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射频放电激励激光器阻抗特性实验研究
被引量：
1
1
作者
黄建军
余建华
D.Teuner
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期15-16,共2页
利用自行研制的传感器〔1〕,通过对射频放电电压电流以及其相位角的精确测定 ,结合放电管的等效电路 ,对内置电极射频气体放电激励激光器阻抗特性进行研究 ,得出内置电极射频气体放电激励激光器等离子体的伏安特性曲线 ,以及等离子体电...
利用自行研制的传感器〔1〕,通过对射频放电电压电流以及其相位角的精确测定 ,结合放电管的等效电路 ,对内置电极射频气体放电激励激光器阻抗特性进行研究 ,得出内置电极射频气体放电激励激光器等离子体的伏安特性曲线 ,以及等离子体电阻和气体压强、气体放电电流之间的关系。
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关键词
阻抗特性
射频放电激励
激光器
实验
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职称材料
题名
射频放电激励激光器阻抗特性实验研究
被引量：
1
1
作者
黄建军
余建华
D.Teuner
机构
深圳大学理学院实验中心
深圳大学光电子系
德国鲁尔大学电子工程与信息技术系
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期15-16,共2页
基金
广江省自然科学基金资助
文摘
利用自行研制的传感器〔1〕,通过对射频放电电压电流以及其相位角的精确测定 ,结合放电管的等效电路 ,对内置电极射频气体放电激励激光器阻抗特性进行研究 ,得出内置电极射频气体放电激励激光器等离子体的伏安特性曲线 ,以及等离子体电阻和气体压强、气体放电电流之间的关系。
关键词
阻抗特性
射频放电激励
激光器
实验
Keywords
RF discharge
impedance characteristics
equivalent electrical circuit model
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
射频放电激励激光器阻抗特性实验研究
黄建军
余建华
D.Teuner
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2000
1
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