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射频无电极放电氮气等离子体光源研究 被引量:2
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作者 李朝阳 陈强 张广秋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期346-349,共4页
本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出的电光转换效率达22.05%。最后运用此光源成功的对一种印刷预涂感光版(pre-sensitive plate,PS版)进行... 本文报道了一种利用射频无电极放电激励的氮气等离子体新型光源,测出了辐射光谱、光功率、工作气压等光源相关参数,优化实验条件得出的电光转换效率达22.05%。最后运用此光源成功的对一种印刷预涂感光版(pre-sensitive plate,PS版)进行了曝光,通过曝光前后PS版感光层颜色的光密度变化评价了感光效果。 展开更多
关键词 射频无电极放电 等离子体光源 转换效率 预涂感光版
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