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题名干涉条纹小数的测量
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作者
黄晓荣
余晓曦
李小林
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机构
中国测试技术研究院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008年第B09期27-30,共4页
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文摘
对高精度干涉条纹小数测量的方法进行了系统的介绍。就干涉条纹小数的定义、暗条纹中心的确定、量块中心长度测量的起始和终了位置进行了较全面的分析，实现了不确定度为2nm的干涉条纹小数的测量。引用实验与国际比对结果理论分析予以验证。
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关键词
计量学
一等量块
干涉条纹小数
暗条纹中心
测量定位
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Keywords
Metrology
First grade gauge block
Interference fringes decimal
Dark hinge centre
Measuring positioning
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分类号
TB921
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名基于适度光反馈自混合干涉技术的微位移测量
被引量：3
- 2
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作者
李振有
禹延光
叶会英
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机构
郑州大学信息工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期499-501,516,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60574098)
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文摘
光反馈自混合干涉技术是一种新出现的有别于传统双光束干涉的一类新的测试技术。为了在适度光反馈下进行位移的精密测量,提出了一种基于适度光反馈自混合干涉技术的位移测量方法。采用条纹记数法实现大范围位移粗测,具有半波长位移分辨力;然后基于适度光反馈下小数条纹的特点,给出了小于半波长位移测量的方法,从而提高位移测量的分辨力。用绝对精度达3nm的商用压电陶瓷驱动器比对实验,结果验证了这种三角波调制外反射体在普通实验室环境噪声中可以达到纳米级的位移测量精度。实验数据处理结果表明,对于3μm以下的位移,该算法位移测量相对误差约为1.20%。
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关键词
测量与计量
位移测量
光反馈自混合干涉
小数干涉条纹
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Keywords
measurement and metrology
displacement measurement
optical feedback self-mixing interferometry
fractional fring
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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题名一等量块光波干涉测量要件
被引量：1
- 3
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作者
黄晓荣
李小林
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机构
中国测试技术研究院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2008年第S1期234-236,共3页
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文摘
以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。
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关键词
一等量块
干涉条纹小数
研合性
温度
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Keywords
First gauge block
Interference fringes decimal
Wringing
Temperature
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分类号
TH711.1
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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