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用于晶圆键合的对准标记定位算法
被引量：
8
1
作者
鲁沛昕
杨开明
+1 位作者
鲁森
朱煜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期220-229,共10页
对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定...
对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。
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关键词
晶圆键合
对准
对准标记定位
高精度
亚像素
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职称材料
题名
用于晶圆键合的对准标记定位算法
被引量：
8
1
作者
鲁沛昕
杨开明
鲁森
朱煜
机构
清华大学机械工程系
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第11期220-229,共10页
基金
摩檫学国家重点实验室基金(SKLT2020D23)项目资助。
文摘
对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。
关键词
晶圆键合
对准
对准标记定位
高精度
亚像素
Keywords
wafer bonding alignment
alignment mark positioning
high-precision
sub-pixel
分类号
TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH822 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于晶圆键合的对准标记定位算法
鲁沛昕
杨开明
鲁森
朱煜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
8
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