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用C离子的弹性反冲法测固体中氢分布
被引量：
2
1
作者
刘家瑞
朱沛然
+1 位作者
封爱国
李大万
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第3期7-12,共6页
文章介绍了用1.7MV小串列加速器提供的4—7MeV多电荷C离子,采用弹性反冲法(ERD)分析了α-Si:H中氢元素的深度分布。计算表明,近表面处的深度分辨率为15-30nm,可探测深度100—700nm。探讨了入射能量和散射几何条件的优化问题。比较了几...
文章介绍了用1.7MV小串列加速器提供的4—7MeV多电荷C离子,采用弹性反冲法(ERD)分析了α-Si:H中氢元素的深度分布。计算表明,近表面处的深度分辨率为15-30nm,可探测深度100—700nm。探讨了入射能量和散射几何条件的优化问题。比较了几种分析方法的测量结果。
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关键词
小串列
加速器
氢
分布
弹性反冲法
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职称材料
题名
用C离子的弹性反冲法测固体中氢分布
被引量：
2
1
作者
刘家瑞
朱沛然
封爱国
李大万
机构
中国科学院物理研究所
中央民族学院物理系
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第3期7-12,共6页
基金
国家科学基金
文摘
文章介绍了用1.7MV小串列加速器提供的4—7MeV多电荷C离子,采用弹性反冲法(ERD)分析了α-Si:H中氢元素的深度分布。计算表明,近表面处的深度分辨率为15-30nm,可探测深度100—700nm。探讨了入射能量和散射几何条件的优化问题。比较了几种分析方法的测量结果。
关键词
小串列
加速器
氢
分布
弹性反冲法
Keywords
Hydrogen
Depth profile of hydrogen
Elastic recoil detection technique
分类号
TL52 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用C离子的弹性反冲法测固体中氢分布
刘家瑞
朱沛然
封爱国
李大万
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990
2
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参考文献
引证文献
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