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多读数头位移传感器原理及误差谐波修正
被引量：
3
1
作者
赵婷婷
王先全
+2 位作者
王恋
文成杨
方怡
《工具技术》
2018年第7期149-154,共6页
为提高传感器的精度,提出了一种构建多读数头位移传感器的方法,在不增加刻线槽的情况下,可大幅提高传感器的对极数,该传感器误差成分比传统传感器的谐波误差成分少,且谐波误差幅值小,有利于提高传感器的精度。详细研究了传感器误差组成...
为提高传感器的精度,提出了一种构建多读数头位移传感器的方法,在不增加刻线槽的情况下,可大幅提高传感器的对极数,该传感器误差成分比传统传感器的谐波误差成分少,且谐波误差幅值小,有利于提高传感器的精度。详细研究了传感器误差组成和误差谐波修正法理论,提出了对极内单点采样的误差修正方法。与对极内多点采样修正方法相比,误差修正效果一致,但采样点数较少。通过试验证明,对极内单点采样误差修正方法可提高传感器的精度。
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关键词
多读
数
头
对极数
谐波修正
对极
内单点采样
对极
内多点采样
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职称材料
多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器
被引量：
1
2
作者
杨继森
修府
+2 位作者
张静
袁俊松
张小龙
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第20期3026-3046,共21页
针对增量式平面二维时栅位移传感器上电需找零的问题,设计了一种基于多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器,其采用不同频率分时驱动激励电信号,降低传感器电路功耗的同时,使X,Y方向的信号解耦合二维绝对位置解算更加简单可靠。首...
针对增量式平面二维时栅位移传感器上电需找零的问题,设计了一种基于多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器,其采用不同频率分时驱动激励电信号,降低传感器电路功耗的同时,使X,Y方向的信号解耦合二维绝对位置解算更加简单可靠。首先,建立激励线圈磁场分布数学模型,根据空间磁场分布特性分析激励线圈宽度与耦和气隙高度的关系;基于差动结构的增量式二维时栅位移传感器结构,建立对极数互质结构的绝对式平面二维时栅测量模型,并提出一种基于查表方式的二维绝对位置解算新方案,避免了实际应用中测量误差对解算结果的影响;通过电磁场仿真验证了此解算方案的可行性并确定了传感器最佳安装间隙为0.8 mm;最后,制作了传感器样机并搭建二维精密实验平台进行性能测试。实验结果表明,传感器样机在147 mm×147 mm有效测量范围内,X,Y方向的原始测量误差分别为±20.4μm和±21.1μm,其具有上电无需找零的优势,实现了一体式二维绝对位移测量与定位。
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关键词
多频磁场
对极数
互质
绝对式二维
时栅位移传感器
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职称材料
具备自标定功能的绝对式时栅位移传感器
被引量：
4
3
作者
王阳阳
陈锡侯
+2 位作者
彭东林
武亮
汤其富
《工具技术》
北大核心
2017年第4期98-101,共4页
时栅位移传感器的绝对式实现方法主要采用单对极+多对极和多对极差一对极组合两种形式实现。对于两层传感器结构的单对极+多对极的组合形式,由于极对数相差较多、分辨力差别较大,不利于实现高精度。对于差一对极的组合方式,由于极对数较...
