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射频磁控溅射方法制备氧化钒薄膜的研究被引量：2: 1; 作者李志栓李静 +2 位作者吴孙桃郭东辉徐富春《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期37-40,共4页; 利用射频磁控溅射的方法,在不同的衬底温度和溅射功率下制备了氧化钒薄膜样品,并在纯氩气环境下作了退火处理,用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和激光扫描共聚焦显微镜扫描图像,对样品进行研究.XRD分析显示退火前样品为非晶态,... 展开更多; 关键词氧化钒薄膜衬底温度射频磁控溅射方法氩气环境 XPS谱 X射线光电子能谱(XPS) 取向性制备并用增强; 在线阅读下载PDF 职称材料

射频磁控溅射制备PZT铁电薄膜的工艺研究被引量：3: 2; 作者毕振兴张之圣 +2 位作者胡明樊攀峰刘志刚《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期6-9,共4页; 在SiO2/Si基片上采用直流对靶溅射技术制备出Pt/Ti底电极;应用射频磁控溅射方法,利用快速热处理(RTA)工艺,制备出了具有良好铁电性能的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜。将样品进行10min快速热退火处理,退火温度700℃。测试分析表明:薄膜厚... 展开更多; 关键词 PZT 直流对靶溅射射频磁控溅射锆钛酸铅薄膜钙钛矿相电滞回线射频磁控溅射方法 PZT铁电薄膜溅射制备工艺研究; 在线阅读下载PDF 职称材料

氮化铝单晶薄膜及其制备方法: 3; 《无机盐工业》 CAS 2004年第4期62-62,共1页; 关键词氮化铝单晶薄膜制备射频磁控溅射方法氧化镁单晶基片; 在线阅读下载PDF 职称材料

VO2镀膜工艺与薄膜导电特性的研究被引量：1: 4; 作者吕凤军斯永敏《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F04期237-238,241,共3页; 利用射频磁控溅射方法制备了VO2薄膜，通过正交试验设计研究镀膜工艺因素对薄膜导电特性的影响规律。试验结果表明，影响薄膜导电性能的主要因素是热处理温度，其次是衬底的温度，溅射功率和工作压强对薄膜导电性能的影响很小。X射线衍... 展开更多; 关键词导电特性镀膜工艺 VO2薄膜射频磁控溅射方法热处理温度导电性能 X射线衍射真空热处理影响规律工艺因素设计研究正交试验试验结果工作压强溅射功率晶体结构优化工艺工作气压溅射频率制备衬底; 在线阅读下载PDF 职称材料

