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一种适用于薄膜结构的静电键合方法
1
作者
赵慧
徐晨
+3 位作者
霍文晓
赵林林
沈光地
邹德恕
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期430-431,共2页
针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破...
针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破裂的问题,大大提高了成品率.
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关键词
MEMS
静电键合
敏感薄膜
局部电场屏蔽
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职称材料
题名
一种适用于薄膜结构的静电键合方法
1
作者
赵慧
徐晨
霍文晓
赵林林
沈光地
邹德恕
机构
北京工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期430-431,共2页
基金
北京市教委资助项目(KM200310005009)
文摘
针对带弹性敏感薄膜结构的微机械器件的硅/玻璃静电键合,介绍了一种有效的方法--局部电场屏蔽法,在键合过程中屏蔽弹性敏感薄膜所在位置的电场,使薄膜结构不受静电力的影响,从根本上解决了薄膜受静电吸引力而产生形变,与玻璃贴合甚至破裂的问题,大大提高了成品率.
关键词
MEMS
静电键合
敏感薄膜
局部电场屏蔽
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种适用于薄膜结构的静电键合方法
赵慧
徐晨
霍文晓
赵林林
沈光地
邹德恕
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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