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激光器真空检测及工作气压控制智能化的研究 被引量:1
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作者 柳娟 彭浩 李家镕 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期10-11,共2页
在激光器的各种工作参数中 ,真空检测及工作气压测控 ,是很重要的环节之一 ,它将直接影响激光器运转的稳定性和可靠性。而激光器工作状况的很多方面都受工作气压的控制。因此我们采用西门子PLC设计研制了一套激光器的真空智能测控系统 。
关键词 激光器 真空检测 工作气压控制 智能化 PLC
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