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氢气退火炉关键部件研究与开发
1
作者
赵志然
李明
+1 位作者
黄志海
闫海莲
《电子工业专用设备》
2021年第5期50-54,共5页
氢气尾气处理部分由炉门密封系统和尾气燃烧处理系统两部分组成,是涉及设备安全使用的关键部件,为了保障氢气退火炉的安全性和稳定运行,通过优化炉门密封结构,创新设计一种新型尾气燃烧装置;并对炉门密封系统的结构和安全逻辑以及尾气...
氢气尾气处理部分由炉门密封系统和尾气燃烧处理系统两部分组成,是涉及设备安全使用的关键部件,为了保障氢气退火炉的安全性和稳定运行,通过优化炉门密封结构,创新设计一种新型尾气燃烧装置;并对炉门密封系统的结构和安全逻辑以及尾气燃烧处理系统的结构组成与安全逻辑进行了分析研究,对炉门密封圈处的热场进行了仿真分析,确保密封圈的安全有效运转。最终通过实践应用,该密封系统和尾气燃烧处理系统结构稳定可靠,能够满足设备的安全使用要求。
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关键词
氢气退火
炉门密封
尾气燃烧处理
安全逻辑
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职称材料
题名
氢气退火炉关键部件研究与开发
1
作者
赵志然
李明
黄志海
闫海莲
机构
湖南红太阳光电科技有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2021年第5期50-54,共5页
文摘
氢气尾气处理部分由炉门密封系统和尾气燃烧处理系统两部分组成,是涉及设备安全使用的关键部件,为了保障氢气退火炉的安全性和稳定运行,通过优化炉门密封结构,创新设计一种新型尾气燃烧装置;并对炉门密封系统的结构和安全逻辑以及尾气燃烧处理系统的结构组成与安全逻辑进行了分析研究,对炉门密封圈处的热场进行了仿真分析,确保密封圈的安全有效运转。最终通过实践应用,该密封系统和尾气燃烧处理系统结构稳定可靠,能够满足设备的安全使用要求。
关键词
氢气退火
炉门密封
尾气燃烧处理
安全逻辑
Keywords
Hydrogen annealing
Furnace door sealing
Tail gas combustion treatment
Safety logic
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氢气退火炉关键部件研究与开发
赵志然
李明
黄志海
闫海莲
《电子工业专用设备》
2021
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