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基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源 被引量:2
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作者 廖斌 张少君 +1 位作者 赵娜 朱守正 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期372-376,共5页
介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气... 介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础. 展开更多
关键词 微带环缝谐振器 小功率微波等离子体源 阻抗匹配 气体放电 S参数
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基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真 被引量:4
2
作者 廖斌 张少君 朱守正 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第10期2512-2516,共5页
该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究... 该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础。 展开更多
关键词 微波等离子体 微带环缝谐振器 品质因数
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小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究 被引量:2
3
作者 廖斌 周蓓 +1 位作者 曹焕丽 朱守正 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1860-1864,共5页
本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,... 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础. 展开更多
关键词 平面螺旋微带 小功率电感耦合微波等离子体 谐振特性 气体放电 S参数
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小功率微波微等离子体源的集成研究 被引量:1
4
作者 廖斌 王柯乔 +1 位作者 黄加华 朱守正 《微波学报》 CSCD 北大核心 2014年第3期15-18,共4页
提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz... 提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。 展开更多
关键词 小功率微波等离子体 平面微带渐变螺旋电感耦合线圈 集成 频率可调 功率可调
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微波远程等离子源腔壁仿真与实验研究
5
作者 安丽 黄星星 +4 位作者 杨振怀 赵迎宾 胡琅 侯少毅 王凤双 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第7期592-599,共8页
微波远程等离子源在远离工艺腔的谐振腔内利用微波能量激发等离子体,展现出无电极污染、减轻其他活性粒子对材料表面轰击等独特优势,因此在半导体行业、薄膜沉积等工业领域得到了广泛应用。对微波远程等离子源的仿真模拟以及参数优化通... 微波远程等离子源在远离工艺腔的谐振腔内利用微波能量激发等离子体,展现出无电极污染、减轻其他活性粒子对材料表面轰击等独特优势,因此在半导体行业、薄膜沉积等工业领域得到了广泛应用。对微波远程等离子源的仿真模拟以及参数优化通常是基于等离子体生成前的电场。文章以放电管厚度参数为例,提出了一种基于点火和工作状态下微波远程等离子源腔壁电场仿真的参数优化方法,为了量化电场分布合理性,采用了多种性能指标,包括关键部件的电场模极值、电场模平均值,以及这些值与激发等离子体区域电场模平均值的比值,最终确定5 mm为该结构放电管的最优厚度。为进一步验证仿真结果的准确性,开展了不同厚度放电管的等离子体生成实验,结果显示等离子体发光区的个数和分布与仿真预测高度一致,从而充分证明了文章所采用仿真方法的可靠性与准确性。文章使用的仿真方法和性能评估方法可推广至微波远程等离子源其他参数的设计优化中。 展开更多
关键词 远程等离子 微波等离子体 数值模拟 实验验证
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等离子体对高功率微波的防护 被引量:12
6
作者 杨耿 谭吉春 +1 位作者 盛定仪 杨雨川 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期90-93,共4页
提出了用等离子体防护高功率微波破坏电子设备的方法。建立了"介质层-等离子体层-介质层-等离子体层"的反射/吸收模型,其中两层均匀非磁化等离子体厚度各为50mm,等离子体频率为30GHz,等离子碰撞频率为70GHz。计算了微波的透... 提出了用等离子体防护高功率微波破坏电子设备的方法。建立了"介质层-等离子体层-介质层-等离子体层"的反射/吸收模型,其中两层均匀非磁化等离子体厚度各为50mm,等离子体频率为30GHz,等离子碰撞频率为70GHz。计算了微波的透射功率、防护结构的最小防护距离。计算结果表明:对功率10GW、脉冲宽度100ns、天线100m2(效率50%)的微波源产生的微波,频率小于30GHz时,将被防护装置反射;频率为31~80GHz时,防护结构的最小防护距离约为5km。 展开更多
