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密封器件压氦和预充氦细检漏判定漏率合格的条件 被引量:7
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作者 薛大同 肖祥正 王庚林 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期735-743,共9页
密封器件氦质谱细检漏包括压氦法(即背压法)和预充氦法。对于压氦法,通常靠粗检鉴别是否有大漏孔,但候检时间不可过长,以免可能存在的大漏孔处于分子流状态,不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式,以便既避免漏检又做好... 密封器件氦质谱细检漏包括压氦法(即背压法)和预充氦法。对于压氦法,通常靠粗检鉴别是否有大漏孔,但候检时间不可过长,以免可能存在的大漏孔处于分子流状态,不能靠粗检鉴别。本文给出了最长候检时间表达式,以便既避免漏检又做好被检器件表面的净化工作。预充氦法的优点是可检测的最小等效标准漏率比压氦法低好几个量级。但用户复检时,候检时间往往已很长,如果仅靠通常的压氦法复检加粗检则发挥不出预充氦法的优点。本文改进了预充氦法:提出候检时间存在两个特征点,并给出了表达式;还对压氦法复检加粗检赋于新的重要功能,从而可以针对各种情况,用不同方法和判据,判断漏率是否合格。因此,即使候检时间已很长,仍有可能充分发挥预充氦法优点,并在漏率合格时给出被检器件的等效标准漏率。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦
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密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标准漏率上限 被引量:6
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作者 薛大同 肖祥正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期721-729,共9页
利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状... 利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L<1.4 Pa.cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax 14 Pa.cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa.cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L<1.4 Pa.cm3/s,气流均处于分子流状态。从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa.cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 等效标准漏率
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密封器件压氦和预充氦细检漏过程中环境氦分压的影响 被引量:2
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作者 薛大同 王庚林 肖祥正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期730-734,共5页
分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且... 分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响。证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm3时,极小值点的气流仍处于分子流状态,不能靠粗检鉴别,所以需压氦法复检加粗检,才能防止漏检。另外,地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的第一特征点变大,从而扩大了需压氦法复检加粗检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检加粗检的结果。 展开更多
关键词 氦质谱检漏仪 检漏 密封器件 压氦 预充氦 氦分压的影响
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密封电子元器件与装置多余物检测发展综述 被引量:1
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作者 李鹏飞 翟国富 +2 位作者 孙志刚 王国涛 赵相江 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第10期3152-3179,3217,共29页
密封电子元器件与装置作为航天系统中的重要组成部分,具有高精密性、高可靠性以及高复杂性的典型特点,而多余物问题是严重影响其高可靠性的主要因素之一。随着航天技术的快速发展,多余物检测技术也在不断改进与深入。该文以认识多余物... 密封电子元器件与装置作为航天系统中的重要组成部分,具有高精密性、高可靠性以及高复杂性的典型特点,而多余物问题是严重影响其高可靠性的主要因素之一。随着航天技术的快速发展,多余物检测技术也在不断改进与深入。该文以认识多余物、控制多余物产生以及检测多余物为主线,围绕多余物的防控方法、检测方法、检测标准进行综合论述。着重分析了检测方法中的颗粒碰撞噪声检测(PIND)方法,分别从小型元器件多余物检测、中大型装置多余物检测两个角度,针对现有研究进展逐一进行了详细的介绍。在此基础上,结合现有国内多余物检测研究的现状,针对多余物检测的难点与未来发展趋势进行归纳,并提出了期望与目标。 展开更多
关键词 密封电子元器件与装置 多余物检测 颗粒碰撞噪声检测(PIND)方法 标准 防与控制
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潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用 被引量:8
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作者 金大志 唐平瀛 +2 位作者 刘铁 谈效华 戴晶怡 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期453-455,共3页
密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个... 密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个电极的密封电真空器件真空度的工作原理 ,设计了测试实验装置 ,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型 ,给出了有关实验数据。 展开更多
关键词 测量 潘宁放电 密封电真空器件 真空度 可靠性
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氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序 被引量:10
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作者 薛大同 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期20-26,共7页
本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和曲... 本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和曲线拟合的方法给出了L极大值点的拟合公式;介绍了GB/T 2423.23规定的查表法和诺模图计算法,指出了其表5中的个别数据错误,给出了不同有效容积V下去除压力后到检测漏率之间的停留时间t2对R的衰减因子曲线簇,提出据此灵活确定最大t2的优点;介绍了GJB128A,GJB360A,GJB548A规定的固定法和灵活法,给出了与固定法所规定的R的拒收极限相对应的L和严酷等级,指出固定法不适合需要高气密等级的场合及不应混淆R与L的界线,给出了与灵活法所规定的L的拒收规范值相对应的严酷等级,指出对于不同V值严酷等级从几十到上千,显得很不规范;介绍了R-L关系曲线法,该方法在V、加压压力PE、加压时间t1以及t2不变的情况下,预先给出R-L关系曲线,检漏操作人员可用此曲线由R反查出L;提出由R求L完全可以由计算机采用优选法快速、可靠搜索出来. 展开更多
关键词 密封器件 检漏 氦质谱检漏仪 背压法 漏率计算 程序
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