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小功率微波微等离子体源的集成研究被引量：1: 1; 作者廖斌王柯乔 +1 位作者黄加华朱守正《微波学报》 CSCD 北大核心 2014年第3期15-18,共4页; 提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz... 展开更多; 关键词小功率微波微等离子体源平面微带渐变螺旋电感耦合线圈集成频率可调功率可调; 在线阅读下载PDF 职称材料

小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究被引量：2: 2; 作者廖斌周蓓 +1 位作者曹焕丽朱守正《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1860-1864,共5页; 本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,... 展开更多; 关键词平面螺旋微带小功率电感耦合微波等离子体源谐振特性气体放电 S参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源被引量：2: 3; 作者廖斌张少君 +1 位作者赵娜朱守正《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期372-376,共5页; 介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气... 展开更多; 关键词微带环缝谐振器小功率微波等离子体源阻抗匹配气体放电 S参数; 在线阅读下载PDF 职称材料

外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响被引量：1: 4; 作者廖斌王新刚 +1 位作者黄加华朱守正《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期98-102,共5页; 为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法。首先对2.45GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840Gs的环... 展开更多; 关键词微波微等离子体螺旋天线外加磁场激励功率; 在线阅读下载PDF 职称材料

Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体被引量：8: 5; 作者张治国陈小锰 +3 位作者刘天伟徐军邓新禄董闯《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期110-114,共5页; 利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;... 展开更多; 关键词非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ECR 等离子体密度等离子体参量电子温度功率变化变化关系电位变化最大值工艺参数量级溅射靶微波源片架; 在线阅读下载PDF 职称材料

