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螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究
被引量：
7
1
作者
朱永红
吴卫东
+1 位作者
唐永建
孙卫国
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期308-312,共5页
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的...
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa^4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致。
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关键词
等离子体诊断
等离子体参数
射频调谐朗谬尔探针
螺旋波等离子体
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职称材料
题名
螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究
被引量：
7
1
作者
朱永红
吴卫东
唐永建
孙卫国
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
四川大学原子与分子物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期308-312,共5页
基金
中国工程物理研究院重大基金资助课题(No.2005Z0805)
文摘
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa^4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致。
关键词
等离子体诊断
等离子体参数
射频调谐朗谬尔探针
螺旋波等离子体
Keywords
Plasma diagnosis, Plasma parameter, RF tuned Langmuir single probe, Plasma excited by helicon-wave
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究
朱永红
吴卫东
唐永建
孙卫国
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
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