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题名固支结构对压阻式加速度传感器的影响
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作者
邸瑜
王丙寅
王志强
李婉华
李锐锐
梁庭
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机构
中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
内蒙动力机械研究所
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出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第9期17-20,共4页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2023YFB3208500)
山西省重点研发计划资助项目(202302030201001)。
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文摘
针对MEMS加速度传感器发展进程中传统仿真模型因未充分考虑固支结构所带来的影响,致使限制了传感器的优化设计。为此,针对四端四梁MEMS压阻式加速度传感器,运用有限元仿真分析方法,研究不同封装约束方法及固支结构对其性能的影响。研究发现,引入固支结构会造成压敏电阻路径应力约9%的偏差,不同封装方法对应力影响约1.8%。当固支结构宽度为400μm时,可在保证性能的同时,将整体结构尺寸缩小近32%,为微型化压阻式加速度传感器的设计制造提供了新思路与方法。
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关键词
压阻式加速度传感器
微型化
有限元仿真
固支结构
封装约束方法
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Keywords
piezoresistive accelerometers
miniaturization
finite element simulation
fixed support structures
packaging constraint methods
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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