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激光器真空检测及工作气压控制智能化的研究
被引量:
1
1
作者
柳娟
彭浩
李家镕
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期10-11,共2页
在激光器的各种工作参数中 ,真空检测及工作气压测控 ,是很重要的环节之一 ,它将直接影响激光器运转的稳定性和可靠性。而激光器工作状况的很多方面都受工作气压的控制。因此我们采用西门子PLC设计研制了一套激光器的真空智能测控系统 。
关键词
激光器
真空检测
工作气压控制
智能化
PLC
在线阅读
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职称材料
题名
激光器真空检测及工作气压控制智能化的研究
被引量:
1
1
作者
柳娟
彭浩
李家镕
机构
华中科技大学激光技术与工程研究院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期10-11,共2页
文摘
在激光器的各种工作参数中 ,真空检测及工作气压测控 ,是很重要的环节之一 ,它将直接影响激光器运转的稳定性和可靠性。而激光器工作状况的很多方面都受工作气压的控制。因此我们采用西门子PLC设计研制了一套激光器的真空智能测控系统 。
关键词
激光器
真空检测
工作气压控制
智能化
PLC
Keywords
Laser
gas pressure
diaphragm capacitance absolute pressure transducers
the thermocoupletube
PLC,the detecting and control system
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
激光器真空检测及工作气压控制智能化的研究
柳娟
彭浩
李家镕
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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