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射频放电等离子体作用下CO_2-H_2的转化研究 被引量:3
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作者 谭世语 杨大伟 《天然气化工—C1化学与化工》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期23-26,共4页
在低压室温下,研究了在射频放电等离子体作用下CO2-H2体系的转化。分别考察了H2/CO2摩尔比、激发电压、原料气总流量对CO2转化的影响,分析了CO2转化的能量效率。结果表明:在射频放电等离子体作用下CO2与H2反应,得到的主要产物有CO、CH3O... 在低压室温下,研究了在射频放电等离子体作用下CO2-H2体系的转化。分别考察了H2/CO2摩尔比、激发电压、原料气总流量对CO2转化的影响,分析了CO2转化的能量效率。结果表明:在射频放电等离子体作用下CO2与H2反应,得到的主要产物有CO、CH3OH和CH4。随着激发电压的增加,CO2转化率、甲烷的选择性及产率增大,CO的选择性明显下降,甲醇的选择性呈现先增大而后减小的趋势;当原料气中CO2含量不断增加时,CO2的转化率、产物甲醇和甲烷的选择性和收率显著下降,相应地CO的选择性却随之而增大。随着总流量的增加,CO2的转化率、产物甲烷和甲醇的选择性和产率减小,而CO的选择性在缓慢增加,但其产率是在不断减小的。整个反应过程中,CO2的转化率最高可达87.46%。 展开更多
关键词 二氧化碳/氢系统 射频放电等离子体 甲醇 甲烷
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射频放电等离子体中CO_2及CO_2-H_2混合气转化反应的原位研究(英文) 被引量:3
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作者 杨瑞龙 张笛宇 +5 位作者 朱康伟 周寰林 叶小球 KLEYN Aart W. 胡殷 黄强 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第3期292-298,共7页
为探索CO_2气体在低温等离子体中的分解规律,开展了近室温条件下,射频等离子体中CO_2及CO_2-H_2混合气体的电离分解行为研究。反应产物通过差分四极质谱进行在线分析,并通过发射光谱对等离子体状态进行诊断。研究结果表明,在射频电场作... 为探索CO_2气体在低温等离子体中的分解规律,开展了近室温条件下,射频等离子体中CO_2及CO_2-H_2混合气体的电离分解行为研究。反应产物通过差分四极质谱进行在线分析,并通过发射光谱对等离子体状态进行诊断。研究结果表明,在射频电场作用下二氧化碳气体迅速电离并部分分解为一氧化碳和氧气,随着射频功率升高CO_2分解率提高,而能量效率降低。氢气的加入可以显著降低CO_2分解达到平衡所需的时间,随着H_2含量的增加,二氧化碳的分解率先降低后升高,H_2的电离状态与对CO_2分解氧的消耗是导致CO_2分解率V字形变化的主要原因。 展开更多
关键词 射频放电等离子体 二氧化碳 氢气 分解率 能量效率 反应平衡
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射频辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石膜的性能研究
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作者 陈灵 刘正义 +3 位作者 邱万奇 黄元盛 刘铁林 欧阳光胜 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期379-381,共3页
用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐... 用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐蚀、化学稳定性好。 展开更多
关键词 辉光放电等离子体 化学气相沉积 类金刚石膜 制备 力学性能 光学性能 化学性能
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射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法制备类金刚石碳膜工艺与性能表征 被引量:2
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作者 陈冲 费振义 +5 位作者 亓永新 曹宁 张益博 王风 吕震 李木森 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第5期7-12,共6页
使用射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积技术(简称RFGDPECVD)在玻璃载玻片表面沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)、摩擦试验仪、划痕试验机测定了其表面形貌、耐磨性及附着性。采用X射线光电子能谱(XPS)、分光光度计对两种气源(... 使用射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积技术(简称RFGDPECVD)在玻璃载玻片表面沉积类金刚石薄膜。用原子力显微镜(AFM)、摩擦试验仪、划痕试验机测定了其表面形貌、耐磨性及附着性。采用X射线光电子能谱(XPS)、分光光度计对两种气源(C4H10、C2H2)制备的DLC薄膜微观组成和透光率进行了检测和对比。结果表明:DLC薄膜的表面光滑、平整,表面粗糙度随沉积时间的增加单调递增;耐磨性及附着性优良;与C4H10相比使用C2H2作为碳源气体可以得到较高sp3含量和较低sp1含量的DLC膜;C2H2制备DLC薄膜的透光率低于C4H10;同一种碳源气体,反应流量比例越小,则DLC薄膜的透光性越好。 展开更多
关键词 辉光放电等离子体辅助化学气相沉积 类金刚石薄膜 放电特性
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氦等离子体接枝聚合棉织物的疏水改性
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《印染》 北大核心 2016年第19期62-62,共1页
采用氦为气氛的低压射频辉光放电等离子体在棉织物上一步法接枝聚合四甲基四乙烯基环四硅氧烷。考察了氦等离子体处理压强、时间和功率对接枝率的影响,并测试了处理前后棉织物的红外光谱、XPS、热重、扫描电镜和疏水性能。结果表明:... 采用氦为气氛的低压射频辉光放电等离子体在棉织物上一步法接枝聚合四甲基四乙烯基环四硅氧烷。考察了氦等离子体处理压强、时间和功率对接枝率的影响,并测试了处理前后棉织物的红外光谱、XPS、热重、扫描电镜和疏水性能。结果表明:经氦等离子体处理后的棉纤维表面被一层均匀、致密的薄膜包覆,并具有较好的耐热稳定性;在等离子体处理时间2~3min、压强20Pa、功率80w时,四甲基四乙烯基环四硅氧烷单体在棉织物上接枝增重率为4.52%, 展开更多
关键词 等离子体接枝聚合 棉织物 四甲基四乙烯基环四硅氧烷 疏水改性 辉光放电等离子体 等离子体处理 耐热稳定性
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实验研究射频辉光放电改善苎麻织物毛细效应的时效性 被引量:1
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作者 王志文 韦卫星 +5 位作者 何燕和 赵元庆 潘李宜基 李雪梅 施绍队 黎广新 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期285-288,共4页
介绍射频辉光放电等离子体改善苎麻织物毛细效应的时效性的实验。分别在充入氩气、氮气、氧气的真空室中对苎麻织物进行射频辉光放电等离子体处理,在每一种处理过程中分别改变其处理时间、放电功率和真空室压强。测试了放置不同时间的... 介绍射频辉光放电等离子体改善苎麻织物毛细效应的时效性的实验。分别在充入氩气、氮气、氧气的真空室中对苎麻织物进行射频辉光放电等离子体处理,在每一种处理过程中分别改变其处理时间、放电功率和真空室压强。测试了放置不同时间的经不同等离子体参数处理后的苎麻织物的毛细效应,得出各种参数的等离子体处理对苎麻织物毛细效应时效性的影响。实验结果表明,苎麻织物被等离子体离子体处理后毛细效应得到明显改善,其毛细效应随放置时间的变化为先快速下降,然后变缓,逐渐趋于稳定,这种毛细效应的改善具有良好的时效性,其中100W、40Pa的氧等离子体处理20分钟后的苎麻织物的毛细效应时效性最好。 展开更多
关键词 辉光放电等离子体 苎麻织物 毛细效应 时效性
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