关键词 功率微波 等离子体 透射功率 防护
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110GHz高功率微波在大气击穿等离子体中的传输、反射和吸收 被引量:9
7
作者 赵朋程 郭立新 李慧敏 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第3期512-515,共4页
高功率微波极易引起大气击穿,而伴随产生的等离子体将对微波传播特性产生很大的影响.基于电子流体模型,研究了一个大气压下110GHz高功率微波在大气击穿等离子体中的传输、反射和吸收特性.模拟结果表明,大气击穿等离子体结构在空间呈丝... 高功率微波极易引起大气击穿,而伴随产生的等离子体将对微波传播特性产生很大的影响.基于电子流体模型,研究了一个大气压下110GHz高功率微波在大气击穿等离子体中的传输、反射和吸收特性.模拟结果表明,大气击穿等离子体结构在空间呈丝状分布,其与实验现象符合得很好;由于大气击穿等离子体是时变的,其对微波的反射和吸收也是时变的;随着时间的推移,等离子体吸收功率逐渐增加直至达到饱和水平,且其远大于微波反射功率;当减小入射电场时,等离子体对微波的反射变得更低.将110GHz微波击穿阈值的模拟结果与实验数据进行对比,发现两者吻合得很好. 展开更多
关键词 功率微波 大气击穿 等离子体 传播
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发光等离子体对6GHz高功率微波的防护性能研究 被引量:3
8
作者 刘洋 程立 +3 位作者 汪家春 王启超 袁忠才 时家明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1292-1298,共7页
为研究发光等离子体对高功率微波的防护性能,建立了一维条件下等离子体与高功率微波相互作用的物理模型,并采用数值仿真得到了不同条件下的微波透射效果,分析了发光等离子体对高功率微波的防护性能。随后,实验研究了双层柱状等离子体阵... 为研究发光等离子体对高功率微波的防护性能,建立了一维条件下等离子体与高功率微波相互作用的物理模型,并采用数值仿真得到了不同条件下的微波透射效果,分析了发光等离子体对高功率微波的防护性能。随后,实验研究了双层柱状等离子体阵列对6 GHz高功率微波脉冲的透射效果,实验结果与仿真结果相符,说明高功率微波的入射使等离子体产生了非线性效应。实验结果还表明,TE极化时的防护效果要优于TM极化时的防护效果;等离子体击穿场强阈值随电场作用空间的增大而减小;TE极化时等离子体对高功率微波脉冲的屏蔽效能最高可达13 d B,且随入射功率的增大而进一步增大。 展开更多
关键词 6 GHz高功率微波 发光等离子体 防护 仿真 实验
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双层等离子体对6 GHz高功率微波防护实验 被引量:2
9
作者 刘洋 时家明 +3 位作者 程立 李志刚 张继魁 曾杰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期230-234,共5页
针对高功率微波对电子设备的安全威胁,设计了一种双层柱状等离子体阵列对高功率微波进行防护。其中单根等离子体柱的直径为25.4 mm,长度为600 mm,等离子体频率与碰撞频率可进行控制。利用搭建的实验测量系统,研究了微波极化方向、等离... 针对高功率微波对电子设备的安全威胁,设计了一种双层柱状等离子体阵列对高功率微波进行防护。其中单根等离子体柱的直径为25.4 mm,长度为600 mm,等离子体频率与碰撞频率可进行控制。利用搭建的实验测量系统,研究了微波极化方向、等离子体电子密度、放电单元层数等因素对高功率微波透射衰减的影响。实验结果表明:当高功率微波未激发等离子体产生非线性效应时,TM极化时的防护效果优于TE极化时的防护效果,且能量衰减分别可达20.9 d B和14.7 d B;随等离子体电子密度增大,微波透射功率减小,防护效果增强;由于层间反射作用,双层等离子体对高功率微波的透射衰减远大于单层等离子体衰减值的两倍。 展开更多
关键词 等离子体阵列 功率微波 防护 极化 电子密度
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开放式微波等离子体源的研究进展 被引量:9
10
作者 王仲 张贵新 王强 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期793-800,共8页
微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景。因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键。从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-I... 微波等离子体由于无电极污染、能在大气压下产生及电子密度大等一系列优点而具有较好的工业应用前景。因此大气压下开放式微波等离子体源的研究已经成为实现相关工业应用价值的关键。从最初的能够激发低气压空气微波等离子体的APMPS-I型微波等离子体源的研究开始,逐步通过增加某些辅助设备或改进微波反应腔的尺寸和结构,历经APMPS+JET型、APMPS-II型最终到平行直线矩形波导微波等离子体反应腔,实现了大气压开放式微波等离子体的激发。同时,对各种微波等离子体源的原理和相关特性进行了全面阐述,在此基础上对激发出的空气微波等离子体的形态进行了分析,说明了在一定的微波功率范围内较为稳定均匀的大气压开放式空气微波等离子体的实现是具有可行性的。 展开更多
