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微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路
被引量：
5
1
作者
甘小华
刘民
+2 位作者
于海涛
许鹏程
李昕欣
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第6期350-356,共7页
设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满...
设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满足闭环自激振荡条件。该闭环系统的频率稳定性可达±0.1Hz,并且能够实时跟踪悬臂梁谐振频率的变化。此外,单独设计了嵌入式的频率读出电路,用于检测并显示悬臂梁的谐振频率。将悬臂梁传感器、接口电路和频率读出电路集成在一起,做出了小巧便携式样机,用该样机可成功探测到体积分数低至约几个10-9量级的DMMP气体。
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关键词
谐振
式
微悬臂梁传感器
接口
电
路
锁相环
嵌入式频率电路
频率
跟踪
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职称材料
题名
微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路
被引量：
5
1
作者
甘小华
刘民
于海涛
许鹏程
李昕欣
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010年第6期350-356,共7页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA04Z365)
国家重点基础研究发展规划(973计划)资助项目(2006CB300405)
中国科学院知识创新工程重要方向项目(KGCX2-YW-111-1)
文摘
设计了谐振式微悬臂梁传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路。首先,谐振式微悬臂梁传感器和接口电路组成闭环自激振荡系统。为了提高该闭环系统的频率稳定性和频率跟踪性能,引入具有无相差频率跟踪的锁相环电路,并设计放大移相电路以满足闭环自激振荡条件。该闭环系统的频率稳定性可达±0.1Hz,并且能够实时跟踪悬臂梁谐振频率的变化。此外,单独设计了嵌入式的频率读出电路,用于检测并显示悬臂梁的谐振频率。将悬臂梁传感器、接口电路和频率读出电路集成在一起,做出了小巧便携式样机,用该样机可成功探测到体积分数低至约几个10-9量级的DMMP气体。
关键词
谐振
式
微悬臂梁传感器
接口
电
路
锁相环
嵌入式频率电路
频率
跟踪
Keywords
resonant micro-cantilever sensor
interface circuit
phase-locked loop(PLL)
embedded frequency circuit
frequency tracking
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN74 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路
甘小华
刘民
于海涛
许鹏程
李昕欣
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2010
5
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职称材料
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