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面阵对称翻转变换用于F-P微小角度测量系统
被引量：
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作者
吴晨光
沈小燕
周世南
《中国测试》
北大核心
2025年第1期111-118,共8页
法布里珀罗(F-P)标准具应用于位移和角度测量时,其干涉成像同心圆环圆心坐标的准确计算对测量结果具有关键影响。针对面阵CCD传感器上干涉成像同心圆环在移动时存在的误差,利用干涉成像同心圆环有效信息,提出一种面阵像元正反细分的对...
法布里珀罗(F-P)标准具应用于位移和角度测量时,其干涉成像同心圆环圆心坐标的准确计算对测量结果具有关键影响。针对面阵CCD传感器上干涉成像同心圆环在移动时存在的误差,利用干涉成像同心圆环有效信息,提出一种面阵像元正反细分的对称翻转算法,在理论分析的基础上进行算法和实验验证。将该算法应用于F-P微小角度测量系统并进行比对实验研究。实验结果表明该算法可将圆心坐标标准差减小至0.0028个像素单位;在±150″测量范围内,F-P微小角度测量系统的测量值与ELCOMAT HR自准直仪两者的示值误差不大于0.38″,经拟合修正后两者示值误差不大于0.06″,测量准确度得到有效提高。
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关键词
F-P标准具
对称翻转变换
像元平滑细分
圆心坐标计算
微小角度测量
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职称材料
题名
面阵对称翻转变换用于F-P微小角度测量系统
被引量：
1
1
作者
吴晨光
沈小燕
周世南
机构
中国计量大学计量测试工程学院
出处
《中国测试》
北大核心
2025年第1期111-118,共8页
基金
国家自然科学基金(51875543)。
文摘
法布里珀罗(F-P)标准具应用于位移和角度测量时,其干涉成像同心圆环圆心坐标的准确计算对测量结果具有关键影响。针对面阵CCD传感器上干涉成像同心圆环在移动时存在的误差,利用干涉成像同心圆环有效信息,提出一种面阵像元正反细分的对称翻转算法,在理论分析的基础上进行算法和实验验证。将该算法应用于F-P微小角度测量系统并进行比对实验研究。实验结果表明该算法可将圆心坐标标准差减小至0.0028个像素单位;在±150″测量范围内,F-P微小角度测量系统的测量值与ELCOMAT HR自准直仪两者的示值误差不大于0.38″,经拟合修正后两者示值误差不大于0.06″,测量准确度得到有效提高。
关键词
F-P标准具
对称翻转变换
像元平滑细分
圆心坐标计算
微小角度测量
Keywords
F-P etalon
symmetrical flip transformation
smooth subdivision of pixels
center coordinate calculation
micro-angle measurement
分类号
TB9 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
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作者
出处
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被引量
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1
面阵对称翻转变换用于F-P微小角度测量系统
吴晨光
沈小燕
周世南
《中国测试》
北大核心
2025
1
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