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宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
被引量：
9
1
作者
吴娜
谭鑫
+1 位作者
于海利
张方程
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期1978-1983,共6页
设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅。提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶掩模进行刻蚀图...
设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅。提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶掩模进行刻蚀图形转移,采用分段、分步离子束刻蚀技术开展了获得不同闪耀角的离子束刻蚀实验。最后在同一光栅基底上分区制作了位相相同,并具有9,18,29°3个不同闪耀角,口径为60mm×60mm,使用波段为200~900nm的宽波段全息光栅。衍射效率测试结果显示其在使用波段的最低衍射效率超过30%,最高衍射效率超过50%,实验结果与理论计算结果基本符合。与其它方式制作的宽波段光栅相比,采用宽波段全息-离子束刻蚀光栅不但工艺成熟,易于控制光栅槽形,而且光栅有效面积尺寸较大,便于批量复制。
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关键词
全息
光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟
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职称材料
宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应
被引量：
8
2
作者
张善文
巴音贺希格
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期990-1000,共11页
给出了适用性强、工艺上易于实现的单闪耀面宽波段金属光栅的设计方法。基于Rayleigh异常和共振异常两种不同的光栅异常机理,分别讨论了它们出现的条件;在光栅电磁场理论的基础上,数值分析了TE波、TM波闪耀波长的分布规律,得到了闪耀波...
给出了适用性强、工艺上易于实现的单闪耀面宽波段金属光栅的设计方法。基于Rayleigh异常和共振异常两种不同的光栅异常机理,分别讨论了它们出现的条件;在光栅电磁场理论的基础上,数值分析了TE波、TM波闪耀波长的分布规律,得到了闪耀波长与光栅异常和光栅光谱范围的关系;提出了用TM波第一闪耀波长补偿Rayleigh异常或共振异常,实现制作宽波段金属光栅的设计思想。同时,指出了TM波第一闪耀波长对Rayleigh异常补偿效应,只是它对共振异常补偿效应的极限情况。给出了将补偿效应应用于紫外可见分光光度计和红外分光光度计中不同刻线密度宽波段金属光栅的设计实例。实验表明,使用补偿效应法无论在理论设计上还是在工艺实现上都要优于传统的宽波段金属光栅设计方法,可使得用于各个波段的宽波段金属光栅衍射效率都在40%以上。
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关键词
宽波段光栅
金属
光栅
补偿效应
闪耀波长
Rayleigh异常
共振异常
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职称材料
基于黑白光栅的宽波段大视场激光告警
被引量：
7
3
作者
杨雪梅
张瑞
+4 位作者
石金
吴琼
杜伟豪
王志斌
李孟委
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第19期2295-2304,共10页
为了实现激光告警机宽光谱、大视场的高精度探测,提出了一种基于宽波段光栅衍射的大视场二维激光告警探测系统。设计了由宽波段光栅和大视场镜头组成的光学系统,通过采用五组七片式组合透镜结构,实现了水平方向95°、垂直方向72...
