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题名基于对称型双谐振电路的LTCC温湿传感器
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作者
刘建航
高尚
江剑
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机构
南京理工大学机械工程学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第2期94-102,共9页
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基金
国防重大项目基金(KR01042)
中央高校基础研究基金(309181A8804,30919011263)
江苏省自然科学基金(BK20190464)。
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文摘
为了实现高温、恶劣环境下温度和湿度复合参数测量,设计了一种基于对称型双谐振电路的双参数传感器。该传感器采用了一种独特的对称型双谐振电路,可解决多参数间物理性串扰的难题。首先通过高频结构模拟器(HFSS)对传感器电场进行仿真,采用低温共烧陶瓷(LTCC)技术对传感器进行制备,最后搭建温度和湿度平台测试并验证了传感器的可行性。测试结果表明,两个被测参数的谐振频率彼此完全独立、解耦,其中传感器的最高测试温度为500℃,随着温度的升高,温度灵敏度逐渐升高,在25~300℃、300~400℃和400~500℃范围内,温度灵敏度分别约为0.0116、0.0259和0.0493 MHz/℃,湿度灵敏度约为0.043 MHz/%RH,传感器对温度和湿度测量均表现出了良好的敏感特性。
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关键词
温度传感器
湿度传感器
低温共烧陶瓷(LTCC)
对称型双谐振电路
LC传感器
双参数
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Keywords
temperature sensor
humidity sensor
low temperature co-fired ceramic(LTCC)
symmetrical double-resonance circuit
LC sensor
two-parameter
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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