时栅位移传感器的绝对式实现方法主要采用单对极+多对极和多对极差一对极组合两种形式实现。对于两层传感器结构的单对极+多对极的组合形式,由于极对数相差较多、分辨力差别较大,不利于实现高精度。对于差一对极的组合方式,由于极对数较多,在传感器原始加工精度较差时,会产生位置解算困难、甚至无法正确解算的情况。为解决上述问题,提出对极数呈互质关系的两层传感器结构的新组合模式。该模式可实现自校正,有效提高产品精度。通过试验验证了该方法的可行性,获取的传感器精度为-4.5″-3.9″。
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关键词
时栅位移传感器
绝对测量
对极数
互质
自标定技术
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职称材料
题名
多读数头位移传感器原理及误差谐波修正
被引量：
3
1
作者
赵婷婷
王先全
王恋
文成杨
方怡
机构
重庆理工大学
时栅传感及先进检测技术重庆重点实验室
出处
《工具技术》
2018年第7期149-154,共6页
基金
重庆理工大学研究生创新基金(YCX2016216)
重庆市研究生科研创新项目(CYS17277)
文摘
为提高传感器的精度,提出了一种构建多读数头位移传感器的方法,在不增加刻线槽的情况下,可大幅提高传感器的对极数,该传感器误差成分比传统传感器的谐波误差成分少,且谐波误差幅值小,有利于提高传感器的精度。详细研究了传感器误差组成和误差谐波修正法理论,提出了对极内单点采样的误差修正方法。与对极内多点采样修正方法相比,误差修正效果一致,但采样点数较少。通过试验证明,对极内单点采样误差修正方法可提高传感器的精度。
关键词
多读
数
头
对极数
谐波修正
对极
内单点采样
对极
内多点采样
Keywords
multi-measuring head
number of pole-pairs
harmonic correction
single-point sampling
multi-point sam-piing
分类号
TG87 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器
被引量：
1
2
作者
杨继森
修府
张静
袁俊松
张小龙
机构
重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心
重庆理工大学汽车零部件先进制造技术教育部重点实验室
重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室
重庆理工大学电气与电子工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第20期3026-3046,共21页
基金
国家自然科学基金(No.52175454)
重庆市自然科学基金面上项目(No.CSTB2023NSCQ-MSX0382)
+1 种基金
重庆市教委科学技术研究计划重点项目(No.KJZD-K202301106)
重庆市研究生科研创新项目(No.CYS240668)。
文摘
针对增量式平面二维时栅位移传感器上电需找零的问题,设计了一种基于多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器,其采用不同频率分时驱动激励电信号,降低传感器电路功耗的同时,使X,Y方向的信号解耦合二维绝对位置解算更加简单可靠。首先,建立激励线圈磁场分布数学模型,根据空间磁场分布特性分析激励线圈宽度与耦和气隙高度的关系;基于差动结构的增量式二维时栅位移传感器结构,建立对极数互质结构的绝对式平面二维时栅测量模型,并提出一种基于查表方式的二维绝对位置解算新方案,避免了实际应用中测量误差对解算结果的影响;通过电磁场仿真验证了此解算方案的可行性并确定了传感器最佳安装间隙为0.8 mm;最后,制作了传感器样机并搭建二维精密实验平台进行性能测试。实验结果表明,传感器样机在147 mm×147 mm有效测量范围内,X,Y方向的原始测量误差分别为±20.4μm和±21.1μm,其具有上电无需找零的优势,实现了一体式二维绝对位移测量与定位。
关键词
多频磁场
对极数
互质
绝对式二维
时栅位移传感器
Keywords
multifrequency magnetic field
antipolar prime
absolute two-dimensional
time-grating displacement sensor
分类号
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
具备自标定功能的绝对式时栅位移传感器
被引量：
4
3
作者
王阳阳
陈锡侯
彭东林
武亮
汤其富
机构
重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心
出处
《工具技术》
北大核心
2017年第4期98-101,共4页
基金
国家自然科学基金(51405049
51475063)
+1 种基金
重庆"两江学者"项目资助
重庆市研究生科研创新项目(CYS15218)
文摘
时栅位移传感器的绝对式实现方法主要采用单对极+多对极和多对极差一对极组合两种形式实现。对于两层传感器结构的单对极+多对极的组合形式,由于极对数相差较多、分辨力差别较大,不利于实现高精度。对于差一对极的组合方式,由于极对数较多,在传感器原始加工精度较差时,会产生位置解算困难、甚至无法正确解算的情况。为解决上述问题,提出对极数呈互质关系的两层传感器结构的新组合模式。该模式可实现自校正,有效提高产品精度。通过试验验证了该方法的可行性,获取的传感器精度为-4.5″-3.9″。
关键词
时栅位移传感器
绝对测量
对极数
互质
自标定技术
Keywords
time-grating displacement sensor
absolute measurement
cop-rime pole pair number
self calibration
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多读数头位移传感器原理及误差谐波修正
赵婷婷
王先全
王恋
文成杨
方怡
《工具技术》
2018
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
多频磁场耦合的绝对式平面二维时栅位移传感器
杨继森
修府
张静
袁俊松
张小龙
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
具备自标定功能的绝对式时栅位移传感器
王阳阳
陈锡侯
彭东林
武亮
汤其富
《工具技术》
北大核心
2017
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
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引证文献
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