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基于E类功率放大电路的射频功率发生器: 1; 作者李勇滔崔晨 +2 位作者孙小孟林亭廷赵丽莉《电子工业专用设备》 2019年第1期54-59,共6页; 系统地研究了E类功率放大电路,通过选择适当的器件,设计出高效简单的放大电路;初步设计了PID的控制策略,并且构建了基于E类功率放大电路的射频功率发生器。经实验测试,本射频功率发生器具有半3U尺寸,额定输出功率达到1 500 W,整机效率大... 展开更多; 关键词射频功率发生器 E类功率放大电路 PID控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

射频功率发生器的功率检测装置研究被引量：1: 2; 作者崔晨孙小孟 +4 位作者林亭廷赵丽莉武燕婷张庆钊李勇滔《电子工业专用设备》 2019年第2期4-7,共4页; 射频功率发生器是半导体工艺设备的核心部件,功率检测装置的性能决定了射频功率发生器的功率输出特性。系统地研究了射频功率检测装置,通过选择适当的器件,设计出简单精确的射频功率检测电路;经试验分析,本射频功率检测装置的功率检测范... 展开更多; 关键词射频功率发生器功率检测装置检测输出电压; 在线阅读下载PDF 职称材料

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