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题名宽带直接接触式RF MEMS开关
被引量：4
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作者
郁元卫
贾世星
朱健
陈辰
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机构
南京电子器件研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期688-691,共4页
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基金
单片集成电路与模块国家级重点实验室基金资助(9140C1405020607)
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文摘
本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关,包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区,兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关,使用低温表面微机械工艺,制作在400μm厚的高阻硅衬底上,芯片尺寸0.8mm×0.9mm。样品在片测试结果表明,在6GHz频点,开关本征损耗0.1dB,隔离度24.8dB,等效开关接触电阻0.6Ω,关态电容6.4fF,开关时间47μs,开关驱动电压为20-60V。
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关键词
射频微机电开关
直接接触式
宽带
宽驱动电压
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Keywords
RF MEMS switch
Metal-contact
Broadband
Wide-actuation voltage
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分类号
TN385
[电子电信—物理电子学]
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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