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双极端对比检测法定量分析高纯石英砂气液包裹体含量 被引量:1
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作者 樊婷 任子杰 +4 位作者 张乾坤 何宇豪 宋昱晗 刘志 向璐 《岩矿测试》 CSCD 北大核心 2024年第6期892-900,共9页
高纯石英砂作为半导体、光伏等战略新兴行业的关键材料,其质量对单晶硅坩埚、石英管等产品的应用至关重要。除杂质元素外,气液包裹体是影响高纯石英质量的重要因素之一,但目前对石英气液包裹体的检测方法多为定性描述,缺乏高效精确的定... 高纯石英砂作为半导体、光伏等战略新兴行业的关键材料,其质量对单晶硅坩埚、石英管等产品的应用至关重要。除杂质元素外,气液包裹体是影响高纯石英质量的重要因素之一,但目前对石英气液包裹体的检测方法多为定性描述,缺乏高效精确的定量分析手段。本文提出了一种双极端对比(Doubleextreme caseanalysis,DECA)检测法,能够快速、定量地评估气液包裹体含量。具体流程包括:将药剂浸泡石英砂片置于显微镜下观察并拍摄,总计获取不少于300个石英砂颗粒的显微照片,其中石英砂呈透明状,而气液包裹体呈黑色,通过图像统计计算得到石英砂通透颗粒(T)和不通透颗粒(NT)比例两个数据,以此来评价石英砂品质。通过研究不同石英砂DECA检测结果及坩埚能力,结果表明,T比例较高、NT比例较低的石英砂制备的坩埚透明度优良;而T比例较低、NT比例较高的石英砂制品透明层质量显著下降。该方法有效地解决了气液包裹体检测中定量化不足的难题,为高纯石英砂品质评估提供了可靠依据。 展开更多
关键词 高纯石英 气液包裹体 定量 双极端对比检测法 石英坩埚
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基于对比检测法的角位移传感器检测系统 被引量:2
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作者 李鹭翔 朱维斌 +2 位作者 黄垚 薛梓 叶树亮 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第10期71-73,78,共4页
针对角位移传感器检测需求,设计了一种基于对比检测法的角位移传感器自动检测系统,利用精密转台定位值作为基准角度完成检测。论文在介绍检测系统的组成和原理的基础上,讲述了自校准算法的原理和传感器读数头组合排布方式;对系统中信号... 针对角位移传感器检测需求,设计了一种基于对比检测法的角位移传感器自动检测系统,利用精密转台定位值作为基准角度完成检测。论文在介绍检测系统的组成和原理的基础上,讲述了自校准算法的原理和传感器读数头组合排布方式;对系统中信号处理的细分辨向关键环节进行了详细说明;最后通过实验证明了转台精度和系统的功能。该系统具有很高的精度水平和自动化程度,能够满足高等级角位移传感器的自动检测需求。 展开更多
关键词 角位移传感器 对比检测法 自动检测 读数头 精密转台 自校准算法
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高低温环境角度标准装置的研制 被引量:1
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作者 郑莹洁 胡佳成 +3 位作者 丁鸿 李东升 朱跃 乔凤斌 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第1期131-136,168,共7页
针对精密机构综合性能测试仪中的角度参量在高低温环境下无法溯源的问题,研制一种基于对比检测法的高低温环境角度标准装置,该装置通过主轴将高低温环境下的角度参量传递至常温环境,以实现高低温环境下被测角度编码器的校准。使用COMSO... 针对精密机构综合性能测试仪中的角度参量在高低温环境下无法溯源的问题,研制一种基于对比检测法的高低温环境角度标准装置,该装置通过主轴将高低温环境下的角度参量传递至常温环境,以实现高低温环境下被测角度编码器的校准。使用COMSOL仿真对高低温环境角度标准装置进行机械部分的适应性设计与部件选型;对该装置进行不确定度评定,其扩展不确定度为9.19″(k=2);使用该装置对被校件进行功能测试,实验准确度为97.93″,符合被校件自身准确度指标98″,测试结果合格。结果表明,该装置可为综合性能测试仪提供高低温环境下角度编码器的校准,实现高低温环境角度参量的溯源,保证高低温环境下角度测量的准确性。 展开更多
关键词 计量学 角度标准装置 对比检测法 高低温环境 不确定度评定
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