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宽带直接接触式RF MEMS开关
被引量：
4
1
作者
郁元卫
贾世星
+1 位作者
朱健
陈辰
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期688-691,共4页
本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关,包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区,兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关,使用低温表面微机械工艺,制作在400μm厚的高...
本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关,包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区,兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关,使用低温表面微机械工艺,制作在400μm厚的高阻硅衬底上,芯片尺寸0.8mm×0.9mm。样品在片测试结果表明,在6GHz频点,开关本征损耗0.1dB,隔离度24.8dB,等效开关接触电阻0.6Ω,关态电容6.4fF,开关时间47μs,开关驱动电压为20-60V。
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关键词
射频微机电开关
直接接触式
宽带
宽驱动
电
压
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职称材料
基于内聚力原理的薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触分析
2
作者
黄书伟
黄健萌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2016年第9期5-9,36,共6页
为提高射频微机电开关(RF MEMS SWITCH)的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型;动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触...
为提高射频微机电开关(RF MEMS SWITCH)的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型;动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触力、接触位移、破坏变形等变化规律。结果表明:在单次加卸载过程中,薄膜/基底与微悬臂梁间存在多次明显接触-分离现象,并伴随着极大的冲击力,而多次激烈冲击不利于系统的稳定接触性能。在接触过程中,薄膜承受了大部分外载,所受的vonMises等效应力值大于基底受到的von Mises等效应力值。界面层损伤规律表现为明显的阶梯型,且其突变点受冲击力影响。
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关键词
薄膜/基底
粗糙接触表面
接触-分离
内聚力模型
射频微机电开关
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职称材料
题名
宽带直接接触式RF MEMS开关
被引量：
4
1
作者
郁元卫
贾世星
朱健
陈辰
机构
南京电子器件研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期688-691,共4页
基金
单片集成电路与模块国家级重点实验室基金资助(9140C1405020607)
文摘
本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关,包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区,兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关,使用低温表面微机械工艺,制作在400μm厚的高阻硅衬底上,芯片尺寸0.8mm×0.9mm。样品在片测试结果表明,在6GHz频点,开关本征损耗0.1dB,隔离度24.8dB,等效开关接触电阻0.6Ω,关态电容6.4fF,开关时间47μs,开关驱动电压为20-60V。
关键词
射频微机电开关
直接接触式
宽带
宽驱动
电
压
Keywords
RF MEMS switch
Metal-contact
Broadband
Wide-actuation voltage
分类号
TN385 [电子电信—物理电子学]
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
基于内聚力原理的薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触分析
2
作者
黄书伟
黄健萌
机构
福州大学机械工程及自动化学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2016年第9期5-9,36,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51205062)
文摘
为提高射频微机电开关(RF MEMS SWITCH)的稳定性和可靠性,进一步深入了解接触式射频微机电开关接触特性。基于内聚力原理,运用ABAQUS 6.13建立了薄膜/基底与微悬臂梁间粗糙接触表面的接触-分离模型;动态分析加卸载过程中薄膜/基底接触力、接触位移、破坏变形等变化规律。结果表明:在单次加卸载过程中,薄膜/基底与微悬臂梁间存在多次明显接触-分离现象,并伴随着极大的冲击力,而多次激烈冲击不利于系统的稳定接触性能。在接触过程中,薄膜承受了大部分外载,所受的vonMises等效应力值大于基底受到的von Mises等效应力值。界面层损伤规律表现为明显的阶梯型,且其突变点受冲击力影响。
关键词
薄膜/基底
粗糙接触表面
接触-分离
内聚力模型
射频微机电开关
Keywords
film/substrate
rough surface
contact-separation
cohesive zone model
RF mems switch
分类号
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
TN63 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
宽带直接接触式RF MEMS开关
郁元卫
贾世星
朱健
陈辰
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于内聚力原理的薄膜/基底与微悬臂梁粗糙面间接触分析
黄书伟
黄健萌
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2016
0
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职称材料
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