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屈曲型数字微镜结构的机电动力学分析
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作者 贾建援 范国滨 陈贵敏 《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期92-95,共4页
设计一种基于压杆屈曲原理的数字微镜装置 ,针对该装置建立机电动力学模型 ,应用龙格 库塔法和有限元数值方法求解其动力学模型中的隐函数。通过对该模型的完整机电动力学微分方程数值求解所作的运动仿真 ,得到了微镜基板的连续角位移... 设计一种基于压杆屈曲原理的数字微镜装置 ,针对该装置建立机电动力学模型 ,应用龙格 库塔法和有限元数值方法求解其动力学模型中的隐函数。通过对该模型的完整机电动力学微分方程数值求解所作的运动仿真 ,得到了微镜基板的连续角位移曲线 。 展开更多
关键词 屈曲型数字微镜结构 压杆屈曲原理 机电动力学模 数值仿真 连续角位移曲线 光束稳定性
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