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大气压射频等离子体化学气相沉积TiO_2体系的发射光谱诊断被引量：5: 1; 作者常大磊李小松 +1 位作者赵天亮朱爱民《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第3期625-630,共6页; 开展了大气压射频(RF)等离子体化学气相沉积(PCVD)TiO2放电体系的发射光谱诊断研究,分别考察了氧气分压、钛酸四异丙酯(TTIP)分压和输入功率对氧原子谱线相对强度、氩原子激发温度、OH振动温度以及转动温度的影响.结果表明:随着氧气分... 展开更多; 关键词大气压射频等离子体介质阻挡放电等离子体化学气相沉积发射光谱诊断 TIO2; 在线阅读下载PDF 职称材料

用遥控射频辉光放电等离子加强化学气相沉积法制备绝缘低介电常数SiO层的综合特性和椭圆对称性: 2; 作者彭补之《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期77-77,共1页; 关键词遥控射频辉光放电等离子化学气相沉积法制备绝缘低介电常数氧化硅层综合特性椭圆对称性; 在线阅读下载PDF 职称材料

RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究被引量：3: 3; 作者朱霞高侯惠君 +2 位作者林松盛袁镇海戴达煌《广东有色金属学报》 2006年第3期188-191,共4页; 采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法（RF—PCVD）低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜（DLC），主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响... 展开更多; 关键词射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积类金刚石膜比功率密度磁感应强度; 在线阅读下载PDF 职称材料

BP_xN_(1-x)薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响被引量：1: 4; 作者徐世友祁英昆 +1 位作者张溪文韩高荣《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期335-338,共4页; 本文从应用出发 ,选择光学石英为衬底 ,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1 -x薄膜 ,对样品进行了X射线衍射 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、紫外可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态 ,表面形貌随时间变化 ,最终为胞状 ... 展开更多; 关键词 BPxN1-x薄膜制备磷元素掺杂紫外液晶光阀光学能隙热丝辅助射频化学气相沉积氮化硼; 在线阅读下载PDF 职称材料

RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜被引量：2: 5; 作者邱东江吴惠桢 +1 位作者陈奶波石成儒《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期167-170,共4页; 采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜 .研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响 ,其最佳值分别为70 0℃、2× 133Pa和 2 0 0W ... 展开更多; 关键词 RF-HFCVD 生长纳米金刚石薄膜射频等离子体增强热丝化学气相沉积光透过率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大气压射频等离子体化学气相沉积TiO_2体系的发射光谱诊断被引量：5: 1; 作者常大磊李小松赵天亮朱爱民; 机构大连理工大学等离子体物理化学实验室; 出处《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第3期625-630,共6页; 基金国家自然科学基金(10835004 51077009)资助项目~~; 文摘开展了大气压射频(RF)等离子体化学气相沉积(PCVD)TiO2放电体系的发射光谱诊断研究,分别考察了氧气分压、钛酸四异丙酯(TTIP)分压和输入功率对氧原子谱线相对强度、氩原子激发温度、OH振动温度以及转动温度的影响.结果表明:随着氧气分压的增加,氧原子谱线相对强度先迅速增加至峰值后缓慢下降,OH振动温度缓慢增加,而氩原子激发温度和OH转动温度基本不变.随着TTIP分压的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度没有明显变化,而OH振动温度和转动温度增加.随着输入功率的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度、OH振动温度和转动温度升高.; 关键词大气压射频等离子体介质阻挡放电等离子体化学气相沉积发射光谱诊断 TIO2; Keywords Atmospheric-pressure radio frequency plasma Dielectric barrier discharge Plasma chemical vapour deposition Diagnosis of optical emission spectrum TiO2; 分类号 O53 [理学—等离子体物理] TN304.055 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用遥控射频辉光放电等离子加强化学气相沉积法制备绝缘低介电常数SiO层的综合特性和椭圆对称性: 2; 作者彭补之; 出处《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期77-77,共1页; 关键词遥控射频辉光放电等离子化学气相沉积法制备绝缘低介电常数氧化硅层综合特性椭圆对称性; 分类号 TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理] TQ153 [化学工程—电化学工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究被引量：3: 3; 作者朱霞高侯惠君林松盛袁镇海戴达煌; 机构广州有色金属研究院; 出处《广东有色金属学报》 2006年第3期188-191,共4页; 文摘采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法（RF—PCVD）低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜（DLC），主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响．试验结果表明，外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间，提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性，并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量，有利于工艺调节．当极间距大时，需适当提高Pf，Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜．在比功率密度大于0．009W·cm^-2·Pa^-1、C-H浓度即体积分数0．9％～1．4％及膜厚小于90nm的条件下，可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜．; 关键词射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积类金刚石膜比功率密度磁感应强度; Keywords RF-PCVD diamond-like carbon specific power density magnetic field; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名BP_xN_(1-x)薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响被引量：1: 4; 作者徐世友祁英昆张溪文韩高荣; 机构浙江大学材料系硅材料国家重点实验室; 出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期335-338,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目 (60 0 0 60 0 3); 文摘本文从应用出发 ,选择光学石英为衬底 ,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1 -x薄膜 ,对样品进行了X射线衍射 (XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)、紫外可见等测试。XRD、SEM结果显示薄膜多晶态 ,表面形貌随时间变化 ,最终为胞状 ;紫外可见光光谱结果显示BPxN1 -x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动。因此 ,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整。另外 ,BPxN1; 关键词 BPxN1-x薄膜制备磷元素掺杂紫外液晶光阀光学能隙热丝辅助射频化学气相沉积氮化硼; Keywords BP-xN 1-x optical bandgap P dopant UV-LCLV; 分类号 O484 [理学—固体物理] TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜被引量：2: 5; 作者邱东江吴惠桢陈奶波石成儒; 机构浙江大学物理系浙江大学中心实验室; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期167-170,共4页; 基金浙江省自然科学基金 (批准号 5 960 3 0 )资助项目~~; 文摘采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积 (RF HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜 .研究了衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性和光学性质的影响 ,其最佳值分别为70 0℃、2× 133Pa和 2 0 0W .在该条件下金刚石成核密度达 10 11cm-2 ,经 1h生长即获得连续薄膜 ,其平均晶粒尺寸为 2 5nm ,表面粗糙度仅为 5 5 ,在近红外区域 (80 0nm处 )的光透过率达 90 % .; 关键词 RF-HFCVD 生长纳米金刚石薄膜射频等离子体增强热丝化学气相沉积光透过率; Keywords nanocrystalline diamond film RF-HFCVD optical transmission; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	大气压射频等离子体化学气相沉积TiO_2体系的发射光谱诊断	常大磊李小松赵天亮朱爱民	《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心	2013	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	用遥控射频辉光放电等离子加强化学气相沉积法制备绝缘低介电常数SiO层的综合特性和椭圆对称性	彭补之	《材料保护》 CAS CSCD 北大核心	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究	朱霞高侯惠君林松盛袁镇海戴达煌	《广东有色金属学报》	2006	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	BP_xN_(1-x)薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响	徐世友祁英昆张溪文韩高荣	《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心	2003	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	RF-HFCVD生长高质量纳米金刚石薄膜	邱东江吴惠桢陈奶波石成儒	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2002	2	在线阅读下载PDF 职称材料