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CdIn_2O_4薄膜气敏特性的研究
1
作者
董玉峰
廖克俊
+1 位作者
王万录
王蜀霞
《广西师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2000年第S2期4-7,共4页
在 Ar+O2 混合气体中用射频反应性溅射方法制备了纯的和 Pt掺杂的 Cd In2 O4薄膜 ,用 XRD,AES等方法分析了薄膜的结构和化学成分 .测试了两种薄膜对酒精气体的气敏特性 ,包括灵敏度随温度、气体浓度的变化以及传感器元件的响应曲线 ,并...
在 Ar+O2 混合气体中用射频反应性溅射方法制备了纯的和 Pt掺杂的 Cd In2 O4薄膜 ,用 XRD,AES等方法分析了薄膜的结构和化学成分 .测试了两种薄膜对酒精气体的气敏特性 ,包括灵敏度随温度、气体浓度的变化以及传感器元件的响应曲线 ,并对气敏机理进行了讨论 .
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关键词
射频反应性溅射
CdIn2O4薄膜
气敏特
性
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职称材料
题名
CdIn_2O_4薄膜气敏特性的研究
1
作者
董玉峰
廖克俊
王万录
王蜀霞
机构
重庆大学应用物理系
出处
《广西师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2000年第S2期4-7,共4页
基金
教育部春晖计划资助项目
文摘
在 Ar+O2 混合气体中用射频反应性溅射方法制备了纯的和 Pt掺杂的 Cd In2 O4薄膜 ,用 XRD,AES等方法分析了薄膜的结构和化学成分 .测试了两种薄膜对酒精气体的气敏特性 ,包括灵敏度随温度、气体浓度的变化以及传感器元件的响应曲线 ,并对气敏机理进行了讨论 .
关键词
射频反应性溅射
CdIn2O4薄膜
气敏特
性
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CdIn_2O_4薄膜气敏特性的研究
董玉峰
廖克俊
王万录
王蜀霞
《广西师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2000
0
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