等离子体阴极电子枪及其特性被引量：7: 6; 作者谢文楷《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期17-23,共7页; 研究一种新型的长脉冲空心阴极等离子体电子枪及其特性。论述空心阴极放电机理及理论分析。给出长脉冲空心阴极等离子体电子枪结构与关键技术。该技术可用于发展一类紧凑、实用的ＨＰＭ源。; 关键词高功率电子束空心阴极等离子体电子枪长脉冲高功率微波源; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子诱发波导微放电实验研究: 7; 作者任三孩古松 +2 位作者谭谦叶新方进勇《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期111-116,共6页; 针对宇航微波器件功率密度越来越大,空间电子可能诱发微波器件发生微放电的潜在威胁,通过设计特殊波导结构,利用电子枪提供的种子电子入射到特殊波导内,在波导内通入大功率微波信号,利用检波器和示波器分别检测透射波形和反射波形,观察... 展开更多; 关键词电子发射微波电磁场微放电效应大功率微波源; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小功率微波微等离子体源的集成研究被引量：1: 1; 作者廖斌王柯乔黄加华朱守正; 机构华东师范大学信息学院; 出处《微波学报》 CSCD 北大核心 2014年第3期15-18,共4页; 基金国家自然科学基金(61072007); 文摘提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。; 关键词小功率微波微等离子体源平面微带渐变螺旋电感耦合线圈集成频率可调功率可调; Keywords low-power microwave microplasma source, microstrip inductively-coupled gradient spiral antenna, inte-gration, adjustable frequency, adjustable power; 分类号 TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究被引量：2: 2; 作者廖斌周蓓曹焕丽朱守正; 机构华东师范大学信息学院电子系; 出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1860-1864,共5页; 基金国家自然科学基金(No.60471015); 文摘本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.; 关键词平面螺旋微带小功率电感耦合微波等离子体源谐振特性气体放电 S参数; Keywords planar spiral microstrip low power inductively-coupled microwave plasma source resonance gas discharge S parameter; 分类号 TN99 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源被引量：2: 3; 作者廖斌张少君赵娜朱守正; 机构华东师范大学电子工程系; 出处《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期372-376,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(60471015); 文摘介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.; 关键词微带环缝谐振器小功率微波等离子体源阻抗匹配气体放电 S参数; Keywords microstrip split-ring resonator low power microwave plasma source impedance matching gasdischarge S parameter; 分类号 TN99 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响被引量：1: 4; 作者廖斌王新刚黄加华朱守正; 机构华东师范大学信息学院电子系; 出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期98-102,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(61072007); 文摘为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法。首先对2.45GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840Gs的环形磁铁,测试得到加载磁场前后的S参数;最后通过改变磁铁及磁极方向,研究其对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响。实验结果表明:当空气气压为666.6Pa时,磁场强度和磁极方向均可使小功率微波微等离子体的激励功率和熄灭功率发生变化,且磁铁S极朝外更有利于激励;随着磁场强度的增大,激励功率逐渐减小;外加磁场时的最小激励功率比未加载磁场时的激励功率减小了15%。该研究结果在微化学分析系统、小尺寸材料的表面处理等领域具有良好的应用前景。; 关键词微波微等离子体螺旋天线外加磁场激励功率; Keywords microwave micro-plasma spiral antenna applied magnetic field igniting power; 分类号 TN99 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体被引量：8: 5; 作者张治国陈小锰刘天伟徐军邓新禄董闯; 机构大连理工大学三束材料改性国家重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期110-114,共5页; 基金中物院联合基金(10176005); 文摘利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值。电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势。; 关键词非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ECR 等离子体密度等离子体参量电子温度功率变化变化关系电位变化最大值工艺参数量级溅射靶微波源片架; Keywords Electric discharges Electric field effects Electron cyclotron resonance Magnetron sputtering Microwaves Plasma diagnostics Plasma probes; 分类号 TB43 [一般工业技术] O531 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子体阴极电子枪及其特性被引量：7: 6; 作者谢文楷; 机构成都电子科技大学高能电子所; 出处《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期17-23,共7页; 基金电子部预研基金国家自然科学基金; 文摘研究一种新型的长脉冲空心阴极等离子体电子枪及其特性。论述空心阴极放电机理及理论分析。给出长脉冲空心阴极等离子体电子枪结构与关键技术。该技术可用于发展一类紧凑、实用的ＨＰＭ源。; 关键词高功率电子束空心阴极等离子体电子枪长脉冲高功率微波源; Keywords high power electron beam hollow cathode Plasma electron gun long pulse length HPM sources; 分类号 TN136.03 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子诱发波导微放电实验研究: 7; 作者任三孩古松谭谦叶新方进勇; 机构北京跟踪与通信技术研究所中国空间技术研究院西安分院; 出处《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期111-116,共6页; 文摘针对宇航微波器件功率密度越来越大,空间电子可能诱发微波器件发生微放电的潜在威胁,通过设计特殊波导结构,利用电子枪提供的种子电子入射到特殊波导内,在波导内通入大功率微波信号,利用检波器和示波器分别检测透射波形和反射波形,观察微放电现象的持续过程;改变电子入射能量,观测到不同程度的微放电现象,该电子枪提供种子电子诱发波导微放电效应的实验方法为微波器件微放电效应研究提供了重要手段。; 关键词电子发射微波电磁场微放电效应大功率微波源; Keywords electron emission microwave electromagnetic field multipactor effect high power microwave source; 分类号 O571.33 [理学—粒子物理与原子核物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	小功率微波微等离子体源的集成研究	廖斌王柯乔黄加华朱守正	《微波学报》 CSCD 北大核心	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究	廖斌周蓓曹焕丽朱守正	《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源	廖斌张少君赵娜朱守正	《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响	廖斌王新刚黄加华朱守正	《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体	张治国陈小锰刘天伟徐军邓新禄董闯	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	8	在线阅读下载PDF 职称材料
6	等离子体阴极电子枪及其特性	谢文楷	《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1996	7	在线阅读下载PDF 职称材料
7	电子诱发波导微放电实验研究	任三孩古松谭谦叶新方进勇	《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料