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硅系太阳电池表面钝化技术比较
被引量:
1
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作者
王涛
王正志
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期506-508,共3页
通过对硅片的少数载流子有效寿命、硅太阳电池的反射损失和光谱响应这三个方面的研究,比较了目前主要的硅太阳电池表面钝化技术,对这些钝化技术的优缺点进行了分析和评价。从上述三个方面的比较可以看出,RTO/SiNx堆叠钝化技术在提高硅...
通过对硅片的少数载流子有效寿命、硅太阳电池的反射损失和光谱响应这三个方面的研究,比较了目前主要的硅太阳电池表面钝化技术,对这些钝化技术的优缺点进行了分析和评价。从上述三个方面的比较可以看出,RTO/SiNx堆叠钝化技术在提高硅太阳电池性能上是最优的,具有良好的应用前景。
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关键词
钝化
少数载流子有效寿命
光谱响应
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职称材料
用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al_2O_3表面钝化特性研究
被引量:
3
2
作者
孙昀
贾锐
+3 位作者
孟彦龙
王仕建
金智
刘新宇
《太阳能》
2013年第6期38-40,共3页
系统研究了采用热——原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性。Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果。此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层...
系统研究了采用热——原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性。Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果。此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层的表征证明,除了薄膜层中的负固定电荷,Al2O3介质层的H的含量在钝化效果中起着关键作用。
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关键词
AL2O3
ALD
硅表面钝化
少数载流子有效寿命
高效硅太阳电池
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职称材料
题名
硅系太阳电池表面钝化技术比较
被引量:
1
1
作者
王涛
王正志
机构
国防科技大学自动化学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期506-508,共3页
文摘
通过对硅片的少数载流子有效寿命、硅太阳电池的反射损失和光谱响应这三个方面的研究,比较了目前主要的硅太阳电池表面钝化技术,对这些钝化技术的优缺点进行了分析和评价。从上述三个方面的比较可以看出,RTO/SiNx堆叠钝化技术在提高硅太阳电池性能上是最优的,具有良好的应用前景。
关键词
钝化
少数载流子有效寿命
光谱响应
Keywords
passivation
effective lifetime of minority carrier
spectral response
分类号
TN305.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al_2O_3表面钝化特性研究
被引量:
3
2
作者
孙昀
贾锐
孟彦龙
王仕建
金智
刘新宇
机构
中国科学院微电子研究所
出处
《太阳能》
2013年第6期38-40,共3页
基金
科技部2009CB939703
2012AA050304
+6 种基金
NSFC 51172268
11104319
2013年度基金重点
北京市Y2BK024001
中科院Y1YT064001
Y1YF034001
Y2YF014001
文摘
系统研究了采用热——原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性。Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果。此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层的表征证明,除了薄膜层中的负固定电荷,Al2O3介质层的H的含量在钝化效果中起着关键作用。
关键词
AL2O3
ALD
硅表面钝化
少数载流子有效寿命
高效硅太阳电池
分类号
TM914.41 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅系太阳电池表面钝化技术比较
王涛
王正志
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
在线阅读
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职称材料
2
用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al_2O_3表面钝化特性研究
孙昀
贾锐
孟彦龙
王仕建
金智
刘新宇
《太阳能》
2013
3
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职称材料
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参考文献
引证文献
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