z1).—71-74论述了传统空间滤波器若干不足之处;阐述了用厚膜透射体积全息图实现空间... O438 2000031768全息空间滤波器=Holographic spatial filters[刊,中]/章鹤龄,张光勇,卢明(首都师范大学物理系.北京(100037))//光子学报.—1999,28(Z1).—71-74论述了传统空间滤波器若干不足之处;阐述了用厚膜透射体积全息图实现空间滤波原理;提出了一套行之有效的厚膜位相型记录介质制备工艺及全息空间滤波器制作方法,实验证明效果良好。图5参3(李士范)O438 2000031769纯相位二值化匹配滤波器的优化设计=Optimizeddesign of binary phase-only matched filtersand their optical implementation[刊,中]/李豫华, 展开更多
关键词 空间滤波器 纯相位二值化匹配滤波器 透射体积全息图 优化设计 制作方法 介质制备工艺 不足之处 效果良好 首都师范大学 光子学
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