为了实现激光告警机宽光谱、大视场的高精度探测,提出了一种基于宽波段光栅衍射的大视场二维激光告警探测系统。设计了由宽波段光栅和大视场镜头组成的光学系统,通过采用五组七片式组合透镜结构,实现了水平方向95°、垂直方向72°的大视场探测。镜头的光圈为2.0,入瞳直径为36 mm,保证系统具有很好的通光量。设计加工了光栅常数为2.5μm(占空比为0.6)的宽波段黑白光栅,实现了0.5~1.7μm的宽波段探测。系统中加入多窄带滤光片以滤除背景光的干扰。最后,用典型波长(532,1064,1550 nm)的激光器进行测试,系统探测得到的角度测量误差优于0.7°、激光中心波长的探测精度优于8 nm,通过实验验证了该方法的可行性。
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关键词
激光告警
光学设计
宽
波段
黑白
光栅
激光波长
高精度二维角度
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职称材料
题名
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
被引量：
9
1
作者
吴娜
谭鑫
于海利
张方程
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第7期1978-1983,共6页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120023)
文摘
设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅。提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶掩模进行刻蚀图形转移,采用分段、分步离子束刻蚀技术开展了获得不同闪耀角的离子束刻蚀实验。最后在同一光栅基底上分区制作了位相相同,并具有9,18,29°3个不同闪耀角,口径为60mm×60mm,使用波段为200~900nm的宽波段全息光栅。衍射效率测试结果显示其在使用波段的最低衍射效率超过30%,最高衍射效率超过50%,实验结果与理论计算结果基本符合。与其它方式制作的宽波段光栅相比,采用宽波段全息-离子束刻蚀光栅不但工艺成熟,易于控制光栅槽形,而且光栅有效面积尺寸较大,便于批量复制。
关键词
全息
光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟
Keywords
holographic grating
broadband grating
ion beam etching
etching simulation
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应
被引量：
8
2
作者
张善文
巴音贺希格
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期990-1000,共11页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60478043)
“十一五”国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02)
+3 种基金
国家创新方法工作专项项目(No.2008IM040700)
国家重大科研装备研制项目(No.ZBYZ2008-1)
中国科学院重大科研装备研制项目(No.YZ200804)
吉林省科技发展计划资助项目(No.20070523No.20086013)
文摘
给出了适用性强、工艺上易于实现的单闪耀面宽波段金属光栅的设计方法。基于Rayleigh异常和共振异常两种不同的光栅异常机理,分别讨论了它们出现的条件;在光栅电磁场理论的基础上,数值分析了TE波、TM波闪耀波长的分布规律,得到了闪耀波长与光栅异常和光栅光谱范围的关系;提出了用TM波第一闪耀波长补偿Rayleigh异常或共振异常,实现制作宽波段金属光栅的设计思想。同时,指出了TM波第一闪耀波长对Rayleigh异常补偿效应,只是它对共振异常补偿效应的极限情况。给出了将补偿效应应用于紫外可见分光光度计和红外分光光度计中不同刻线密度宽波段金属光栅的设计实例。实验表明,使用补偿效应法无论在理论设计上还是在工艺实现上都要优于传统的宽波段金属光栅设计方法,可使得用于各个波段的宽波段金属光栅衍射效率都在40%以上。
关键词
宽波段光栅
金属
光栅
补偿效应
闪耀波长
Rayleigh异常
共振异常
Keywords
broadband grating
metal grating
compensating effect
blazed wavelength
Rayleigh anomaly
resonance anomaly
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
O438.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于黑白光栅的宽波段大视场激光告警
被引量：
7
3
作者
杨雪梅
张瑞
石金
吴琼
杜伟豪
王志斌
李孟委
机构
中北大学山西省光电信息与仪器工程技术研究中心
中北大学前沿交叉科学研究院
中北大学南通智能光机电研究院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第19期2295-2304,共10页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.62105302)
山西省自然科学基金资助项目(No.20210302124269,No.201901D111158,No.201901D111145)
山西省创新项目(No.2019L0530)。
文摘
为了实现激光告警机宽光谱、大视场的高精度探测,提出了一种基于宽波段光栅衍射的大视场二维激光告警探测系统。设计了由宽波段光栅和大视场镜头组成的光学系统,通过采用五组七片式组合透镜结构,实现了水平方向95°、垂直方向72°的大视场探测。镜头的光圈为2.0,入瞳直径为36 mm,保证系统具有很好的通光量。设计加工了光栅常数为2.5μm(占空比为0.6)的宽波段黑白光栅,实现了0.5~1.7μm的宽波段探测。系统中加入多窄带滤光片以滤除背景光的干扰。最后,用典型波长(532,1064,1550 nm)的激光器进行测试,系统探测得到的角度测量误差优于0.7°、激光中心波长的探测精度优于8 nm,通过实验验证了该方法的可行性。
关键词
激光告警
光学设计
宽
波段
黑白
光栅
激光波长
高精度二维角度
Keywords
laser warning
optical design
broadband black-white grating
laser wavelength
high-precision two-dimensional angle
分类号
TH254 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
吴娜
谭鑫
于海利
张方程
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
9
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应
张善文
巴音贺希格
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
8
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下载PDF
职称材料
3
基于黑白光栅的宽波段大视场激光告警
杨雪梅
张瑞
石金
吴琼
杜伟豪
王志斌
李孟委
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
7
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职称材料
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