关键词 大气压 开放式 空气微波等离子体 APMPS-I型 APMPS+JET型 APMPS-II型 平行直线矩形波导
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入射频率对高功率微波与等离子体相互作用的影响分析 被引量:6
11
作者 李志刚 程立 +2 位作者 马志伟 汪家春 时家明 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期47-52,共6页
通过建立等离子体中的波动方程、电子传递方程和重物质传递方程,研究了等离子体对高功率微波传输特性的影响。研究了高功率微波与等离子体相互作用中产生的电子密度和透射电场的变化过程,并重点分析了变化过程中入射波频率产生的影响。... 通过建立等离子体中的波动方程、电子传递方程和重物质传递方程,研究了等离子体对高功率微波传输特性的影响。研究了高功率微波与等离子体相互作用中产生的电子密度和透射电场的变化过程,并重点分析了变化过程中入射波频率产生的影响。研究结果表明,在相互作用过程中,等离子体中的电子密度和透射电场在一定条件下会发生阶跃变化,即等离子体区域平均电子数密度会在极短的时间内由1×10~9m^(-3)增加到1×10^(19)m^(-3),平均电场强度也会由初始场强跃变为零,并且这种变化的产生存在一定的入射阈值场强和最低产生时间。当入射电磁波的频率不同时,产生阶跃变化所需的场强阈值和最低产生时间就会变得不同,高功率微波与等离子体相互作用中存在一定的色散效应。在所考虑的范围内,阈值场强随入射波频率线性增长,而最低产生时间随电磁波频率呈非线性增长变化。 展开更多
关键词 功率微波 等离子体 相互作用 色散效应
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外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响 被引量:1
12
作者 廖斌 王新刚 +1 位作者 黄加华 朱守正 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期98-102,共5页
为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法。首先对2.45GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840Gs的环... 为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法。首先对2.45GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840Gs的环形磁铁,测试得到加载磁场前后的S参数;最后通过改变磁铁及磁极方向,研究其对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响。实验结果表明:当空气气压为666.6Pa时,磁场强度和磁极方向均可使小功率微波微等离子体的激励功率和熄灭功率发生变化,且磁铁S极朝外更有利于激励;随着磁场强度的增大,激励功率逐渐减小;外加磁场时的最小激励功率比未加载磁场时的激励功率减小了15%。该研究结果在微化学分析系统、小尺寸材料的表面处理等领域具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 微波 等离子体 螺旋天线 外加磁场 激励功率
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高功率微波在等离子体填充波导中的传播特性 被引量:3
13
作者 傅文杰 鄢扬 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1852-1856,共5页
在考虑有质动力情况下对高功率微波在等离子体填充波导中的传播特性进行了理论分析和数值计算,研究了高功率微波在等离子体中的传播特性和微波场强与等离子体密度分布之间的关系。结果表明高功率微波的有质动力将影响微波色散特性,使微... 在考虑有质动力情况下对高功率微波在等离子体填充波导中的传播特性进行了理论分析和数值计算,研究了高功率微波在等离子体中的传播特性和微波场强与等离子体密度分布之间的关系。结果表明高功率微波的有质动力将影响微波色散特性,使微波场强分布偏离Bessel分布,并对等离子体有排开作用,当场强足够大时可将波导中心处等离子体排空形成低密度通道。 展开更多
关键词 功率微波 等离子体波导 有质动力 传播特性
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平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析 被引量:1
14
作者 廖斌 曹焕丽 朱守正 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期400-404,共5页
介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值... 介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法。根据等效电路,推导出平面螺旋电感线圈的品质因数,并进行数值分析。研究表明:无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化,并在谐振频率附近达到最大值。这为小功率电感耦合微波等离子体源的优化设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 平面螺旋电感耦合 微波等离子体 品质因数 数值分析
