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基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究 被引量:3
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作者 王星辉 成永军 +4 位作者 董猛 赵澜 陈联 冯天佑 孙雯君 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期938-946,共9页
材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测... 材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测量准确度。针对该问题,文章对小孔流导法分放气率测量装置进行了优化改进,并提出了一种利用十二烷修正QMS质量歧视效应的方法。为验证方法的有效性,对两台QMS的质量歧视效应进行了修正,并选取聚四氟乙烯(PTFE)、氟橡胶(FKM)样品,测试了不同时刻碳氢化合物的放气率,结果表明,文章所提方法可以有效地降低QMS的质量歧视效应,另外,通过质量歧视修正后的碳氢化合物放气率较未修正时有明显上升,其中PTFE样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升19.78%、123.83%,FKM样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升31.91%、155.22%。 展开更多
关键词 材料放气率 小孔流导法 四极质谱计 质量歧视效应
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永磁体钕铁硼的热出气率 被引量:9
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作者 王勇 李格 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第4期296-299,共4页
简要叙述了小孔流导法测量材料出气率实验原理和装置 ,给出了永磁体钕铁硼在不同情况下的热出气率 ,并对影响钕铁硼材料出气率的各种因素进行了分析 。
关键词 热出气率 稀土永磁体 钕铁硼 小孔流导法
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SUNIST装置中磁探针出气率测量 被引量:1
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作者 张璐 曾龙 +3 位作者 谭熠 谢丽风 高喆 王文浩 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期277-280,共4页
通过出气率测量装置评价了SUNIST装置的内部磁探针出气特性,实验结果表明其出气量和出气气体成分不足以影响SUNIST真空特性。其后的放电实验验证了这一结论。
关键词 出气率 磁探针 小孔流导法 球形托卡马克
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