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位敏探测器表面反射损耗的优化
被引量：
2
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作者
孙晓斌
唐九耀
吴旭明
《光电子技术》
CAS
2001年第3期194-196,共3页
本文通过计算 Si O2 单层以及 Si O2 和 Si3N4组成的双层减反膜对不同波长的反射率 ,给出了位敏探测器表面反射损耗的优化。
关键词
反射损耗
导纳特征矩阵法
位置传感器
位敏探测器
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职称材料
题名
位敏探测器表面反射损耗的优化
被引量：
2
1
作者
孙晓斌
唐九耀
吴旭明
机构
浙江大学物理系
出处
《光电子技术》
CAS
2001年第3期194-196,共3页
文摘
本文通过计算 Si O2 单层以及 Si O2 和 Si3N4组成的双层减反膜对不同波长的反射率 ,给出了位敏探测器表面反射损耗的优化。
关键词
反射损耗
导纳特征矩阵法
位置传感器
位敏探测器
Keywords
PSD, reflection loss, characteristic admittance matrix
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
位敏探测器表面反射损耗的优化
孙晓斌
唐九耀
吴旭明
《光电子技术》
CAS
2001
2
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