轻稀土掺杂对TbFeCo材料磁光性能的影响被引量：1: 5; 作者周世杰张喜燕 +2 位作者姜峰齐琳琳刘志农《重庆工学院学报》 2004年第5期11-14,共4页; 采用射频磁控溅射方法制备了TbFeCo非晶磁光薄膜 ,并在TbFeCo中分别引入轻稀土元素Nd、Pr和Ce ,测试了薄膜的磁光性能 ,得到磁光薄膜的克尔回线 ;并研究了薄膜成份对其磁光性能的影响 ,比较不同稀土元素的掺杂效果。结果表明 ,在TbFeCo... 展开更多; 关键词磁光性能磁光薄膜掺杂本征射频磁控溅射方法元素矫顽力制备成份研究; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名射频磁控溅射方法制备氧化钒薄膜的研究被引量：2: 1; 作者李志栓李静吴孙桃郭东辉徐富春; 机构厦门大学萨本栋微机电研究中心厦门大学分析测试中心; 出处《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期37-40,共4页; 基金国家自然科学基金重大研究计划(90206039) 国家重点基础研究发展规划(2001CB610505) 福建省自然科学基金(E0110004)资助; 文摘利用射频磁控溅射的方法,在不同的衬底温度和溅射功率下制备了氧化钒薄膜样品,并在纯氩气环境下作了退火处理,用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和激光扫描共聚焦显微镜扫描图像,对样品进行研究.XRD分析显示退火前样品为非晶态,退火后为结晶态,并用激光共聚焦显微镜对图像做了验证.对比退火后样品的 XRD图谱显示在其它条件相同时,可以通过增大溅射功率或降低衬底温度,来提高退火后薄膜样品的结晶程度,并增强 V2O5(001)晶面的取向性;通过对比退火前样品的XPS谱可知在其它条件相同时,通过升高衬底温度或减小溅射功率,可以提高薄膜样品中高价钒的含量.; 关键词氧化钒薄膜衬底温度射频磁控溅射方法氩气环境 XPS谱 X射线光电子能谱(XPS) 取向性制备并用增强; Keywords R.F.magnetron sputtering vanadium oxide thin film XRD XPS laser scanning confocal microscope; 分类号 O484 [理学—固体物理] O657 [理学—分析化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名射频磁控溅射制备PZT铁电薄膜的工艺研究被引量：3: 2; 作者毕振兴张之圣胡明樊攀峰刘志刚; 机构天津大学电子信息工程学院电子科学与技术系; 出处《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期6-9,共4页; 文摘在SiO2/Si基片上采用直流对靶溅射技术制备出Pt/Ti底电极;应用射频磁控溅射方法,利用快速热处理(RTA)工艺,制备出了具有良好铁电性能的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜。将样品进行10min快速热退火处理,退火温度700℃。测试分析表明:薄膜厚度比较均匀、表面基本平整、没有裂纹和孔洞、致密性好、薄膜样品的矫顽场强(Ec)为28.6kV/cm,剩余极化强度(Pr)为18.7μC/cm2,自发极化强度(Ps)为37.5μC/cm2,是制备铁电薄膜存储器的优选材料。; 关键词 PZT 直流对靶溅射射频磁控溅射锆钛酸铅薄膜钙钛矿相电滞回线射频磁控溅射方法 PZT铁电薄膜溅射制备工艺研究; Keywords PZT direct current target detection sputtering radio freqency （RF） magnetron sputtering Pb （Zr0.52 Ti0.48）O3 film perovskite structure electric hysteresis loop; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学] TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氮化铝单晶薄膜及其制备方法: 3; 出处《无机盐工业》 CAS 2004年第4期62-62,共1页; 关键词氮化铝单晶薄膜制备射频磁控溅射方法氧化镁单晶基片; 分类号 TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名VO2镀膜工艺与薄膜导电特性的研究被引量：1: 4; 作者吕凤军斯永敏; 机构国防科技大学航天与材料工程学院; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F04期237-238,241,共3页; 文摘利用射频磁控溅射方法制备了VO2薄膜，通过正交试验设计研究镀膜工艺因素对薄膜导电特性的影响规律。试验结果表明，影响薄膜导电性能的主要因素是热处理温度，其次是衬底的温度，溅射功率和工作压强对薄膜导电性能的影响很小。X射线衍射结果表明，制备的VO2薄膜为非晶体结构，480℃真空热处理后，VO2薄膜结晶良好。由此得到制备VO2薄膜的最优化工艺为：衬底的温度400℃、热处理温度480℃、溅射频率120W和工作气压1．5Pa．; 关键词导电特性镀膜工艺 VO2薄膜射频磁控溅射方法热处理温度导电性能 X射线衍射真空热处理影响规律工艺因素设计研究正交试验试验结果工作压强溅射功率晶体结构优化工艺工作气压溅射频率制备衬底; 分类号 O484.4 [理学—固体物理] TQ646.4 [化学工程—精细化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名轻稀土掺杂对TbFeCo材料磁光性能的影响被引量：1: 5; 作者周世杰张喜燕姜峰齐琳琳刘志农; 机构成都理工大学材料与生物工程学院西南交通大学稀土金属与信息材料研究所广西大学物理科学与工程技术学院西南交通大学稀土金属与信息材料研究所; 出处《重庆工学院学报》 2004年第5期11-14,共4页; 文摘采用射频磁控溅射方法制备了TbFeCo非晶磁光薄膜 ,并在TbFeCo中分别引入轻稀土元素Nd、Pr和Ce ,测试了薄膜的磁光性能 ,得到磁光薄膜的克尔回线 ;并研究了薄膜成份对其磁光性能的影响 ,比较不同稀土元素的掺杂效果。结果表明 ,在TbFeCo薄膜中掺入一定量的轻稀土元素 ,可改善薄膜的磁光性能 ,提高薄膜的本征克尔角、矫顽力和矩形度。其中 ,Nd掺杂的效果最好 ,掺杂后 ,薄膜的磁光克尔角可达 0 .4 7° ,矫顽力可达 3.4× 10 5A/m。; 关键词磁光性能磁光薄膜掺杂本征射频磁控溅射方法元素矫顽力制备成份研究; Keywords material magneto-optical Per formance rare earth doping TbFeCo film; 分类号 O484.41 [理学—固体物理] TQ594 [化学工程—精细化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	射频磁控溅射方法制备氧化钒薄膜的研究	李志栓李静吴孙桃郭东辉徐富春	《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心	2005	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	射频磁控溅射制备PZT铁电薄膜的工艺研究	毕振兴张之圣胡明樊攀峰刘志刚	《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心	2005	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	氮化铝单晶薄膜及其制备方法		《无机盐工业》 CAS	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	VO2镀膜工艺与薄膜导电特性的研究	吕凤军斯永敏	《材料导报》 EI CAS CSCD	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	轻稀土掺杂对TbFeCo材料磁光性能的影响	周世杰张喜燕姜峰齐琳琳刘志农	《重庆工学院学报》	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料