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潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用
被引量：
8
1
作者
金大志
唐平瀛
+2 位作者
刘铁
谈效华
戴晶怡
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期453-455,共3页
密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个...
密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个电极的密封电真空器件真空度的工作原理 ,设计了测试实验装置 ,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型 ,给出了有关实验数据。
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关键词
测量
潘宁放
电
密封电真空器件
真空
度
可靠性
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职称材料
题名
潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用
被引量：
8
1
作者
金大志
唐平瀛
刘铁
谈效华
戴晶怡
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期453-455,共3页
文摘
密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个电极的密封电真空器件真空度的工作原理 ,设计了测试实验装置 ,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型 ,给出了有关实验数据。
关键词
测量
潘宁放
电
密封电真空器件
真空
度
可靠性
Keywords
Penning discharge
sealed vacuum device
vacuum
分类号
TN107 [电子电信—物理电子学]
TB771 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
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作者
出处
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被引量
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1
潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用
金大志
唐平瀛
刘铁
谈效华
戴晶怡
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
8
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