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用于晶圆键合的对准标记定位算法被引量：8: 1; 作者鲁沛昕杨开明 +1 位作者鲁森朱煜《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期220-229,共10页; 对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定... 展开更多; 关键词晶圆键合对准对准标记定位高精度亚像素; 在线阅读下载PDF 职称材料

玻璃基片双面光刻对准工艺流程的研究被引量：2: 2; 作者王海涌吴志华《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期576-578,共3页; 介绍了双面光刻对准原理及技术新发展,表明了不变焦对准的技术优势。针对玻璃基片设计了十字加方框的对准图样,经重新调焦,利用基片透明属性透过基片标记观测掩模标记实现对准,不再采用静态存储的掩模数字图像作为精对准基准,规避了可... 展开更多; 关键词镀膜双面光刻双面对准对准标记; 在线阅读下载PDF 职称材料

IC制造工艺与光刻对准特性关系的研究被引量：4: 3; 作者马万里赵建明吴纬国《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期14-17,27,共5页; 主要针对光刻对准特性,从单项工艺和工艺集成的角度,分析了影响光刻对准的各个主要因素,主要包括对准标记、工艺层、隔离技术等,提出了一些改善光刻对准效果的方法。; 关键词光刻制造工艺 IC 对准标记隔离技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

PDMS微流控芯片光刻加工的套刻对准方法被引量：2: 4; 作者赵幸福冯泽宇 +2 位作者陈荣进袁佳琪赵晓晓《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2021年第12期33-36,55,共5页; 多层通道微流控芯片加工中套刻光刻的对准操作难度较大,结合使用两种对准方法并分步进行实验操作可以降低难度:使用圆套十字架对准标记的对准方法。圆便于识别,可用于粗对准,十字架线条用以精对准,充分发挥圆套十字架标记结构中“面”... 展开更多; 关键词聚二甲基硅氧烷微流控芯片套刻光刻对准对准标记掩膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

295型柴油机正时齿轮无装配标记时的安装方法: 5; 作者刘新鹏《农业开发与装备》 1995年第5期13-13,共1页; 正时齿轮包括曲轴齿轮、凸轮轴正时齿轮和喷油泵驱动齿轮。一般正时齿轮端面上都打有装配标记,安装时必须对准标记。但如果正时齿轮上没有装配记号,或装配标记不清晰,可参考以下方法进行安装。我们知道,对于一台安装正确的发动机,其正... 展开更多; 关键词正时齿轮装配标记柴油机喷油泵曲轴齿轮顺时针方向旋转齿轮端面驱动齿轮对准标记装配记号; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于晶圆键合的对准标记定位算法被引量：8: 1; 作者鲁沛昕杨开明鲁森朱煜; 机构清华大学机械工程系清华大学摩擦学国家重点实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期220-229,共10页; 基金摩檫学国家重点实验室基金(SKLT2020D23)项目资助。; 文摘对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法。该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位。通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求。; 关键词晶圆键合对准对准标记定位高精度亚像素; Keywords wafer bonding alignment alignment mark positioning high-precision sub-pixel; 分类号 TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH822 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名玻璃基片双面光刻对准工艺流程的研究被引量：2: 2; 作者王海涌吴志华; 机构北京航空航天大学航天制导导航控制系中北大学电子与计算机科学技术学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期576-578,共3页; 基金航天支撑技术基金项目(编号不公开); 文摘介绍了双面光刻对准原理及技术新发展,表明了不变焦对准的技术优势。针对玻璃基片设计了十字加方框的对准图样,经重新调焦,利用基片透明属性透过基片标记观测掩模标记实现对准,不再采用静态存储的掩模数字图像作为精对准基准,规避了可能由物镜侧移带来的对准误差。最后提供了几种常用的对准标记图样,并为了加工操作的便利引入了辅助搜索线。; 关键词镀膜双面光刻双面对准对准标记; Keywords mask double-sided lithography double-sided alignment alignment key; 分类号 TH745.2 [机械工程—光学工程] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名IC制造工艺与光刻对准特性关系的研究被引量：4: 3; 作者马万里赵建明吴纬国; 机构电子科技大学微电子与固体电子学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期14-17,27,共5页; 文摘主要针对光刻对准特性,从单项工艺和工艺集成的角度,分析了影响光刻对准的各个主要因素,主要包括对准标记、工艺层、隔离技术等,提出了一些改善光刻对准效果的方法。; 关键词光刻制造工艺 IC 对准标记隔离技术; Keywords lithography alignment process layer IC lithography process isolation; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PDMS微流控芯片光刻加工的套刻对准方法被引量：2: 4; 作者赵幸福冯泽宇陈荣进袁佳琪赵晓晓; 机构南通大学医学院; 出处《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2021年第12期33-36,55,共5页; 基金国家自然科学基金面上项目(31770399) 南通市科技计划项目(JC2018089) 南通大学人才引进项目(03081068)。; 文摘多层通道微流控芯片加工中套刻光刻的对准操作难度较大,结合使用两种对准方法并分步进行实验操作可以降低难度:使用圆套十字架对准标记的对准方法。圆便于识别,可用于粗对准,十字架线条用以精对准,充分发挥圆套十字架标记结构中“面”与“线”各自的优势,并将套刻对准分两步进行,降低难度;套刻光刻前后掩膜、硅片的原位安装也可实现对准。此方法可较大地减小掩膜硅片间的旋转偏差,并使掩膜及硅片标记相互靠近便于查找、对准。结合使用两对准方案可提高对准精度,可实现偏差小于5μm的对准,满足绝大多数微流控芯片的使用要求,降低难度并使套刻对准操作系统而规范化,提高操作速度与稳定性,适合微流控芯片的套刻加工。; 关键词聚二甲基硅氧烷微流控芯片套刻光刻对准对准标记掩膜; Keywords polydimethylsiloxane(PDMS)microfluidic chip mask-to-wafer alignment lithography alignment alignment marks mask; 分类号 TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名295型柴油机正时齿轮无装配标记时的安装方法: 5; 作者刘新鹏; 出处《农业开发与装备》 1995年第5期13-13,共1页; 文摘正时齿轮包括曲轴齿轮、凸轮轴正时齿轮和喷油泵驱动齿轮。一般正时齿轮端面上都打有装配标记,安装时必须对准标记。但如果正时齿轮上没有装配记号,或装配标记不清晰,可参考以下方法进行安装。我们知道,对于一台安装正确的发动机,其正时齿轮标记对准,按工作顺序一缸一定处于压缩或排气上止点。因此。; 关键词正时齿轮装配标记柴油机喷油泵曲轴齿轮顺时针方向旋转齿轮端面驱动齿轮对准标记装配记号; 分类号 TK42 [动力工程及工程热物理—动力机械及工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	用于晶圆键合的对准标记定位算法	鲁沛昕杨开明鲁森朱煜	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	玻璃基片双面光刻对准工艺流程的研究	王海涌吴志华	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	IC制造工艺与光刻对准特性关系的研究	马万里赵建明吴纬国	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2005	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	PDMS微流控芯片光刻加工的套刻对准方法	赵幸福冯泽宇陈荣进袁佳琪赵晓晓	《实验室研究与探索》 CAS 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	295型柴油机正时齿轮无装配标记时的安装方法	刘新鹏	《农业开发与装备》	1995	0	在线阅读下载PDF 职称材料