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抗过载压电式工业装备振动监控MEMS加速度计的仿真分析与设计
被引量：
3
1
作者
许高斌
王超超
+2 位作者
杨海洋
马渊明
陈兴
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第2期28-32,55,共6页
针对工业装备振动监控对测振传感器的实际需要,设计了一种具有全方位抗过载结构的压电式加速度计,通过MATLAB对本征频率与灵敏度进行理论分析并做出结构参数优化设计,同时通过有限元分析软件ANSYS对所设计的传感器结构进行三维建模,添加...
针对工业装备振动监控对测振传感器的实际需要,设计了一种具有全方位抗过载结构的压电式加速度计,通过MATLAB对本征频率与灵敏度进行理论分析并做出结构参数优化设计,同时通过有限元分析软件ANSYS对所设计的传感器结构进行三维建模,添加力-电多物理场耦合等载荷进行静力、模态及动力等仿真分析,验证设计可行性,进一步确定结构参数,得出该结构压电式加速度计的本征频率、灵敏度及线性度仿真结果分别为29.8 kHz、0.2 mV/g和0.11%。
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关键词
MEMS
抗过载
压电式加速度计
工业装备振动监控
L形梁
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职称材料
题名
抗过载压电式工业装备振动监控MEMS加速度计的仿真分析与设计
被引量：
3
1
作者
许高斌
王超超
杨海洋
马渊明
陈兴
机构
合肥工业大学电子科学与应用物理学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第2期28-32,55,共6页
基金
装备预研教育部联合基金项目(6141A02022422)
安徽省重点研发计划(1804a09020018)。
文摘
针对工业装备振动监控对测振传感器的实际需要,设计了一种具有全方位抗过载结构的压电式加速度计,通过MATLAB对本征频率与灵敏度进行理论分析并做出结构参数优化设计,同时通过有限元分析软件ANSYS对所设计的传感器结构进行三维建模,添加力-电多物理场耦合等载荷进行静力、模态及动力等仿真分析,验证设计可行性,进一步确定结构参数,得出该结构压电式加速度计的本征频率、灵敏度及线性度仿真结果分别为29.8 kHz、0.2 mV/g和0.11%。
关键词
MEMS
抗过载
压电式加速度计
工业装备振动监控
L形梁
Keywords
MEMS
anti overload
piezoelectric accelerometer
vibration monitoring of industrial equipment
L-shaped beam
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
抗过载压电式工业装备振动监控MEMS加速度计的仿真分析与设计
许高斌
王超超
杨海洋
马渊明
陈兴
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020
3
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