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高功率微波激励的等离子体效应的概述 被引量:4
15
作者 何友文 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第3期390-394,共5页
概述了在中低层大气中下述理论研究结果:高功率微波激励的热致快速电子的激发机制;由于电子温度的升高,电波会被强烈地吸收;随着电子温度的升高,电子浓度亦随之增加。
关键词 功率微波 等离子体效应 热致快速电子 电波吸收 复合过程
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大功率微波诱导空气等离子体发射光谱中易电离元素的基体干扰研究 被引量:1
16
作者 张占恩 张丽君 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期11-14,共4页
研究了由Okamoto腔产生的大功率微波诱导空气等离子体发射光谱中易电离元素Na和Ca的基体干扰。结果表明, Na和Ca的存在可使电离能较低的元素的原子线的发射强度增强, 而使电离能较高的元素的原子线和几乎所有的离子线的发射强度降低。... 研究了由Okamoto腔产生的大功率微波诱导空气等离子体发射光谱中易电离元素Na和Ca的基体干扰。结果表明, Na和Ca的存在可使电离能较低的元素的原子线的发射强度增强, 而使电离能较高的元素的原子线和几乎所有的离子线的发射强度降低。基体干扰随Na和Ca浓度的增大而增强, 随等离子体微波功率的增大而减弱。Na和Ca的存在致使等离子体激发温度降低, 电子密度增大。基体干扰是由于易电离元素使待测元素在等离子体中的电离平衡移动和激发能力减弱所致。 展开更多
关键词 功率微波诱导空气等离子体 原子发射光谱 基体干扰 易电离元素
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高功率微波对等离子体限幅器加热效应分析 被引量:2
17
作者 杨耿 安宝林 薛晋生 《微波学报》 CSCD 北大核心 2009年第4期74-77,共4页
等离子体限幅器利用入射的高功率微波电离气体,产生等离子体;该等离子体反射和吸收微波能量,保护电子设备不受来袭高功率微波损毁。基于射线跟踪理论,研究高功率微波透射功率随等离子体频率和电子碰撞频率的变化规律,分析加热效应对等... 等离子体限幅器利用入射的高功率微波电离气体,产生等离子体;该等离子体反射和吸收微波能量,保护电子设备不受来袭高功率微波损毁。基于射线跟踪理论,研究高功率微波透射功率随等离子体频率和电子碰撞频率的变化规律,分析加热效应对等离子体限幅器件防护性能的影响。对于长脉冲高功率微波,计算结果表明:随着温度升高,等离子体频率增高,使得微波透射功率减小,防护效果得以改善。在低气压限幅器中,考虑电子碰撞频率影响,选用Xe作为电离气体产生等离子体,能使限幅器更有效地发挥效能。 展开更多
关键词 功率微波限幅器 射线跟踪 加热效应 等离子体频率 电子碰撞频率
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等离子体与高功率微波相互作用中电子分布特性 被引量:1
18
作者 李志刚 陈宗胜 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期10-17,共8页
电子数密度是表征等离子体物理特性的一项重要因素,在等离子体与高功率微波的相互作用中,等离子体对入射电磁波的吸收、衰减和屏蔽等电磁特性可通过电子数密度的变化进行表征。基于等离子体流体近似研究方法,利用COMSOL软件求解等离子... 电子数密度是表征等离子体物理特性的一项重要因素,在等离子体与高功率微波的相互作用中,等离子体对入射电磁波的吸收、衰减和屏蔽等电磁特性可通过电子数密度的变化进行表征。基于等离子体流体近似研究方法,利用COMSOL软件求解等离子体中的波动方程、电子传递方程和重粒子传递方程,计算分析了等离子体与高功率微波相互作用中的电子分布特性,重点分析了相互作用中平均电子数密度和平均电子能的数值和空间分布变化过程。研究表明,在高功率微波作用下,等离子体区域电子数密度在数值上会产生剧烈的阶跃变化,形成雪崩效应,在空间分布上电子数密度峰值产生趋于入射方向移动的变化;电子能的变化与入射波激励和电子数密度相关,随入射激励增加呈增长趋势,随电子数密度的增加而减小。 展开更多
关键词 功率微波 等离子体 相互作用 电子数密度 电子能
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微波等离子体源分析与紧凑型氢等离子体枪设计
19
作者 杨建华 张亚洲 刘金亮 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 2000年第z1期73-76,共4页
介绍和分析了几种等离子体微波器件中等离子体源 。
关键词 等离子体微波器件 等离子体 等离子体
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大面积均匀微波等离子体源的电磁场计算及优化设计
20
作者 吴丛凤 温晓辉 詹如娟 《微波学报》 CSCD 北大核心 1998年第2期147-152,共6页
本文对大面积均匀微波等离子体源的放电室中的电磁场进行了理论分析,导出放电室的直径、高度与微波窗口厚度三者之间的关系,给出一些典型参数时的电场强度分布图,提出了胶体高度可调的必要性,为该种形式源的优化设计提供了理论依据。
关键词 微波等离子体 电磁场 计算 优化设计
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